{"id":320,"date":"2026-05-07T17:14:14","date_gmt":"2026-05-07T09:14:14","guid":{"rendered":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/?p=320"},"modified":"2026-05-07T17:14:14","modified_gmt":"2026-05-07T09:14:14","slug":"%d1%81%d0%b2%d0%be%d0%b9%d1%81%d1%82%d0%b2%d0%b0-%d0%bd%d0%b0-%d1%85%d0%b5%d0%ba%d1%81%d0%b0%d0%b3%d0%be%d0%bd%d0%b0%d0%bb%d0%b5%d0%bd-%d0%b1%d0%be%d1%80%d0%b5%d0%bd-%d0%bd%d0%b8%d1%82%d1%80%d0%b8","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/bg\/hexagonal-boron-nitride-properties-and-applications-in-modern-electronics\/","title":{"rendered":"\u0425\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u0435\u043d \u0431\u043e\u0440\u0435\u043d \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434: \u0421\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0441\u044a\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430"},"content":{"rendered":"<h1>\u0425\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u0435\u043d \u0431\u043e\u0440\u0435\u043d \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434: \u0421\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0441\u044a\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430<\/h1>\n<h2>\u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u0438 \u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438<\/h2>\n<p>\u0425\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u043d\u0438\u044f\u0442 \u0431\u043e\u0440\u0435\u043d \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0441\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0432\u0440\u044a\u0449\u0430 \u0432 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b, \u043a\u043e\u0439\u0442\u043e \u043f\u0440\u043e\u043c\u0435\u043d\u044f \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u0430\u0442\u0430 \u0437\u0430 \u0438\u0433\u0440\u0430 \u0438 \u0440\u0435\u0448\u0430\u0432\u0430 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u043d\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0438\u0437\u0432\u0438\u043a\u0430\u0442\u0435\u043b\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432 \u0441\u044a\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u0447\u0440\u0435\u0437 \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0441\u0438 \u043a\u043e\u043c\u0431\u0438\u043d\u0430\u0446\u0438\u044f \u043e\u0442 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u043d\u0438, \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0438 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u043d\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>\n<p>\u2022 <strong>\u041f\u0440\u0435\u0432\u044a\u0437\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e \u0442\u043e\u043f\u043b\u0438\u043d\u043d\u043e \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/strong>: h-BN \u043f\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430 \u0438\u0437\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u043d\u0430 \u0442\u043e\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442 \u0432 \u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043e\u0442 585 W\/m-K, \u043a\u043e\u0435\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0432\u0430 \u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u043e\u0442\u0432\u0435\u0436\u0434\u0430\u043d\u0435 \u043d\u0430 \u0442\u043e\u043f\u043b\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0432 \u043c\u043e\u0449\u043d\u0438 3D \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u043d\u0438 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0438 \u0438 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u0440\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>\n<p>\u2022 <strong>\u0423\u043b\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0441\u043a\u0438 \u0434\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/strong>: \u0410\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u0438\u0442\u0435 BN \u0444\u0438\u043b\u043c\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0442 \u0434\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0430\u043d\u0442\u0438 \u0434\u043e 1,78, \u043a\u0430\u0442\u043e \u0441\u0435 \u0434\u043e\u0431\u043b\u0438\u0436\u0430\u0432\u0430\u0442 \u0434\u043e \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0432\u044a\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430, \u043a\u0430\u0442\u043e \u0441\u044a\u0449\u0435\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0434\u044a\u0440\u0436\u0430\u0442 \u044f\u043a\u043e\u0441\u0442 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0438\u0432 \u043e\u0442 7,3 MV\/cm \u0437\u0430 \u0441\u044a\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430 \u0441\u0432\u044a\u0440\u0437\u0432\u0430\u043d\u0435.<\/p>\n<p>\u2022 <strong>\u041f\u043e\u0434\u043e\u0431\u0440\u0435\u043d\u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430 2D \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0438\u0442\u0435<\/strong>: h-BN \u0441\u0443\u0431\u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0438\u0448\u0430\u0432\u0430\u0442 \u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0433\u0440\u0430\u0444\u0435\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0435 \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043e\u0442 5000-10 000 cm\u00b2\/V-s \u0434\u043e 20 000-60 000 cm\u00b2\/V-s, \u043a\u043e\u0435\u0442\u043e \u0449\u0435 \u0434\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435 \u0434\u043e \u0440\u0435\u0432\u043e\u043b\u044e\u0446\u0438\u044f \u0432 \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0438\u0442\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043e\u0442 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0432\u0430\u0449\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435.<\/p>\n<p>\u2022 <strong>\u041c\u0430\u0449\u0430\u0431\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438 \u0437\u0430 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437<\/strong>: \u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0438\u0442\u0435 CVD, ALD \u0438 MOCVD \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0432\u0430\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0432 \u043c\u0430\u0449\u0430\u0431 \u043d\u0430 \u0432\u0430\u0444\u043b\u0430 \u0441 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b \u043d\u0430 \u0434\u0435\u0431\u0435\u043b\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e \u043d\u0438\u0432\u043e, \u043a\u043e\u0435\u0442\u043e \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438 \u0442\u044a\u0440\u0433\u043e\u0432\u0441\u043a\u0430\u0442\u0430 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u043e\u0441\u044a\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0438\u043c\u0430 \u0437\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e\u0442\u043e \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u0446\u0438.<\/p>\n<p>\u2022 <strong>\u041f\u0440\u0435\u0432\u044a\u0437\u0445\u043e\u0434\u043d\u0430 \u0434\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0430 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442<\/strong>: h-BN \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0438\u0432, \u043d\u0430\u0434\u0432\u0438\u0448\u0430\u0432\u0430\u0449\u0438 15 MV\/cm, \u0438 \u0442\u043e\u043a\u043e\u0432\u0435 \u043d\u0430 \u0443\u0442\u0435\u0447\u043a\u0430 \u043e\u0442 10-\u2078 \u0434\u043e 10-\u00b9\u2070 A\/cm\u00b2, \u043a\u043e\u0435\u0442\u043e \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u043d\u043e \u043f\u0440\u0435\u0432\u044a\u0437\u0445\u043e\u0436\u0434\u0430 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0438\u0442\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0438 \u043a\u0430\u0442\u043e \u0441\u0438\u043b\u0438\u0446\u0438\u0435\u0432 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0438 \u0430\u043b\u0443\u043c\u0438\u043d\u0438\u0435\u0432 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434.<\/p>\n<p>\u0421\u044a\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u0435\u0442\u043e \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u043d\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438 \u0437\u0440\u0435\u043b\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0437\u0430 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u043f\u0440\u0435\u0432\u0440\u044a\u0449\u0430 \u0445\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u043d\u0438\u044f \u0431\u043e\u0440\u0435\u043d \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0432 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435\u043d \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b, \u043a\u043e\u0439\u0442\u043e \u0449\u0435 \u0431\u044a\u0434\u0435 \u0434\u0432\u0438\u0433\u0430\u0442\u0435\u043b \u043d\u0430 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0432\u0430\u0449\u0430\u0442\u0430 \u0432\u044a\u043b\u043d\u0430 \u043e\u0442 \u0438\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u0446\u0438\u0442\u0435, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043e \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u0442\u043e \u043d\u0430 \u0442\u043e\u043f\u043b\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0438 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0442\u0430 \u0441 \u0443\u043b\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0441\u043a\u0438 \u0434\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0438 \u0441\u0442\u043e\u0439\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n<p>\u0428\u0435\u0441\u0442\u043e\u044a\u0433\u044a\u043b\u043d\u0438\u044f\u0442 \u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0441\u0435 \u043e\u0442\u043a\u0440\u043e\u044f\u0432\u0430 \u043a\u0430\u0442\u043e \u0432\u0430\u0436\u0435\u043d \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u0437\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435\u0442\u043e \u043d\u0430 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430\u0442\u0430 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0430\u0442\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f. \u0422\u043e\u0432\u0430 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u043d\u043e \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e \u043e\u0433\u043d\u0435\u0443\u043f\u043e\u0440\u043d\u043e \u0441\u044a\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0431\u043e\u0440 \u0438 \u0430\u0437\u043e\u0442 \u0438\u043c\u0430 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e \u0441\u0445\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0441 \u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0442\u0430. \u0412\u044a\u043f\u0440\u0435\u043a\u0438 \u0442\u043e\u0432\u0430 \u0442\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u0430\u0433\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044a\u0437\u0445\u043e\u0434\u043d\u0430 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u043d\u0430 \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442, \u043a\u043e\u044f\u0442\u043e \u043d\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435 \u0434\u0430 \u0441\u0435 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438 \u0441 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0438\u0442\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0438. \u041a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430\u0442\u0430 \u043e\u0442 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043d\u0430 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u0441\u044a\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u0432\u0430 \u0432 \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u0438 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438, \u043a\u0430\u0442\u043e \u0445\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u043d\u0438\u044f\u0442 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442 (h-BN) \u0435 \u043d\u0430\u0439-\u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u043d\u0438\u044f\u0442 \u0441\u0440\u0435\u0434 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u043e\u0440\u0444\u0438\u0442\u0435 \u043c\u0443. \u0422\u043e\u0432\u0430, \u043a\u043e\u0435\u0442\u043e \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438 h-BN \u0446\u0435\u043d\u0435\u043d \u0437\u0430 \u0441\u044a\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430, \u0435 \u043d\u0435\u0433\u043e\u0432\u0430\u0442\u0430 \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u043d\u0430 \u043a\u043e\u043c\u0431\u0438\u043d\u0430\u0446\u0438\u044f \u043e\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430: \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u0430 \u0442\u043e\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442, \u0441\u0438\u043b\u043d\u0430 \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430 \u0438\u0437\u043e\u043b\u0430\u0446\u0438\u044f, \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u0432\u0430\u043d\u0435 \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u043a\u0430\u043b\u0438 \u0438 \u0438\u0437\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0438\u0448\u0435\u043d\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0438. \u0412 \u0442\u043e\u0437\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u0449\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0433\u043b\u0435\u0434\u0430\u043c\u0435 \u0444\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043d\u0430 \u0445\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u043d\u0438\u044f \u0431\u043e\u0440\u0435\u043d \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0438 \u0449\u0435 \u043d\u0430\u0432\u043b\u0435\u0437\u0435\u043c \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0438\u0442\u0435 \u0437\u0430 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u0438 \u043e\u0442\u043b\u0430\u0433\u0430\u043d\u0435. \u0429\u0435 \u043e\u0431\u0441\u044a\u0434\u0438\u043c \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0448\u0438\u0440\u044f\u0432\u0430\u0449\u0438\u0442\u0435 \u0441\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0442\u043e\u0437\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430\u0442\u0430 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0438\u0442\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>\n<h2>\u0421\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u0438 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438 \u0438 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h2>\n<h3>\u041a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043d\u0430 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u043d\u0430 \u0445\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u0435\u043d BN (h-BN)<\/h3>\n<p>\u0411\u043e\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432\u0438\u044f\u0442 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u0438\u0437\u0438\u0440\u0430 \u0432 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0441\u0442\u0430 \u0445\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u043d\u0430 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430, \u043f\u0440\u0438\u043d\u0430\u0434\u043b\u0435\u0436\u0430\u0449\u0430 \u043a\u044a\u043c \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u0430 \u0433\u0440\u0443\u043f\u0430 P6\u2083\/mmc. \u0412\u0441\u0435\u043a\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0441\u044a\u0434\u044a\u0440\u0436\u0430 \u0431\u043e\u0440\u043e\u0432\u0438 \u0438 \u0430\u0437\u043e\u0442\u043d\u0438 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0438, \u043a\u043e\u0438\u0442\u043e \u0441\u0435 \u0441\u0432\u044a\u0440\u0437\u0432\u0430\u0442 \u043a\u043e\u0432\u0430\u043b\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e \u0432 sp\u00b2 \u0445\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u0432\u0430\u0442 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0430 \u0442\u0438\u043f \"\u043f\u0447\u0435\u043b\u043d\u0430 \u043f\u0438\u0442\u0430\", \u043a\u044a\u0434\u0435\u0442\u043e \u0432\u0441\u0435\u043a\u0438 \u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0430\u0442\u043e\u043c \u0441\u0435 \u0441\u0432\u044a\u0440\u0437\u0432\u0430 \u0441 \u0442\u0440\u0438 \u0430\u0437\u043e\u0442\u043d\u0438 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0430 \u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0442\u043d\u043e. \u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0442\u0435 \u043d\u0430 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0430\u0442\u0430 \u0441\u0430 a = 2,504 \u00c5 \u0438 c = 6,656 \u00c5, \u0441 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0435 \u043e\u0442 0,333 nm. \u0421\u043b\u0430\u0431\u0438\u0442\u0435 \u0441\u0438\u043b\u0438 \u043d\u0430 \u0412\u0430\u043d \u0434\u0435\u0440 \u0412\u0430\u0430\u043b\u0441 \u0434\u044a\u0440\u0436\u0430\u0442 \u0442\u0435\u0437\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u0435 \u0437\u0430\u0435\u0434\u043d\u043e \u0438 \u0441\u044a\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0442 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u043d\u043e\u0442\u043e \u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043a\u043e\u0435\u0442\u043e \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0442\u0430 \u043d\u0430 h-BN. \u0420\u0430\u0437\u043b\u0438\u043a\u0430\u0442\u0430 \u0432 \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043e\u0442\u0440\u0438\u0446\u0430\u0442\u0435\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0431\u043e\u0440\u0430 (2,04) \u0438 \u0430\u0437\u043e\u0442\u0430 (3,04) \u0432\u043e\u0434\u0438 \u0434\u043e \u043f\u043e\u043b\u044f\u0440\u043d\u0438 \u043a\u043e\u0432\u0430\u043b\u0435\u043d\u0442\u043d\u0438 \u0432\u0440\u044a\u0437\u043a\u0438, \u043a\u043e\u0438\u0442\u043e \u0441\u044a\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0442 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u0435\u043d \u0439\u043e\u043d\u0435\u043d \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440. \u0422\u043e\u0432\u0430 \u0443\u043a\u0440\u0435\u043f\u0432\u0430 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430\u0442\u0430 \u0432 \u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430.<\/p>\n<h3>\u041a\u0443\u0431\u0438\u0447\u043d\u0438 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u0438 \u043d\u0430 BN (c-BN) \u0438 \u0430\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u0438 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u0438 \u043d\u0430 BN (a-BN)<\/h3>\n<p>\u041a\u0443\u0431\u0438\u0447\u043d\u0438\u044f\u0442 \u0431\u043e\u0440\u0435\u043d \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0438\u043c\u0430 \u0441\u0444\u0430\u043b\u0435\u0440\u0438\u0442\u043e\u0432\u0430 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0441 \u0442\u0435\u0442\u0440\u0430\u0435\u0434\u0440\u0438\u0447\u043d\u043e \u0441\u0432\u044a\u0440\u0437\u0430\u043d\u0438 \u0431\u043e\u0440\u043e\u0432\u0438 \u0438 \u0430\u0437\u043e\u0442\u043d\u0438 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0438 \u0432 sp\u00b3 \u0445\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f. \u0421\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0438\u0440\u0430\u043d \u0437\u0430 \u043f\u044a\u0440\u0432\u0438 \u043f\u044a\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0437 1957 \u0433. \u043f\u0440\u0438 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u043e \u043d\u0430\u043b\u044f\u0433\u0430\u043d\u0435 \u0438 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u0430 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430, c-BN \u043f\u0440\u0438\u0442\u0435\u0436\u0430\u0432\u0430 \u0442\u0432\u044a\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442 \u043e\u0442 4500 kp\/mm\u00b2 \u0432 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0430\u043d\u0442\u0430 \u0441 8000 kp\/mm\u00b2. \u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044a\u0442 \u0441\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0437\u0438\u0440\u0430 \u0441 \u0438\u043d\u0434\u0438\u0440\u0435\u043a\u0442\u0435\u043d \u0431\u0430\u043d\u0434\u0430\u0436, \u043a\u043e\u0439\u0442\u043e \u0432\u0430\u0440\u0438\u0440\u0430 \u043e\u0442 5,4 \u0434\u043e 7,0 eV, \u0441 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0430\u043d\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0430\u0442\u0430 \u043e\u0442 3,615 \u00c5. c-BN \u043f\u043e\u0434\u0434\u044a\u0440\u0436\u0430 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u043d\u0430 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442 \u0434\u043e 1000 \u00b0C, \u043a\u044a\u0434\u0435\u0442\u043e \u0437\u0430\u043f\u043e\u0447\u0432\u0430 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435. \u0422\u043e\u0432\u0430 \u043d\u0430\u0434\u0445\u0432\u044a\u0440\u043b\u044f \u043f\u0440\u0430\u0433\u0430 \u043d\u0430 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442 \u043d\u0430 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0430\u043d\u0442\u0430 \u043e\u0442 800\u00b0C.<\/p>\n<p>\u0410\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u0438\u044f\u0442 BN \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u0430\u0433\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0438\u043c\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430\u0442\u0430 \u0447\u0440\u0435\u0437 \u043d\u0438\u0441\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435\u043d \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437. \u0424\u0438\u043b\u043c\u0438, \u0442\u044a\u043d\u043a\u0438 \u0434\u043e 3 nm, \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0430\u0442 \u043d\u0438\u0441\u043a\u0430 \u0434\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0430\u043d\u0442\u0430 \u043e\u0442 1,78 \u043f\u0440\u0438 100 kHz. \u0414\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0440\u0430 \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442 \u043e\u0442 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0442\u043b\u0430\u0433\u0430\u043d\u0435. \u041e\u0442\u043b\u0430\u0433\u0430\u043d\u0435\u0442\u043e \u043d\u0430 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0435\u043d \u0441\u043b\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438 65\u00b0C, 150\u00b0C \u0438 250\u00b0C \u0434\u0430\u0432\u0430 \u0441\u0442\u043e\u0439\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u03ba \u043e\u0442 \u0441\u044a\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u043d\u043e 8,6, 4,6 \u0438 4,3.<\/p>\n<h3>\u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043d\u0430 \u0442\u043e\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442 \u0438 \u0442\u043e\u043f\u043b\u043e\u043e\u0442\u0434\u0430\u0432\u0430\u043d\u0435<\/h3>\n<p>\u0425\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u043d\u0438\u044f\u0442 BN \u043f\u0440\u043e\u044f\u0432\u044f\u0432\u0430 \u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u0435\u043d \u0442\u043e\u043f\u043b\u0438\u043d\u0435\u043d \u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442, \u043a\u043e\u0439\u0442\u043e \u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430 \u044f\u0441\u043d\u043e \u0438\u0437\u0440\u0430\u0437\u0435\u043d. \u041c\u043e\u043d\u043e\u0438\u0437\u043e\u0442\u043e\u043f\u043d\u0438\u0442\u0435 \u00b9\u2070B h-BN \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u0438 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0442 \u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u043d\u043d\u0430 \u0442\u043e\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442 \u043e\u0442 585 W m-\u00b9 K-\u00b9 \u043f\u0440\u0438 \u0441\u0442\u0430\u0439\u043d\u0430 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430, \u043a\u043e\u0435\u0442\u043e \u0435 \u0441 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 80% \u043f\u043e\u0432\u0435\u0447\u0435 \u043e\u0442 \u0435\u0441\u0442\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043e \u0441\u0440\u0435\u0449\u0430\u0449\u0438\u044f \u0441\u0435 h-BN. \u041c\u043e\u043d\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u0438\u044f\u0442 BN \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430 751 W\/mK \u0438 \u0441\u0435 \u043d\u0430\u0440\u0435\u0436\u0434\u0430 \u043d\u0430 \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e \u043c\u044f\u0441\u0442\u043e \u043f\u043e \u043d\u0430\u0439-\u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u0430 \u0442\u043e\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442 \u0437\u0430 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446\u0430 \u0442\u0435\u0433\u043b\u043e \u0441\u0440\u0435\u0434 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u0446\u0438\u0442\u0435 \u0438 \u0438\u0437\u043e\u043b\u0430\u0442\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435. \u0418\u0437\u0432\u044a\u043d\u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e-\u043d\u0438\u0441\u043a\u0430 - 3,5 \u00b1 0,8 W m-\u00b9 K-\u00b9 \u0437\u0430 \u043c\u043e\u043d\u043e\u0438\u0437\u043e\u0442\u043e\u043f\u043d\u0438\u0442\u0435 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0446\u0438 \u043e\u0442 \u00b9\u2070B. \u0418\u0437\u043c\u0435\u0440\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u0442\u0430 \u0432 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0435\u0447\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u0435\u043a\u0441\u0444\u043e\u043b\u0438\u0440\u0430\u043d\u0438 \u043b\u044e\u0441\u043f\u0438 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0432\u0430\u0442 \u0441\u0438\u043b\u043d\u0430 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442 \u043e\u0442 \u0434\u0435\u0431\u0435\u043b\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430. \u0421\u0442\u043e\u0439\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u0442\u0435 \u043d\u0430\u043c\u0430\u043b\u044f\u0432\u0430\u0442 \u043e\u0442 8,1 \u00b1 0,5 W m-\u00b9 K-\u00b9 \u043f\u0440\u0438 585 nm \u0434\u0435\u0431\u0435\u043b\u0438\u043d\u0430 \u0434\u043e 0,20 \u00b1 0,06 W m-\u00b9 K-\u00b9 \u0437\u0430 7 nm \u043b\u044e\u0441\u043f\u0438.<\/p>\n<h3>\u0414\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u043b\u0435\u043d\u0442\u0430\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0435<\/h3>\n<p>\u041c\u043e\u043d\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u0438\u044f\u0442 h-BN \u043f\u0440\u0438\u0442\u0435\u0436\u0430\u0432\u0430 \u0434\u0438\u0440\u0435\u043a\u0442\u043d\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u043d\u0430 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442 \u043e\u0442 6,42 eV \u043f\u0440\u0438 \u0441\u0442\u0430\u0439\u043d\u0430 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430, \u043a\u043e\u044f\u0442\u043e \u043f\u0440\u0435\u043c\u0438\u043d\u0430\u0432\u0430 \u0432 \u0438\u043d\u0434\u0438\u0440\u0435\u043a\u0442\u043d\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0434\u0435\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u043d\u0430 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442 \u043e\u0442 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 5,95 eV \u0432 \u043d\u0430\u0441\u0438\u043f\u043d\u043e \u0441\u044a\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0435. \u0414\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0432\u0430 \u043d\u0430\u0441\u043e\u0447\u0435\u043d\u0430 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442. \u0414\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0430\u043d\u0442\u0430 \u0432 \u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0440\u0430 \u043e\u0442 6,82 \u0434\u043e 6,93, \u0434\u043e\u043a\u0430\u0442\u043e \u0441\u0442\u043e\u0439\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438\u0442\u0435 \u0438\u0437\u0432\u044a\u043d \u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0441\u0430 \u043e\u0442 3,29 \u0434\u043e 3,76. \u041a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u0430\u0442\u0430 \u0432 \u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u043d\u043e \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u0430 \u0437\u0430 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u0435 \u0441 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u0430 \u0434\u0435\u0431\u0435\u043b\u0438\u043d\u0430. \u0418\u0437\u0432\u044a\u043d\u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0430\u043d\u0442\u0430 \u0441\u0435 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0430\u0432\u0430 \u0441 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 15% \u043e\u0442 \u043c\u043e\u043d\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439 \u0434\u043e \u043e\u0431\u0435\u043c.<\/p>\n<h2>\u0421\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438 \u0437\u0430 \u043e\u0442\u043b\u0430\u0433\u0430\u043d\u0435<\/h2>\n<p>\u0412\u0438\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043e\u0442\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u043d\u0430 \u0445\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u0435\u043d \u0431\u043e\u0440\u0435\u043d \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0441\u0435 \u043d\u0443\u0436\u0434\u0430\u0435 \u0441\u0430\u043c\u043e \u043e\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0446\u0438\u0437\u0435\u043d \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b \u043d\u0430 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u0442\u0435 \u043d\u0430 \u043e\u0442\u043b\u0430\u0433\u0430\u043d\u0435 \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u044f\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u0430. \u041f\u043e\u044f\u0432\u0438\u0445\u0430 \u0441\u0435 \u043c\u043d\u043e\u0436\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u044a\u0442\u0438\u0449\u0430 \u0437\u0430 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437, \u0432\u0441\u0435\u043a\u0438 \u043e\u0442 \u043a\u043e\u0438\u0442\u043e \u0438\u043c\u0430 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0438\u043c\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0437\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u043d\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n<h3>\u0422\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0437\u0430 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e \u043e\u0442\u043b\u0430\u0433\u0430\u043d\u0435 \u043e\u0442 \u043f\u0430\u0440\u0430 (CVD)<\/h3>\n<p>CVD \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0432\u0430\u0449\u0438\u044f\u0442 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0437\u0430 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u043d\u0430 h-BN \u0441 \u0433\u043e\u043b\u044f\u043c\u0430 \u043f\u043b\u043e\u0449. \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u044a\u0442 \u0438\u0437\u043f\u043e\u043b\u0437\u0432\u0430 \u0431\u043e\u0440\u0430\u0437\u0438\u043d (B\u2083N\u2083H\u2086) \u0438\u043b\u0438 \u0430\u043c\u043e\u043d\u044f\u0447\u0435\u043d \u0431\u043e\u0440\u0430\u043d (NH\u2083BH\u2083) \u043a\u0430\u0442\u043e \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u0438 \u043e\u0442 \u0435\u0434\u0438\u043d \u0438\u0437\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0432\u044a\u0440\u0445\u0443 \u043a\u0430\u0442\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u043d\u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043d\u0438 \u0441\u0443\u0431\u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0438, \u043a\u043e\u0438\u0442\u043e \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0432\u0430\u0442 Cu \u0438 Ni. CVD \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0438\u0441\u043a\u043e \u043d\u0430\u043b\u044f\u0433\u0430\u043d\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0438, \u0431\u043b\u0438\u0437\u043a\u0438 \u0434\u043e 1000 \u00b0C, \u0438 \u043d\u0430\u043b\u044f\u0433\u0430\u043d\u0435 \u043f\u043e\u0434 250 Torr \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438 \u0432\u044a\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0430\u043d\u043e\u0442\u043e \u043d\u0430\u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u0430\u043d\u0435 \u043d\u0430 \u0441\u043b\u043e\u044f. Cu \u0441\u0443\u0431\u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0438\u0442\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0432\u0430\u0442 \u0434\u0435\u0431\u0435\u043b\u0438\u043d\u0430, \u043a\u043e\u044f\u0442\u043e \u0441\u0435 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0430\u0432\u0430 \u043b\u0438\u043d\u0435\u0439\u043d\u043e \u0441 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u0442\u043e \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0435\u0436, \u043a\u043e\u0433\u0430\u0442\u043e \u043f\u0430\u0440\u0446\u0438\u0430\u043b\u043d\u043e\u0442\u043e \u043d\u0430\u043b\u044f\u0433\u0430\u043d\u0435 \u043d\u0430 \u0431\u043e\u0440\u0430\u0437\u0438\u043d\u0430 \u043d\u0430\u0434\u0432\u0438\u0448\u0438 17 mTorr. LPCVD \u0440\u0430\u0441\u0442\u0435\u0436\u044a\u0442 \u0432\u044a\u0440\u0445\u0443 Si\u2083N\u2084\/Si \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0434\u0430\u0432\u0430 \u043d\u0435\u043f\u0440\u0435\u043a\u044a\u0441\u043d\u0430\u0442\u0438 h-BN \u0444\u0438\u043b\u043c\u0438 \u0441 3,4 \u043f\u044a\u0442\u0438 \u043d\u0430\u043c\u0430\u043b\u0435\u043d\u0430 \u0433\u0440\u0430\u043f\u0430\u0432\u043e\u0441\u0442 \u0432 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u0431\u0430\u0437\u043e\u0432\u0438\u0442\u0435 \u043f\u043e\u0432\u044a\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0422\u0430\u043a\u0430 \u0441\u0435 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442 \u043d\u0430 \u0433\u0440\u0430\u0444\u0435\u043d\u0430 \u043e\u0442 1200 cm\u00b2\/Vs \u0441\u043f\u0440\u044f\u043c\u043e 400 cm\u00b2\/Vs \u0432\u044a\u0440\u0445\u0443 \u0433\u043e\u043b Si\u2083N\u2084.<\/p>\n<h3>\u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441 \u043d\u0430 \u043e\u0442\u043b\u0430\u0433\u0430\u043d\u0435 \u043d\u0430 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0435\u043d \u0441\u043b\u043e\u0439 (ALD)<\/h3>\n<p>ALD \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u0430\u0433\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b \u043d\u0430 \u0434\u0435\u0431\u0435\u043b\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0432 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0435\u043d \u043c\u0430\u0449\u0430\u0431 \u0447\u0440\u0435\u0437 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u043d\u043e \u0435\u043a\u0441\u043f\u043e\u043d\u0438\u0440\u0430\u043d\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u0438\u0442\u0435. \u041f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u0430\u0442\u0430 ALD \u043e\u0442\u043b\u0430\u0433\u0430 h-BN \u043f\u0440\u0438 250-350\u00b0C \u0441\u044a\u0441 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442 \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0435\u0436 \u043e\u0442 1,1 \u00c5\/\u0446\u0438\u043a\u044a\u043b, \u043a\u0430\u0442\u043e \u0438\u0437\u043f\u043e\u043b\u0437\u0432\u0430 \u0442\u0440\u0438\u0435\u0442\u0438\u043b\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442 \u0438 N\u2082\/H\u2082 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0430. \u0422\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u0438\u044f\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0437\u043e\u0440\u0435\u0446 \u043d\u0430 ALD \u043e\u0431\u0445\u0432\u0430\u0449\u0430 80-175\u00b0C \u0437\u0430 BCl3 \u0438\u043b\u0438 TDMAB \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u0438 \u0441 NH\u2083 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u0438. \u0415\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e \u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u0430\u0442\u0430 ALD \u043f\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430 \u043e\u0442\u043b\u0430\u0433\u0430\u043d\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u0441\u0442\u0430\u0439\u043d\u0430 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0431\u043e\u0440\u0430\u0437\u0438\u043d\u043e\u0432\u0438 \u0438 \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0438 \u0435\u043a\u0441\u043f\u043e\u0437\u0438\u0446\u0438\u0438, \u043a\u0430\u0442\u043e \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442 \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0435\u0436 \u0435 3,2 \u00c5\/\u0446\u0438\u043a\u044a\u043b \u043f\u0440\u0438 \u0435\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u043d\u0430 \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u0442\u0435 80-160 eV.<\/p>\n<h3>\u041f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438 \u0437\u0430 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043d\u043e-\u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u043d\u043e CVD (MOCVD)<\/h3>\n<p>MOCVD \u0434\u0430\u0432\u0430 \u0432\u044a\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442 \u0437\u0430 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442 \u0432 \u043c\u0430\u0449\u0430\u0431\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430, \u043a\u0430\u0442\u043e \u0441\u0435 \u0438\u0437\u043f\u043e\u043b\u0437\u0432\u0430\u0442 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u0438 \u043e\u0442 \u0442\u0438\u043f\u0430 \u043d\u0430 \u0442\u0440\u0438\u0435\u0442\u0438\u043b\u0431\u043e\u0440\u0430\u043d (TEB) \u0438 NH\u2083. \u0418\u043c\u043f\u0443\u043b\u0441\u043d\u043e-\u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u043d\u0430\u0442\u0430 MOCVD \u043f\u0440\u0438 1000 \u00b0C \u043f\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u043d\u043e \u0438\u0437\u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u0430\u043d\u0435 \u0432\u044a\u0440\u0445\u0443 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0440\u0430\u0437\u043a\u043b\u043e\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0431\u0430\u0437\u0430\u0442\u0430 \u043d\u0430 Si \u0441 45 nm \u0441\u0442\u044a\u043f\u043a\u0430 \u0438 \u0441\u044a\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 7:1. \u0421\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0435\u0436 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430 70 nm\/min \u0441 \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u043d\u043e \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u0430 TEB. \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u044a\u0442 \u0441\u0435 \u043d\u0443\u0436\u0434\u0430\u0435 \u0441\u0430\u043c\u043e \u043e\u0442 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0438 \u043d\u0430\u0434 950\u00b0C \u0437\u0430 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f \u0441 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u043e \u0441\u044a\u0434\u044a\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0430\u043c\u043e\u043d\u044f\u043a \u0438 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u043e \u043d\u0430\u043b\u044f\u0433\u0430\u043d\u0435.<\/p>\n<h3>\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438 \u0437\u0430 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0435\u0436 \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0438\u0441\u043a\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0438<\/h3>\n<p>\u0427\u0440\u0435\u0437 CVD \u0441 \u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u0441\u0432\u044a\u0440\u0437\u0430\u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0430 \u0441\u0435 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0438\u0440\u0430 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0435\u043d h-BN \u0432\u044a\u0440\u0445\u0443 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446 \u0438 Si \u043f\u0440\u0438 400-500\u00b0C, \u043a\u0430\u0442\u043e \u0441\u0435 \u0438\u0437\u043f\u043e\u043b\u0437\u0432\u0430 \u0431\u043e\u0440\u0430\u0437\u0438\u043d. \u041e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0432\u0430\u0442 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u043d\u0430 \u0441\u0443\u0431\u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0430 500\u00b0C \u0438 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442 180 W RF \u0441 \u043a\u043e\u043c\u0431\u0438\u043d\u0438\u0440\u0430\u043d\u0438 \u043d\u043e\u0441\u0435\u0449\u0438 \u0433\u0430\u0437\u043e\u0432\u0435 H\u2082\/N\u2082. \u041f\u043e \u0442\u043e\u0437\u0438 \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d \u0441\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u0432\u0430\u0442 \u0444\u0438\u043b\u043c\u0438 \u0441 \u0434\u0435\u0431\u0435\u043b\u0438\u043d\u0430 \u043d\u0430\u0434 50 nm.<\/p>\n<h3>\u041f\u0440\u0435\u0434\u0438\u0437\u0432\u0438\u043a\u0430\u0442\u0435\u043b\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0438\u0437\u0431\u043e\u0440\u0430 \u043d\u0430 \u0441\u0443\u0431\u0441\u0442\u0440\u0430\u0442 \u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f\u0442\u0430<\/h3>\n<p>\u041c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043d\u0438 \u0441\u0443\u0431\u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0438 \u043a\u0430\u0442\u043e Cu \u0438 Ni \u0441\u0435 \u043d\u0443\u0436\u0434\u0430\u044f\u0442 \u043e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0445\u0432\u044a\u0440\u043b\u044f\u043d\u0435 \u0441\u043b\u0435\u0434 \u0438\u0437\u0440\u0430\u0441\u0442\u0432\u0430\u043d\u0435\u0442\u043e, \u043a\u043e\u0438\u0442\u043e \u0432\u043d\u0430\u0441\u044f\u0442 \u0437\u0430\u043c\u044a\u0440\u0441\u044f\u0432\u0430\u043d\u0435 \u0438 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u043d\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0434\u0438. \u041d\u0435\u043a\u0430\u0442\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u043d\u0438\u0442\u0435 \u0441\u0443\u0431\u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0438 \u043a\u0430\u0442\u043e SiO\u2082 \u0438 \u0441\u0430\u043f\u0444\u0438\u0440 \u0438\u0437\u0438\u0441\u043a\u0432\u0430\u0442 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0438 \u043d\u0430\u0434 900\u00b0C, \u0437\u0430 \u0434\u0430 \u0441\u0435 \u043f\u0440\u0435\u043e\u0434\u043e\u043b\u0435\u044f\u0442 \u0435\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0439\u043d\u0438\u0442\u0435 \u0431\u0430\u0440\u0438\u0435\u0440\u0438. \u0415\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u043d\u0438\u044f\u0442 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0435\u0436 \u0432\u044a\u0440\u0445\u0443 Si\u2083N\u2084 \u0435\u043b\u0438\u043c\u0438\u043d\u0438\u0440\u0430 \u0441\u0442\u044a\u043f\u043a\u0438\u0442\u0435 \u0437\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0445\u0432\u044a\u0440\u043b\u044f\u043d\u0435, \u043a\u0430\u0442\u043e \u0441\u044a\u0449\u0435\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0434\u044a\u0440\u0436\u0430 \u0441\u044a\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442 \u0441 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u0446\u0438.<\/p>\n<h2>\u041f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430\u0442\u0430 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0438\u0442\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h2>\n<p>\u041e\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u0438\u0442\u0435 \u0432\u044a\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0437\u0430 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u0434\u0430\u0432\u0430\u0442 \u0432\u044a\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442 \u043d\u0430 \u0445\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u043d\u0438\u044f \u0431\u043e\u0440\u0435\u043d \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0434\u0430 \u043e\u0442\u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u0438 \u043d\u0430 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u043d\u0438\u0442\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0438\u0437\u0432\u0438\u043a\u0430\u0442\u0435\u043b\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432 \u0441\u044a\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u0438\u0442\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>\n<h3>\u0414\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u043d \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u0441\u044a\u0441 \u0441\u0432\u0440\u044a\u0445\u043d\u0438\u0441\u043a\u0438 \u0441\u0442\u043e\u0439\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0437\u0430 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0432\u0440\u044a\u0437\u043a\u0438<\/h3>\n<p>\u0410\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u0438 \u0444\u0438\u043b\u043c\u0438 \u043e\u0442 \u0431\u043e\u0440\u0435\u043d \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0441 \u0434\u0435\u0431\u0435\u043b\u0438\u043d\u0430 3 nm \u043f\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0442 \u0443\u043b\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0441\u043a\u0438 \u0434\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0430\u043d\u0442\u0438 \u043e\u0442 1,78 \u043f\u0440\u0438 100 kHz \u0438 1,16 \u043f\u0440\u0438 1 MHz. \u0422\u0435\u0437\u0438 \u0441\u0442\u043e\u0439\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0435 \u0434\u043e\u0431\u043b\u0438\u0436\u0430\u0432\u0430\u0442 \u0434\u043e \u0434\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0430\u043d\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0432\u044a\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430, \u043a\u0430\u0442\u043e \u0441\u044a\u0449\u0435\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0434\u044a\u0440\u0436\u0430\u0442 \u044f\u043a\u043e\u0441\u0442 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0438\u0432 \u043e\u0442 7,3 MV\/cm. \u0422\u0430\u043a\u0430 a-BN \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0442\u044f\u0432\u0430 \u0434\u0438\u0444\u0443\u0437\u0438\u044f\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u043c\u0435\u0434 \u0432 \u0441\u0438\u043b\u0438\u0446\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u0436\u043a\u0438 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f \u0438 \u0443\u0434\u044a\u043b\u0436\u0430\u0432\u0430 \u0436\u0438\u0432\u043e\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0442\u0430 \u0441 \u0442\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u044a\u043a\u0430 \u0432 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u043d\u0435\u0437\u0430\u0449\u0438\u0442\u0435\u043d\u0438\u0442\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438. \u0412\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u043d\u043e \u0442\u0435\u043a\u0441\u0442\u0443\u0440\u0438\u0440\u0430\u043d\u0438\u044f\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043f\u0440\u0430\u0448\u0435\u043d h-BN \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0432\u0430 \u0442\u043e\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0437 \u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043e\u0442 57 W\/m*K \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0442\u043b\u0430\u0433\u0430\u043d\u0435 \u043f\u043e\u0434 400 \u00b0C. \u0422\u043e\u0432\u0430 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0432\u0430 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u0434\u043d\u043e \u043c\u0430\u0449\u0430\u0431\u0438\u0440\u0430\u043d\u0435 \u0434\u043e \u0434\u0435\u0432\u0435\u0442 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u043e\u043c\u043e\u0449\u043d\u0438 \u043d\u0438\u0432\u0430 \u0432 3D \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u043d\u0438 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0438.<\/p>\n<h3>\u0421\u0443\u0431\u0441\u0442\u0440\u0430\u0442 \u0438 \u043a\u0430\u043f\u0441\u0443\u043b\u0438\u0440\u0430\u0449 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0437\u0430 2D \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0438<\/h3>\n<p>\u0428\u0435\u0441\u0442\u043e\u044a\u0433\u044a\u043b\u043d\u0438\u044f\u0442 BN \u043e\u0441\u0438\u0433\u0443\u0440\u044f\u0432\u0430 \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0432\u044a\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043a\u043e\u0438\u0442\u043e \u043f\u043e\u0432\u0438\u0448\u0430\u0432\u0430\u0442 \u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0433\u0440\u0430\u0444\u0435\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0435 \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043e\u0442 5000-10 000 cm\u00b2\/V-s \u0432\u044a\u0440\u0445\u0443 SiO\u2082 \u0434\u043e 20 000-60 000 cm\u00b2\/V-s. \u041f\u044a\u043b\u043d\u043e\u0442\u043e \u043a\u0430\u043f\u0441\u0443\u043b\u0438\u0440\u0430\u043d\u0435 \u043d\u0430\u043c\u0430\u043b\u044f\u0432\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0441\u0435\u0439\u0432\u0430\u043d\u0435\u0442\u043e \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0438\u0442\u0435 \u0441 \u0434\u043e \u0434\u0432\u0430 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u044a\u043a\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0438\u0441\u043a\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0438.<\/p>\n<h3>\u0414\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0446\u0438 \u043d\u0430 \u0433\u0435\u0439\u0442\u0430 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0432\u0438\u0442\u0435 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0438<\/h3>\n<p>\u041c\u0430\u043b\u043a\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u0438\u044f\u0442 h-BN \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0438\u0432\u043d\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0442\u0430, \u043d\u0430\u0434\u0432\u0438\u0448\u0430\u0432\u0430\u0449\u0438 10 MV\/cm, \u0441 \u0442\u043e\u043a\u043e\u0432\u0435 \u043d\u0430 \u0443\u0442\u0435\u0447\u043a\u0430 \u043e\u0442 10-\u2078 \u0434\u043e 10-\u00b9\u2070 A\/cm\u00b2. \u041f\u043b\u0430\u0442\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0442\u0435\/hBN \u0441\u0442\u0435\u043a\u043e\u0432\u0435 \u043d\u0430 \u0433\u0435\u0439\u0442\u0430 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0432\u0430\u0442 500 \u043f\u044a\u0442\u0438 \u043f\u043e-\u043d\u0438\u0441\u043a\u0430 \u0443\u0442\u0435\u0447\u043a\u0430 \u0432 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438\u0442\u0435, \u0431\u0430\u0437\u0438\u0440\u0430\u043d\u0438 \u043d\u0430 \u0437\u043b\u0430\u0442\u043e, \u0438 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0442 \u0434\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0430 \u044f\u043a\u043e\u0441\u0442 \u043e\u0442 \u043f\u043e\u043d\u0435 25 MV\/cm.<\/p>\n<h3>\u0423\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0442\u043e\u043f\u043b\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0432 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438 \u0441 \u043f\u043e\u0434\u0440\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h3>\n<p>\u041f\u043e\u043a\u0440\u0438\u0432\u0430\u043d\u0435\u0442\u043e \u043d\u0430 \u0437\u043b\u0430\u0442\u043d\u0438 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0435\u043d\u0442\u0438 \u0441 hBN \u043d\u0430\u043c\u0430\u043b\u044f\u0432\u0430 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0440\u0430\u043c\u043f\u0430 \u0441 40% \u0438 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0430\u0432\u0430 \u043f\u043b\u044a\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0438\u0432\u043d\u0438\u044f \u0442\u043e\u043a \u0441 30%. hBN \u0432\u044a\u0440\u0445\u0443 SiGe \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u0446\u0438 \u043d\u0430\u043c\u0430\u043b\u044f\u0432\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0441 500 K \u043f\u0440\u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e \u0432\u044a\u0437\u0431\u0443\u0436\u0434\u0430\u043d\u0435.<\/p>\n<h2>\u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0438\u0442\u0435 \u0438 \u0435\u0442\u0430\u043b\u043e\u043d\u0438 \u0437\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442<\/h2>\n<p>\u0422\u043e\u0447\u043d\u0438\u0442\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438 \u0437\u0430 \u043e\u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0437\u0438\u0440\u0430\u043d\u0435 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0442 \u0434\u0430\u043b\u0438 \u0445\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u043d\u0438\u044f\u0442 \u0431\u043e\u0440\u0435\u043d \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043e\u0442\u0433\u043e\u0432\u0430\u0440\u044f \u043d\u0430 \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u0438\u0442\u0435 \u0438\u0437\u0438\u0441\u043a\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430 \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0430 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f.<\/p>\n<h3>\u0418\u0437\u043c\u0435\u0440\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0434\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0430\u043d\u0442\u0430 \u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0435\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435\u0442\u043e \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0438\u0432<\/h3>\n<p>\u041a\u043e\u043d\u0434\u0435\u043d\u0437\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u0438\u0442\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b-\u0438\u0437\u043e\u043b\u0430\u0442\u043e\u0440-\u043c\u0435\u0442\u0430\u043b \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0432\u0430\u0442 \u0434\u0438\u0440\u0435\u043a\u0442\u043d\u043e \u0438\u0437\u0432\u043b\u0438\u0447\u0430\u043d\u0435 \u043d\u0430 \u0434\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0430\u043d\u0442\u0438 \u0447\u0440\u0435\u0437 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043a\u0430\u043f\u0430\u0446\u0438\u0442\u0435\u0442-\u043d\u0430\u043f\u0440\u0435\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435. \u0414\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442 \u0438\u0437\u0432\u044a\u043d \u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0441\u0435 \u0441\u0442\u0435\u0441\u043d\u044f\u0432\u0430 \u0434\u043e 3,4\u00b10,2. \u0422\u0435\u0441\u0442\u043e\u0432\u0435\u0442\u0435 \u0437\u0430 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0435\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441 \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u043d\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u0435\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0432\u0430\u0442 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0438\u0432. \u0422\u044a\u043d\u043a\u0438\u0442\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u043e\u0432\u0435 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0438\u0432\u043d\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0442\u0430 \u043e\u0442 15,7 MV\/cm \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0443\u043b\u0435\u0432\u043e \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u043d\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u0435\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0430 3 nm \u0444\u0438\u043b\u043c\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0442 21 MV\/cm. \u0414\u0435\u0431\u0435\u043b\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043e\u043a\u0430\u0437\u0432\u0430 \u0433\u043e\u043b\u044f\u043c\u043e \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u0432\u044a\u0440\u0445\u0443 \u0434\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0430\u0442\u0430 \u044f\u043a\u043e\u0441\u0442. \u041e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0446\u0438 \u0441 \u0434\u044a\u043b\u0436\u0438\u043d\u0430 4,6 nm \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0432\u0430\u0442 E63.2% \u043e\u0442 15,1 MV\/cm, \u043a\u043e\u0435\u0442\u043e \u043d\u0430\u043c\u0430\u043b\u044f\u0432\u0430 \u0434\u043e 10,4 MV\/cm \u0437\u0430 \u0444\u0438\u043b\u043c\u0438 \u0441 \u0434\u044a\u043b\u0436\u0438\u043d\u0430 41,3 nm.<\/p>\n<h3>\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438 \u0437\u0430 \u0438\u0437\u043f\u0438\u0442\u0432\u0430\u043d\u0435 \u043d\u0430 \u0442\u043e\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0442\u0430<\/h3>\n<p>\u0422\u0435\u0440\u043c\u043e\u0440\u0435\u0444\u043b\u0435\u043a\u0441\u0438\u044f\u0442\u0430 \u0432\u044a\u0432 \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u0432\u0430 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442 \u0441 \u043f\u0440\u043e\u043c\u0435\u043d\u043b\u0438\u0432\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0442\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0432\u0430 \u0435\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0442\u0430 \u0432 \u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0437 \u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430, \u043a\u0430\u0442\u043e \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u0430 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u0438\u0442\u0435 \u043d\u0430 \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0442\u043e \u043f\u0435\u0442\u043d\u043e \u0441\u043f\u0440\u044f\u043c\u043e \u0434\u044a\u043b\u0431\u043e\u0447\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u043d\u043e \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0432\u0430\u043d\u0435. \u041e\u043f\u0442\u043e\u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0420\u0430\u043c\u0430\u043d\u043e\u0432\u0430 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u044f\u0432\u0430 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u0438\u0442\u0435 \u043e\u0442 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0442\u0430 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043f\u0438\u043a\u043e\u0432\u0435\u0442\u0435, \u0437\u0430 \u0434\u0430 \u0441\u0435 \u0438\u0437\u0432\u043b\u0435\u043a\u0430\u0442 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u043d\u0438\u0442\u0435 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442\u043d\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>\n<h3>\u041a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u044a\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0442\u0430 \u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043d\u0430 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441\u0430<\/h3>\n<p>\u041f\u0440\u0435\u0434\u043b\u0430\u0433\u0430\u043d\u0438\u044f\u0442 \u043d\u0430 \u043f\u0430\u0437\u0430\u0440\u0430 CVD h-BN \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0432\u0430 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u043d\u043e \u043f\u043e-\u043b\u043e\u0448 \u0442\u043e\u043a \u043d\u0430 \u0443\u0442\u0435\u0447\u043a\u0430 \u0438 \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430 \u0445\u043e\u043c\u043e\u0433\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442 \u043e\u0442 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d \u0447\u0440\u0435\u0437 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u043d\u043e \u0435\u043a\u0441\u0444\u043e\u043b\u0438\u0440\u0430\u043d\u0435. \u0413\u044a\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u043a\u0430\u043f\u0430\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 h-BN \u0438 Ge \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0440\u0430 \u043e\u0442 10\u00b9\u00b9 \u0434\u043e 10\u00b9\u00b2 cm-\u00b2 eV-\u00b9.<\/p>\n<h3>\u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0438\u0442\u0435 \u0434\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0438<\/h3>\n<p>\u0434\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0430\u043d\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0431\u043e\u0440\u043e\u0432\u0438\u044f \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043d\u0430\u0434\u0445\u0432\u044a\u0440\u043b\u044f \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0430 8,0-10 \u043d\u0430 \u0441\u0438\u043b\u0438\u0446\u0438\u0435\u0432\u0438\u044f \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0438 \u043d\u0430\u043c\u0430\u043b\u044f\u0432\u0430 \u0437\u0430\u0431\u0430\u0432\u044f\u043d\u0435\u0442\u043e \u043d\u0430 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0435\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f. \u042f\u043a\u043e\u0441\u0442\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0438\u0432 \u043e\u0431\u0445\u0432\u0430\u0449\u0430 61-200 kV\/mm. \u0422\u043e\u0432\u0430 \u0435 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e, \u0442\u044a\u0439 \u043a\u0430\u0442\u043e \u043e\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u0432\u0430, \u0447\u0435 8,9-12 kV\/mm \u043d\u0430 \u0430\u043b\u0443\u043c\u0438\u043d\u0438\u0435\u0432\u0438\u044f \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0430 \u0434\u0430\u043b\u0435\u0447 \u043d\u0430\u0437\u0430\u0434.<\/p>\n<h2>\u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h2>\n<p>\u0425\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u043d\u0438\u044f\u0442 \u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0441\u0435 \u0435 \u0434\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b \u043a\u0430\u0442\u043e \u0432\u0430\u0436\u0435\u043d \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u0437\u0430 \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430\u0442\u0430 \u043e\u0442 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0432\u0430\u0449\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0438\u0437\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0441\u0438 \u0442\u043e\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442, \u043f\u0440\u0435\u0432\u044a\u0437\u0445\u043e\u0434\u043d\u0438\u0442\u0435 \u0441\u0438 \u0434\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u0442\u0430 \u0441\u0438 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442. \u041d\u0430\u043f\u0440\u0435\u0434\u044a\u043a\u044a\u0442 \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0438\u0442\u0435 \u0437\u0430 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u0438 \u0432\u044a\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u043c\u0430\u0449\u0430\u0431\u043d\u043e\u0442\u043e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0438 \u0434\u0430\u0434\u0435 \u0432\u044a\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442 \u0437\u0430 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0438\u0440\u0430\u043d\u0435 \u0432 \u0441\u0432\u0440\u044a\u0445\u043d\u0438\u0441\u043a\u043e\u043a\u0440\u044a\u0433\u043e\u0432\u0438 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0432\u0440\u044a\u0437\u043a\u0438, \u0434\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0446\u0438 \u0437\u0430 \u0433\u0435\u0439\u0442\u043e\u0432\u0435 \u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0438 \u0437\u0430 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0442\u043e\u043f\u043b\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430. \u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044a\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044a\u0437\u0445\u043e\u0436\u0434\u0430 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0438\u0442\u0435 \u0434\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0446\u0438 \u0432 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u043d\u0438 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u0438. \u0422\u043e\u0432\u0430 \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f h-BN \u043a\u0430\u0442\u043e \u0436\u0438\u0437\u043d\u0435\u043d\u043e\u0432\u0430\u0436\u043d\u0430 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f, \u043a\u043e\u044f\u0442\u043e \u0449\u0435 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u0430 \u0438\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438\u0442\u0435 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u0446\u0438\u0442\u0435 \u0438 \u0449\u0435 \u043e\u0442\u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u0438 \u043d\u0430 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u0438\u0442\u0435 \u0438\u0437\u0438\u0441\u043a\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430 \u0441\u044a\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u0438\u0442\u0435 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>\n<h2>\u0427\u0435\u0441\u0442\u043e \u0437\u0430\u0434\u0430\u0432\u0430\u043d\u0438 \u0432\u044a\u043f\u0440\u043e\u0441\u0438<\/h2>\n<p><strong>Q1. \u0421 \u043a\u0430\u043a\u0432\u043e \u0445\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u043d\u0438\u044f\u0442 \u0431\u043e\u0440\u0435\u043d \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0435 \u0446\u0435\u043d\u0435\u043d \u0437\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430\u0442\u0430?<\/strong> \u0425\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u0435\u043d \u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0441\u044a\u0447\u0435\u0442\u0430\u0432\u0430 \u043d\u044f\u043a\u043e\u043b\u043a\u043e \u0432\u0430\u0436\u043d\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430, \u043a\u043e\u0438\u0442\u043e \u0433\u043e \u043f\u0440\u0430\u0432\u044f\u0442 \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u0435\u043d \u0437\u0430 \u0441\u044a\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430: \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u0430 \u0442\u043e\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442 (\u0434\u043e 585 W m-\u00b9 K-\u00b9 \u0432 \u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430), \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u0430 \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430 \u0438\u0437\u043e\u043b\u0430\u0446\u0438\u044f \u0441 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d \u043e\u0442 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 6 eV, \u0438\u0437\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u043d\u0430 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430 \u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u043d\u0430 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0438\u0448\u0435\u043d\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0438 \u0438 \u043d\u0438\u0441\u043a\u0430 \u0434\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0430\u043d\u0442\u0430. \u0422\u0435\u0437\u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0432\u0430\u0442 \u043d\u0430 h-BN \u0434\u0430 \u0441\u0435 \u0441\u043f\u0440\u0430\u0432\u0438 \u0441 \u043a\u043b\u044e\u0447\u043e\u0432\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0438\u0437\u0432\u0438\u043a\u0430\u0442\u0435\u043b\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u0438\u0442\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0441\u0435\u0439\u0432\u0430\u043d\u0435 \u043d\u0430 \u0442\u043e\u043f\u043b\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430, \u043d\u0430\u043c\u0430\u043b\u044f\u0432\u0430\u043d\u0435 \u043d\u0430 \u0437\u0430\u043a\u044a\u0441\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u0442\u043e \u043d\u0430 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442 \u043d\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e\u0442\u043e.<\/p>\n<p><strong>Q2. \u041a\u0430\u043a \u0441\u0435 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u044f\u0432\u0430 \u0445\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u0435\u043d \u0431\u043e\u0440\u0435\u043d \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0441 \u043a\u0443\u0431\u0438\u0447\u0435\u043d \u0431\u043e\u0440\u0435\u043d \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434?<\/strong> \u0425\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u043d\u0438\u044f\u0442 \u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 (h-BN) \u0438\u043c\u0430 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0441\u0442\u0430 \u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0442\u043e\u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u043d\u0430 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0441\u044a\u0441 sp\u00b2 \u0432\u0440\u044a\u0437\u043a\u0430 \u0438 \u0435 \u043d\u0430\u0439-\u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u043d\u0438\u044f\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u043e\u0440\u0444 \u043f\u0440\u0438 \u0441\u0442\u0430\u0439\u043d\u0438 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f. \u041a\u0443\u0431\u0438\u0447\u043d\u0438\u044f\u0442 \u0431\u043e\u0440\u0435\u043d \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 (c-BN) \u0438\u043c\u0430 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0430\u043d\u0442\u043e\u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u043d\u0430 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0441\u044a\u0441 sp\u00b3 \u0432\u0440\u044a\u0437\u043a\u0430 \u0438 \u0441\u0435 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0432\u0430 \u0441 \u0438\u0437\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u043d\u0430 \u0442\u0432\u044a\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442 (4500 kp\/mm\u00b2), \u0432\u0442\u043e\u0440\u0430 \u043f\u043e \u0441\u0438\u043b\u0430 \u0441\u043b\u0435\u0434 \u0434\u0438\u0430\u043c\u0430\u043d\u0442\u0430. \u0414\u043e\u043a\u0430\u0442\u043e c-BN \u0438\u0437\u0438\u0441\u043a\u0432\u0430 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u043f\u0440\u0438 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u043e \u043d\u0430\u043b\u044f\u0433\u0430\u043d\u0435 \u0438 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u0430 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430, h-BN \u043c\u043e\u0436\u0435 \u0434\u0430 \u0441\u0435 \u043e\u0442\u043b\u0430\u0433\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e-\u043d\u0438\u0441\u043a\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0438. \u0412\u0441\u044f\u043a\u0430 \u043e\u0442 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0442\u0435 \u0438\u043c\u0430 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f: h-BN \u0441\u0435 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0432\u0430 \u0432 \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0430\u0442\u0430 \u0438 \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u0442\u043e \u043d\u0430 \u0442\u043e\u043f\u043b\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430, \u0434\u043e\u043a\u0430\u0442\u043e c-BN \u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0438\u0442\u0430\u043d \u0437\u0430 \u0440\u0435\u0436\u0435\u0449\u0438 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u0438 \u0438 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u0438.<\/p>\n<p><strong>Q3. \u041a\u043e\u0438 \u0441\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u0438\u0442\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438 \u0437\u0430 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0438\u0440\u0430\u043d\u0435 \u043d\u0430 \u0444\u0438\u043b\u043c\u0438 \u043e\u0442 \u0445\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u0435\u043d \u0431\u043e\u0440\u0435\u043d \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434?<\/strong> \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u0438\u0442\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0438 \u0437\u0430 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0432\u0430\u0442 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e \u043e\u0442\u043b\u0430\u0433\u0430\u043d\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u0430\u0440\u0438 (CVD) \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0438, \u0431\u043b\u0438\u0437\u043a\u0438 \u0434\u043e 1000\u00b0C, \u0441 \u0438\u0437\u043f\u043e\u043b\u0437\u0432\u0430\u043d\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u0438 \u043a\u0430\u0442\u043e \u0431\u043e\u0440\u0430\u0437\u0438\u043d \u0438\u043b\u0438 \u0430\u043c\u043e\u043d\u044f\u0447\u0435\u043d \u0431\u043e\u0440\u0430\u043d, \u043e\u0442\u043b\u0430\u0433\u0430\u043d\u0435 \u043d\u0430 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u0435 (ALD), \u043a\u043e\u0435\u0442\u043e \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u0430\u0433\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b \u043d\u0430 \u0434\u0435\u0431\u0435\u043b\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430 \u0432 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u0430 \u0441\u043a\u0430\u043b\u0430 \u043f\u0440\u0438 250-350\u00b0C, \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043d\u043e-\u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u043d\u043e CVD (MOCVD) \u0437\u0430 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442 \u0432 \u043c\u0430\u0449\u0430\u0431\u0430 \u043d\u0430 \u0432\u0430\u0444\u043b\u0430, \u0441 \u0438\u0437\u043f\u043e\u043b\u0437\u0432\u0430\u043d\u0435 \u043d\u0430 \u0442\u0440\u0438\u0435\u0442\u0438\u043b\u0431\u043e\u0440\u0430\u043d \u0438 \u0430\u043c\u043e\u043d\u044f\u043a, \u0438 \u043d\u0438\u0441\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u0438 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0438, \u043a\u043e\u0438\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0432\u0430\u0442 \u043e\u0442\u043b\u0430\u0433\u0430\u043d\u0435 \u043f\u0440\u0438 400-500\u00b0C. \u0412\u0441\u0435\u043a\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043b\u0430\u0433\u0430 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0438\u043c\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0437\u0430 \u0441\u043f\u0435\u0446\u0438\u0444\u0438\u0447\u043d\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0441\u044a\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442 \u0441 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438.<\/p>\n<p><strong>Q4. \u0417\u0430\u0449\u043e \u0445\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u0435\u043d \u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0441\u0435 \u0438\u0437\u043f\u043e\u043b\u0437\u0432\u0430 \u043a\u0430\u0442\u043e \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430 \u0437\u0430 \u0433\u0440\u0430\u0444\u0435\u043d\u043e\u0432\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430?<\/strong> \u0425\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u043d\u0430\u0442\u0430 \u043a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u043e\u0442 \u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043e\u0441\u0438\u0433\u0443\u0440\u044f\u0432\u0430 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u0430, \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u044a\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442, \u043a\u043e\u044f\u0442\u043e \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u0440\u044f\u0432\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0433\u0440\u0430\u0444\u0435\u043d\u0430. \u041a\u043e\u0433\u0430\u0442\u043e \u0433\u0440\u0430\u0444\u0435\u043d\u044a\u0442 \u0435 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u0435\u043d \u0432\u044a\u0440\u0445\u0443 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u043e\u0442 h-BN \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u0432\u044a\u0440\u0445\u0443 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0438\u044f \u0441\u0438\u043b\u0438\u0446\u0438\u0435\u0432 \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434, \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u0438\u0442\u0435 \u0441\u0435 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0430\u0432\u0430 \u043e\u0442 5 000-10 000 cm\u00b2\/V-s \u0434\u043e 20 000-60 000 cm\u00b2\/V-s. \u041f\u044a\u043b\u043d\u043e\u0442\u043e \u043a\u0430\u043f\u0441\u0443\u043b\u0438\u0440\u0430\u043d\u0435 \u043d\u0430 \u0433\u0440\u0430\u0444\u0435\u043d\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u0435\u0442\u0435 \u043d\u0430 h-BN \u0434\u043e\u043f\u044a\u043b\u043d\u0438\u0442\u0435\u043b\u043d\u043e \u043d\u0430\u043c\u0430\u043b\u044f\u0432\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0441\u0435\u0439\u0432\u0430\u043d\u0435\u0442\u043e \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0438\u0442\u0435 \u0441 \u0434\u043e \u0434\u0432\u0430 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u044a\u043a\u0430, \u043a\u043e\u0435\u0442\u043e \u0432\u043e\u0434\u0438 \u0434\u043e \u043f\u043e-\u0447\u0438\u0441\u0442\u0438 \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438 \u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u0440\u0435\u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442 \u043d\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0442\u0430.<\/p>\n<p><strong>Q5. \u041a\u0430\u043a\u0432\u0430 \u0434\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0430\u043d\u0442\u0430 \u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0435\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0438\u0432 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430 \u0448\u0435\u0441\u0442\u043e\u044a\u0433\u044a\u043b\u043d\u0438\u044f\u0442 \u0431\u043e\u0440\u0435\u043d \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434?<\/strong> \u0425\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u0435\u043d \u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0438\u043c\u0430 \u0434\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0430\u043d\u0442\u0430 \u043e\u0442 4,0 \u0434\u043e 4,4, \u043a\u043e\u044f\u0442\u043e \u0435 \u043f\u043e-\u043d\u0438\u0441\u043a\u0430 \u043e\u0442 \u0442\u0430\u0437\u0438 \u043d\u0430 \u0441\u0438\u043b\u0438\u0446\u0438\u0435\u0432\u0438\u044f \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 (8,0-10), \u043a\u043e\u0435\u0442\u043e \u0433\u043e \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438 \u0438\u0437\u0433\u043e\u0434\u0435\u043d \u0437\u0430 \u043d\u0430\u043c\u0430\u043b\u044f\u0432\u0430\u043d\u0435 \u043d\u0430 \u0437\u0430\u043a\u044a\u0441\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u0442\u043e \u043d\u0430 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0430 \u0432\u044a\u0432 \u0432\u0438\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0435\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041d\u0430\u043f\u0440\u0435\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435\u0442\u043e \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0438\u0432 \u0435 \u0432\u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u043b\u044f\u0432\u0430\u0449\u043e, \u043a\u0430\u0442\u043e \u0442\u044a\u043d\u043a\u0438\u0442\u0435 \u0444\u0438\u043b\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0442 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0438\u0432 \u043e\u0442 15-21 MV\/cm \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442 \u043e\u0442 \u0434\u0435\u0431\u0435\u043b\u0438\u043d\u0430\u0442\u0430. \u0410\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u0438\u0442\u0435 \u0444\u0438\u043b\u043c\u0438 \u043e\u0442 BN \u043c\u043e\u0433\u0430\u0442 \u0434\u0430 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u043d\u0430\u0442 \u0443\u043b\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0441\u043a\u0438 \u0434\u0438\u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u043d\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0430\u043d\u0442\u0438 \u0434\u043e 1,78, \u043a\u0430\u0442\u043e \u0441\u044a\u0449\u0435\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0434\u044a\u0440\u0436\u0430\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0438\u0432\u043d\u0430 \u0441\u0438\u043b\u0430 \u043e\u0442 7,3 MV\/cm, \u0434\u043e\u0431\u043b\u0438\u0436\u0430\u0432\u0430\u0439\u043a\u0438 \u0441\u0435 \u0434\u043e \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0442\u0430 \u043d\u0430 \u0432\u044a\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430 \u0438 \u043e\u0441\u0438\u0433\u0443\u0440\u044f\u0432\u0430\u0439\u043a\u0438 \u0437\u0434\u0440\u0430\u0432\u0430 \u0435\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430 \u0438\u0437\u043e\u043b\u0430\u0446\u0438\u044f.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Hexagonal Boron Nitride: Properties and Applications in Modern Electronics Key Takeaways Hexagonal boron nitride emerges as a game-changing material that [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""}},"ngg_post_thumbnail":0,"footnotes":""},"categories":[4],"tags":[],"aioseo_notices":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/bg\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/320"}],"collection":[{"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/bg\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/bg\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/bg\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/bg\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=320"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/bg\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/320\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":321,"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/bg\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/320\/revisions\/321"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/bg\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=320"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/bg\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=320"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/bg\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=320"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}