{"id":320,"date":"2026-05-07T17:14:14","date_gmt":"2026-05-07T09:14:14","guid":{"rendered":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/?p=320"},"modified":"2026-05-07T17:14:14","modified_gmt":"2026-05-07T09:14:14","slug":"%ce%b9%ce%b4%ce%b9%cf%8c%cf%84%ce%b7%cf%84%ce%b5%cf%82-%ce%ba%ce%b1%ce%b9-%ce%b5%cf%86%ce%b1%cf%81%ce%bc%ce%bf%ce%b3%ce%ad%cf%82-%cf%84%ce%bf%cf%85-%ce%b5%ce%be%ce%b1%ce%b3%cf%89%ce%bd%ce%b9%ce%ba","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/el\/hexagonal-boron-nitride-properties-and-applications-in-modern-electronics\/","title":{"rendered":"\u0395\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03cc \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5: \u0392\u03bf\u03c1\u03b5\u03b9\u03bf\u03b4\u03bf\u03bd\u03c4\u03b9\u03ba\u03cc \u0392\u03cc\u03c1\u03b9\u03bf: \u0399\u03b4\u03b9\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b5\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u0395\u03c6\u03b1\u03c1\u03bc\u03bf\u03b3\u03ad\u03c2 \u03c3\u03c4\u03b7 \u03a3\u03cd\u03b3\u03c7\u03c1\u03bf\u03bd\u03b7 \u0397\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03bf\u03bd\u03b9\u03ba\u03ae"},"content":{"rendered":"<h1>\u0395\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03cc \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5: \u0392\u03bf\u03c1\u03b5\u03b9\u03bf\u03b4\u03bf\u03bd\u03c4\u03b9\u03ba\u03cc \u0392\u03cc\u03c1\u03b9\u03bf: \u0399\u03b4\u03b9\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b5\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u0395\u03c6\u03b1\u03c1\u03bc\u03bf\u03b3\u03ad\u03c2 \u03c3\u03c4\u03b7 \u03a3\u03cd\u03b3\u03c7\u03c1\u03bf\u03bd\u03b7 \u0397\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03bf\u03bd\u03b9\u03ba\u03ae<\/h1>\n<h2>\u0392\u03b1\u03c3\u03b9\u03ba\u03ac \u03c3\u03c5\u03bc\u03c0\u03b5\u03c1\u03ac\u03c3\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1<\/h2>\n<p>\u03a4\u03bf \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03cc \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03b1\u03bd\u03b1\u03b4\u03b5\u03b9\u03ba\u03bd\u03cd\u03b5\u03c4\u03b1\u03b9 \u03c9\u03c2 \u03ad\u03bd\u03b1 \u03c5\u03bb\u03b9\u03ba\u03cc \u03c0\u03bf\u03c5 \u03b1\u03bb\u03bb\u03ac\u03b6\u03b5\u03b9 \u03c4\u03b1 \u03b4\u03b5\u03b4\u03bf\u03bc\u03ad\u03bd\u03b1 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b1\u03bd\u03c4\u03b9\u03bc\u03b5\u03c4\u03c9\u03c0\u03af\u03b6\u03b5\u03b9 \u03ba\u03c1\u03af\u03c3\u03b9\u03bc\u03b5\u03c2 \u03c0\u03c1\u03bf\u03ba\u03bb\u03ae\u03c3\u03b5\u03b9\u03c2 \u03c3\u03c4\u03b7 \u03c3\u03cd\u03b3\u03c7\u03c1\u03bf\u03bd\u03b7 \u03c4\u03b5\u03c7\u03bd\u03bf\u03bb\u03bf\u03b3\u03af\u03b1 \u03c4\u03c9\u03bd \u03b7\u03bc\u03b9\u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03ce\u03bd \u03bc\u03ad\u03c3\u03c9 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03bc\u03bf\u03bd\u03b1\u03b4\u03b9\u03ba\u03bf\u03cd \u03c3\u03c5\u03bd\u03b4\u03c5\u03b1\u03c3\u03bc\u03bf\u03cd \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ce\u03bd, \u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ce\u03bd \u03ba\u03b1\u03b9 \u03bc\u03b7\u03c7\u03b1\u03bd\u03b9\u03ba\u03ce\u03bd \u03b9\u03b4\u03b9\u03bf\u03c4\u03ae\u03c4\u03c9\u03bd \u03c4\u03bf\u03c5.<\/p>\n<p>\u2022 <strong>\u0391\u03bd\u03ce\u03c4\u03b5\u03c1\u03b7 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03b4\u03b9\u03b1\u03c7\u03b5\u03af\u03c1\u03b9\u03c3\u03b7<\/strong>: \u03a4\u03bf h-BN \u03b5\u03c0\u03b9\u03c4\u03c5\u03b3\u03c7\u03ac\u03bd\u03b5\u03b9 \u03b5\u03be\u03b1\u03b9\u03c1\u03b5\u03c4\u03b9\u03ba\u03ae \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03b9\u03bc\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 \u03b5\u03bd\u03c4\u03cc\u03c2 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c0\u03ad\u03b4\u03bf\u03c5 585 W\/m-K, \u03b5\u03c0\u03b9\u03c4\u03c1\u03ad\u03c0\u03bf\u03bd\u03c4\u03b1\u03c2 \u03c4\u03b7\u03bd \u03b1\u03c0\u03bf\u03c4\u03b5\u03bb\u03b5\u03c3\u03bc\u03b1\u03c4\u03b9\u03ba\u03ae \u03b1\u03c0\u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03ae \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1\u03c2 \u03c3\u03b5 \u03c4\u03c1\u03b9\u03c3\u03b4\u03b9\u03ac\u03c3\u03c4\u03b1\u03c4\u03b1 \u03bf\u03bb\u03bf\u03ba\u03bb\u03b7\u03c1\u03c9\u03bc\u03ad\u03bd\u03b1 \u03ba\u03c5\u03ba\u03bb\u03ce\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 \u03c5\u03c8\u03b7\u03bb\u03ae\u03c2 \u03b9\u03c3\u03c7\u03cd\u03bf\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b1\u03c1\u03c7\u03b9\u03c4\u03b5\u03ba\u03c4\u03bf\u03bd\u03b9\u03ba\u03ad\u03c2 \u03c3\u03c4\u03bf\u03b9\u03b2\u03b1\u03b3\u03bc\u03ad\u03bd\u03c9\u03bd \u03b4\u03b9\u03b1\u03c4\u03ac\u03be\u03b5\u03c9\u03bd.<\/p>\n<p>\u2022 <strong>\u0395\u03be\u03b1\u03b9\u03c1\u03b5\u03c4\u03b9\u03ba\u03ac \u03c7\u03b1\u03bc\u03b7\u03bb\u03ae \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ae \u03b1\u03c0\u03cc\u03b4\u03bf\u03c3\u03b7<\/strong>: \u03a4\u03b1 \u03ac\u03bc\u03bf\u03c1\u03c6\u03b1 \u03c5\u03bc\u03ad\u03bd\u03b9\u03b1 BN \u03b5\u03c0\u03b9\u03c4\u03c5\u03b3\u03c7\u03ac\u03bd\u03bf\u03c5\u03bd \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ad\u03c2 \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03ad\u03c2 \u03ad\u03c9\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 1,78, \u03c0\u03bb\u03b7\u03c3\u03b9\u03ac\u03b6\u03bf\u03bd\u03c4\u03b1\u03c2 \u03c4\u03b9\u03c2 \u03b9\u03b4\u03b9\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b5\u03c2 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b1\u03ad\u03c1\u03b1, \u03b4\u03b9\u03b1\u03c4\u03b7\u03c1\u03ce\u03bd\u03c4\u03b1\u03c2 \u03c0\u03b1\u03c1\u03ac\u03bb\u03bb\u03b7\u03bb\u03b1 \u03b1\u03bd\u03c4\u03bf\u03c7\u03ae \u03b4\u03b9\u03ac\u03c3\u03c0\u03b1\u03c3\u03b7\u03c2 7,3 MV\/cm \u03b3\u03b9\u03b1 \u03c0\u03c1\u03bf\u03b7\u03b3\u03bc\u03ad\u03bd\u03b5\u03c2 \u03b5\u03c6\u03b1\u03c1\u03bc\u03bf\u03b3\u03ad\u03c2 \u03b4\u03b9\u03b1\u03c3\u03cd\u03bd\u03b4\u03b5\u03c3\u03b7\u03c2.<\/p>\n<p>\u2022 <strong>\u0392\u03b5\u03bb\u03c4\u03b9\u03c9\u03bc\u03ad\u03bd\u03b7 \u03b1\u03c0\u03cc\u03b4\u03bf\u03c3\u03b7 \u03c5\u03bb\u03b9\u03ba\u03bf\u03cd 2D<\/strong>: \u03a4\u03b1 \u03c5\u03c0\u03bf\u03c3\u03c4\u03c1\u03ce\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 h-BN \u03b5\u03bd\u03b9\u03c3\u03c7\u03cd\u03bf\u03c5\u03bd \u03c4\u03b7\u03bd \u03ba\u03b9\u03bd\u03b7\u03c4\u03b9\u03ba\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 \u03c4\u03c9\u03bd \u03c6\u03bf\u03c1\u03ad\u03c9\u03bd \u03b3\u03c1\u03b1\u03c6\u03b5\u03bd\u03af\u03bf\u03c5 \u03b1\u03c0\u03cc 5.000-10.000 cm\u00b2\/V-s \u03c3\u03b5 20.000-60.000 cm\u00b2\/V-s, \u03c6\u03ad\u03c1\u03bd\u03bf\u03bd\u03c4\u03b1\u03c2 \u03b5\u03c0\u03b1\u03bd\u03ac\u03c3\u03c4\u03b1\u03c3\u03b7 \u03c3\u03c4\u03b9\u03c2 \u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03bf\u03bd\u03b9\u03ba\u03ad\u03c2 \u03c3\u03c5\u03c3\u03ba\u03b5\u03c5\u03ad\u03c2 \u03b5\u03c0\u03cc\u03bc\u03b5\u03bd\u03b7\u03c2 \u03b3\u03b5\u03bd\u03b9\u03ac\u03c2.<\/p>\n<p>\u2022 <strong>\u039a\u03bb\u03b9\u03bc\u03b1\u03ba\u03bf\u03cd\u03bc\u03b5\u03bd\u03b5\u03c2 \u03bc\u03ad\u03b8\u03bf\u03b4\u03bf\u03b9 \u03c3\u03cd\u03bd\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7\u03c2<\/strong>: \u039f\u03b9 \u03c4\u03b5\u03c7\u03bd\u03b9\u03ba\u03ad\u03c2 CVD, ALD \u03ba\u03b1\u03b9 MOCVD \u03b5\u03c0\u03b9\u03c4\u03c1\u03ad\u03c0\u03bf\u03c5\u03bd \u03c4\u03b7\u03bd \u03c0\u03b1\u03c1\u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03ae \u03c3\u03b5 \u03ba\u03bb\u03af\u03bc\u03b1\u03ba\u03b1 \u03c0\u03bb\u03b1\u03ba\u03b9\u03b4\u03af\u03bf\u03c5 \u03bc\u03b5 \u03ad\u03bb\u03b5\u03b3\u03c7\u03bf \u03c4\u03bf\u03c5 \u03c0\u03ac\u03c7\u03bf\u03c5\u03c2 \u03c3\u03b5 \u03b1\u03c4\u03bf\u03bc\u03b9\u03ba\u03cc \u03b5\u03c0\u03af\u03c0\u03b5\u03b4\u03bf, \u03ba\u03b1\u03b8\u03b9\u03c3\u03c4\u03ce\u03bd\u03c4\u03b1\u03c2 \u03c4\u03b7\u03bd \u03b5\u03bc\u03c0\u03bf\u03c1\u03b9\u03ba\u03ae \u03b5\u03bd\u03c3\u03c9\u03bc\u03ac\u03c4\u03c9\u03c3\u03b7 \u03b5\u03c6\u03b9\u03ba\u03c4\u03ae \u03b3\u03b9\u03b1 \u03c4\u03b7\u03bd \u03ba\u03b1\u03c4\u03b1\u03c3\u03ba\u03b5\u03c5\u03ae \u03b7\u03bc\u03b9\u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03ce\u03bd.<\/p>\n<p>\u2022 <strong>\u0391\u03bd\u03ce\u03c4\u03b5\u03c1\u03b7 \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ae \u03b1\u03be\u03b9\u03bf\u03c0\u03b9\u03c3\u03c4\u03af\u03b1<\/strong>: \u03a4\u03bf h-BN \u03b5\u03c0\u03b9\u03b4\u03b5\u03b9\u03ba\u03bd\u03cd\u03b5\u03b9 \u03c0\u03b5\u03b4\u03af\u03b1 \u03b4\u03b9\u03ac\u03c3\u03c0\u03b1\u03c3\u03b7\u03c2 \u03c0\u03bf\u03c5 \u03c5\u03c0\u03b5\u03c1\u03b2\u03b1\u03af\u03bd\u03bf\u03c5\u03bd \u03c4\u03b1 15 MV\/cm \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c1\u03b5\u03cd\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 \u03b4\u03b9\u03b1\u03c1\u03c1\u03bf\u03ae\u03c2 \u03b1\u03c0\u03cc 10-\u2078 \u03ad\u03c9\u03c2 10-\u00b9\u2070 A\/cm\u00b2, \u03be\u03b5\u03c0\u03b5\u03c1\u03bd\u03ce\u03bd\u03c4\u03b1\u03c2 \u03c3\u03b7\u03bc\u03b1\u03bd\u03c4\u03b9\u03ba\u03ac \u03c4\u03b1 \u03c0\u03b1\u03c1\u03b1\u03b4\u03bf\u03c3\u03b9\u03b1\u03ba\u03ac \u03c5\u03bb\u03b9\u03ba\u03ac \u03cc\u03c0\u03c9\u03c2 \u03c4\u03bf \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03c4\u03bf\u03c5 \u03c0\u03c5\u03c1\u03b9\u03c4\u03af\u03bf\u03c5 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b7 \u03b1\u03bb\u03bf\u03c5\u03bc\u03af\u03bd\u03b1.<\/p>\n<p>\u0397 \u03c3\u03cd\u03b3\u03ba\u03bb\u03b9\u03c3\u03b7 \u03b5\u03be\u03b1\u03b9\u03c1\u03b5\u03c4\u03b9\u03ba\u03ce\u03bd \u03b9\u03b4\u03b9\u03bf\u03c4\u03ae\u03c4\u03c9\u03bd \u03ba\u03b1\u03b9 \u03ce\u03c1\u03b9\u03bc\u03c9\u03bd \u03c4\u03b5\u03c7\u03bd\u03b9\u03ba\u03ce\u03bd \u03c3\u03cd\u03bd\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7\u03c2 \u03c4\u03bf\u03c0\u03bf\u03b8\u03b5\u03c4\u03b5\u03af \u03c4\u03bf \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03cc \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03c9\u03c2 \u03ad\u03bd\u03b1 \u03c5\u03bb\u03b9\u03ba\u03cc \u03b1\u03ba\u03c1\u03bf\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03b1\u03af\u03bf \u03bb\u03af\u03b8\u03bf \u03c0\u03bf\u03c5 \u03b8\u03b1 \u03bf\u03b4\u03b7\u03b3\u03ae\u03c3\u03b5\u03b9 \u03c4\u03bf \u03b5\u03c0\u03cc\u03bc\u03b5\u03bd\u03bf \u03ba\u03cd\u03bc\u03b1 \u03ba\u03b1\u03b9\u03bd\u03bf\u03c4\u03bf\u03bc\u03af\u03b1\u03c2 \u03c3\u03c4\u03bf\u03c5\u03c2 \u03b7\u03bc\u03b9\u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03bf\u03cd\u03c2, \u03b9\u03b4\u03b9\u03b1\u03af\u03c4\u03b5\u03c1\u03b1 \u03c3\u03c4\u03b7 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03b4\u03b9\u03b1\u03c7\u03b5\u03af\u03c1\u03b9\u03c3\u03b7 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c3\u03b5 \u03b5\u03c6\u03b1\u03c1\u03bc\u03bf\u03b3\u03ad\u03c2 \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ce\u03bd \u03bc\u03b5 \u03b5\u03be\u03b1\u03b9\u03c1\u03b5\u03c4\u03b9\u03ba\u03ac \u03c7\u03b1\u03bc\u03b7\u03bb\u03cc \u03ba.<\/p>\n<p>\u03a4\u03bf \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03cc \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03be\u03b5\u03c7\u03c9\u03c1\u03af\u03b6\u03b5\u03b9 \u03c9\u03c2 \u03ad\u03bd\u03b1 \u03ba\u03c1\u03af\u03c3\u03b9\u03bc\u03bf \u03c5\u03bb\u03b9\u03ba\u03cc \u03b3\u03b9\u03b1 \u03c4\u03b7\u03bd \u03c0\u03c1\u03cc\u03bf\u03b4\u03bf \u03c4\u03b7\u03c2 \u03bc\u03b9\u03ba\u03c1\u03bf\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03bf\u03bd\u03b9\u03ba\u03ae\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c4\u03b7\u03c2 \u03c4\u03b5\u03c7\u03bd\u03bf\u03bb\u03bf\u03b3\u03af\u03b1\u03c2 \u03b7\u03bc\u03b9\u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03ce\u03bd. \u0391\u03c5\u03c4\u03ae \u03b7 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ac \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c7\u03b7\u03bc\u03b9\u03ba\u03ac \u03b1\u03bd\u03b8\u03b5\u03ba\u03c4\u03b9\u03ba\u03ae \u03c0\u03c5\u03c1\u03af\u03bc\u03b1\u03c7\u03b7 \u03ad\u03bd\u03c9\u03c3\u03b7 \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b1\u03b6\u03ce\u03c4\u03bf\u03c5 \u03ad\u03c7\u03b5\u03b9 \u03b4\u03bf\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03bf\u03bc\u03bf\u03b9\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 \u03bc\u03b5 \u03c4\u03bf\u03bd \u03b3\u03c1\u03b1\u03c6\u03af\u03c4\u03b7. \u03a9\u03c3\u03c4\u03cc\u03c3\u03bf, \u03c0\u03c1\u03bf\u03c3\u03c6\u03ad\u03c1\u03b5\u03b9 \u03b1\u03bd\u03ce\u03c4\u03b5\u03c1\u03b7 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c7\u03b7\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 \u03c0\u03bf\u03c5 \u03c4\u03b1 \u03c0\u03b1\u03c1\u03b1\u03b4\u03bf\u03c3\u03b9\u03b1\u03ba\u03ac \u03c5\u03bb\u03b9\u03ba\u03ac \u03b4\u03b5\u03bd \u03bc\u03c0\u03bf\u03c1\u03bf\u03cd\u03bd \u03bd\u03b1 \u03c6\u03c4\u03ac\u03c3\u03bf\u03c5\u03bd. \u03a4\u03bf \u03ba\u03b5\u03c1\u03b1\u03bc\u03b9\u03ba\u03cc \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03c5\u03c0\u03ac\u03c1\u03c7\u03b5\u03b9 \u03c3\u03b5 \u03c0\u03bf\u03bb\u03bb\u03b1\u03c0\u03bb\u03ad\u03c2 \u03b4\u03bf\u03bc\u03b9\u03ba\u03ad\u03c2 \u03bc\u03bf\u03c1\u03c6\u03ad\u03c2, \u03bc\u03b5 \u03c4\u03b7\u03bd \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03ae \u03c0\u03b1\u03c1\u03b1\u03bb\u03bb\u03b1\u03b3\u03ae (h-BN) \u03bd\u03b1 \u03b5\u03af\u03bd\u03b1\u03b9 \u03b7 \u03c0\u03b9\u03bf \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03ae \u03bc\u03b5\u03c4\u03b1\u03be\u03cd \u03c4\u03c9\u03bd \u03c0\u03bf\u03bb\u03c5\u03bc\u03bf\u03c1\u03c6\u03ce\u03bd \u03c4\u03bf\u03c5. \u0391\u03c5\u03c4\u03cc \u03c0\u03bf\u03c5 \u03ba\u03b1\u03b8\u03b9\u03c3\u03c4\u03ac \u03c4\u03bf h-BN \u03c0\u03bf\u03bb\u03cd\u03c4\u03b9\u03bc\u03bf \u03b3\u03b9\u03b1 \u03c4\u03b1 \u03c3\u03cd\u03b3\u03c7\u03c1\u03bf\u03bd\u03b1 \u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03bf\u03bd\u03b9\u03ba\u03ac \u03c3\u03c5\u03c3\u03c4\u03ae\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 \u03b5\u03af\u03bd\u03b1\u03b9 \u03bf \u03bc\u03bf\u03bd\u03b1\u03b4\u03b9\u03ba\u03cc\u03c2 \u03c3\u03c5\u03bd\u03b4\u03c5\u03b1\u03c3\u03bc\u03cc\u03c2 \u03b9\u03b4\u03b9\u03bf\u03c4\u03ae\u03c4\u03c9\u03bd \u03c4\u03bf\u03c5: \u03c5\u03c8\u03b7\u03bb\u03ae \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03b9\u03bc\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1, \u03b9\u03c3\u03c7\u03c5\u03c1\u03ae \u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ae \u03bc\u03cc\u03bd\u03c9\u03c3\u03b7, \u03b1\u03bd\u03c4\u03bf\u03c7\u03ae \u03c3\u03c4\u03b7 \u03c6\u03b8\u03bf\u03c1\u03ac \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c3\u03c4\u03b1 \u03c7\u03b7\u03bc\u03b9\u03ba\u03ac \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b5\u03be\u03b1\u03b9\u03c1\u03b5\u03c4\u03b9\u03ba\u03ae \u03b1\u03c0\u03cc\u03b4\u03bf\u03c3\u03b7 \u03c3\u03b5 \u03c5\u03c8\u03b7\u03bb\u03ad\u03c2 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b5\u03c2. \u03a3\u03b5 \u03b1\u03c5\u03c4\u03cc \u03c4\u03bf \u03ba\u03bf\u03bc\u03bc\u03ac\u03c4\u03b9 \u03b8\u03b1 \u03b5\u03be\u03b5\u03c1\u03b5\u03c5\u03bd\u03ae\u03c3\u03bf\u03c5\u03bc\u03b5 \u03c4\u03b9\u03c2 \u03b8\u03b5\u03bc\u03b5\u03bb\u03b9\u03ce\u03b4\u03b5\u03b9\u03c2 \u03b9\u03b4\u03b9\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b5\u03c2 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03bf\u03cd \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03b9\u03b4\u03af\u03bf\u03c5 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b8\u03b1 \u03c0\u03b5\u03c1\u03ac\u03c3\u03bf\u03c5\u03bc\u03b5 \u03c3\u03c4\u03b9\u03c2 \u03c4\u03b5\u03c7\u03bd\u03b9\u03ba\u03ad\u03c2 \u03c3\u03cd\u03bd\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b5\u03bd\u03b1\u03c0\u03cc\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7\u03c2. \u0398\u03b1 \u03c3\u03c5\u03b6\u03b7\u03c4\u03ae\u03c3\u03bf\u03c5\u03bc\u03b5 \u03b5\u03c0\u03af\u03c3\u03b7\u03c2 \u03c4\u03b9\u03c2 \u03b4\u03b9\u03b5\u03c5\u03c1\u03c5\u03bd\u03cc\u03bc\u03b5\u03bd\u03b5\u03c2 \u03b5\u03c6\u03b1\u03c1\u03bc\u03bf\u03b3\u03ad\u03c2 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03c3\u03c4\u03b7 \u03bc\u03b9\u03ba\u03c1\u03bf\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03bf\u03bd\u03b9\u03ba\u03ae \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c3\u03c4\u03b9\u03c2 \u03b4\u03b9\u03b1\u03c4\u03ac\u03be\u03b5\u03b9\u03c2 \u03b7\u03bc\u03b9\u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03ce\u03bd.<\/p>\n<h2>\u0394\u03bf\u03bc\u03b9\u03ba\u03ad\u03c2 \u03bc\u03bf\u03c1\u03c6\u03ad\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b8\u03b5\u03bc\u03b5\u03bb\u03b9\u03ce\u03b4\u03b5\u03b9\u03c2 \u03b9\u03b4\u03b9\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b5\u03c2<\/h2>\n<h3>\u039a\u03c1\u03c5\u03c3\u03c4\u03b1\u03bb\u03bb\u03b9\u03ba\u03ae \u03b4\u03bf\u03bc\u03ae \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03bf\u03cd BN (h-BN)<\/h3>\n<p>\u03a4\u03bf \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03ba\u03c1\u03c5\u03c3\u03c4\u03b1\u03bb\u03bb\u03ce\u03bd\u03b5\u03c4\u03b1\u03b9 \u03c3\u03b5 \u03c0\u03bf\u03bb\u03c5\u03b5\u03c0\u03af\u03c0\u03b5\u03b4\u03b7 \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03ae \u03b4\u03bf\u03bc\u03ae \u03c0\u03bf\u03c5 \u03b1\u03bd\u03ae\u03ba\u03b5\u03b9 \u03c3\u03c4\u03b7\u03bd \u03bf\u03bc\u03ac\u03b4\u03b1 \u03c7\u03ce\u03c1\u03bf\u03c5 P6\u2083\/mmc. \u039a\u03ac\u03b8\u03b5 \u03c3\u03c4\u03c1\u03ce\u03bc\u03b1 \u03c0\u03b5\u03c1\u03b9\u03ad\u03c7\u03b5\u03b9 \u03ac\u03c4\u03bf\u03bc\u03b1 \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b1\u03b6\u03ce\u03c4\u03bf\u03c5 \u03c4\u03b1 \u03bf\u03c0\u03bf\u03af\u03b1 \u03c3\u03c5\u03bd\u03b4\u03ad\u03bf\u03bd\u03c4\u03b1\u03b9 \u03bf\u03bc\u03bf\u03b9\u03bf\u03c0\u03bf\u03bb\u03b9\u03ba\u03ac \u03bc\u03b5 \u03c5\u03b2\u03c1\u03b9\u03b4\u03b9\u03c3\u03bc\u03cc sp\u00b2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c3\u03c7\u03b7\u03bc\u03b1\u03c4\u03af\u03b6\u03bf\u03c5\u03bd \u03ad\u03bd\u03b1 \u03ba\u03c5\u03c8\u03b5\u03bb\u03bf\u03b5\u03b9\u03b4\u03ad\u03c2 \u03c0\u03bb\u03ad\u03b3\u03bc\u03b1 \u03cc\u03c0\u03bf\u03c5 \u03ba\u03ac\u03b8\u03b5 \u03ac\u03c4\u03bf\u03bc\u03bf \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03c3\u03c5\u03bd\u03b4\u03ad\u03b5\u03c4\u03b1\u03b9 \u03bc\u03b5 \u03c4\u03c1\u03af\u03b1 \u03ac\u03c4\u03bf\u03bc\u03b1 \u03b1\u03b6\u03ce\u03c4\u03bf\u03c5 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b1\u03bd\u03c4\u03af\u03c3\u03c4\u03c1\u03bf\u03c6\u03b1. \u039f\u03b9 \u03c0\u03b1\u03c1\u03ac\u03bc\u03b5\u03c4\u03c1\u03bf\u03b9 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03c0\u03bb\u03ad\u03b3\u03bc\u03b1\u03c4\u03bf\u03c2 \u03b5\u03af\u03bd\u03b1\u03b9 a = 2,504 \u00c5 \u03ba\u03b1\u03b9 c = 6,656 \u00c5, \u03bc\u03b5 \u03b1\u03c0\u03cc\u03c3\u03c4\u03b1\u03c3\u03b7 \u03bc\u03b5\u03c4\u03b1\u03be\u03cd \u03c4\u03c9\u03bd \u03c3\u03c4\u03c1\u03c9\u03bc\u03ac\u03c4\u03c9\u03bd 0,333 nm. \u0391\u03c3\u03b8\u03b5\u03bd\u03b5\u03af\u03c2 \u03b4\u03c5\u03bd\u03ac\u03bc\u03b5\u03b9\u03c2 van der Waals \u03c3\u03c5\u03b3\u03ba\u03c1\u03b1\u03c4\u03bf\u03cd\u03bd \u03b1\u03c5\u03c4\u03ac \u03c4\u03b1 \u03c3\u03c4\u03c1\u03ce\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 \u03bc\u03b5\u03c4\u03b1\u03be\u03cd \u03c4\u03bf\u03c5\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b4\u03b7\u03bc\u03b9\u03bf\u03c5\u03c1\u03b3\u03bf\u03cd\u03bd \u03c4\u03b7 \u03c7\u03b1\u03c1\u03b1\u03ba\u03c4\u03b7\u03c1\u03b9\u03c3\u03c4\u03b9\u03ba\u03ae \u03b1\u03bd\u03b9\u03c3\u03bf\u03c4\u03c1\u03bf\u03c0\u03b9\u03ba\u03ae \u03c3\u03c5\u03bc\u03c0\u03b5\u03c1\u03b9\u03c6\u03bf\u03c1\u03ac \u03c0\u03bf\u03c5 \u03ba\u03b1\u03b8\u03bf\u03c1\u03af\u03b6\u03b5\u03b9 \u03c0\u03bf\u03bb\u03bb\u03ad\u03c2 \u03b1\u03c0\u03cc \u03c4\u03b9\u03c2 \u03b9\u03b4\u03b9\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b5\u03c2 \u03c4\u03bf\u03c5 h-BN. \u0397 \u03b4\u03b9\u03b1\u03c6\u03bf\u03c1\u03ac \u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b1\u03c1\u03bd\u03b7\u03c4\u03b9\u03ba\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1\u03c2 \u03bc\u03b5\u03c4\u03b1\u03be\u03cd \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 (2,04) \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b1\u03b6\u03ce\u03c4\u03bf\u03c5 (3,04) \u03c0\u03b1\u03c1\u03ac\u03b3\u03b5\u03b9 \u03c0\u03bf\u03bb\u03b9\u03ba\u03cc \u03bf\u03bc\u03bf\u03b9\u03bf\u03c0\u03bf\u03bb\u03b9\u03ba\u03cc \u03b4\u03b5\u03c3\u03bc\u03cc \u03c0\u03bf\u03c5 \u03b4\u03b7\u03bc\u03b9\u03bf\u03c5\u03c1\u03b3\u03b5\u03af \u03bc\u03b5\u03c1\u03b9\u03ba\u03cc \u03b9\u03bf\u03bd\u03c4\u03b9\u03ba\u03cc \u03c7\u03b1\u03c1\u03b1\u03ba\u03c4\u03ae\u03c1\u03b1. \u0391\u03c5\u03c4\u03cc \u03b5\u03bd\u03b9\u03c3\u03c7\u03cd\u03b5\u03b9 \u03c4\u03b7 \u03b4\u03bf\u03bc\u03ae \u03c3\u03c4\u03bf \u03b5\u03c0\u03af\u03c0\u03b5\u03b4\u03bf.<\/p>\n<h3>\u03a0\u03b1\u03c1\u03b1\u03bb\u03bb\u03b1\u03b3\u03ad\u03c2 \u03ba\u03c5\u03b2\u03b9\u03ba\u03bf\u03cd BN (c-BN) \u03ba\u03b1\u03b9 \u03ac\u03bc\u03bf\u03c1\u03c6\u03bf\u03c5 BN (a-BN)<\/h3>\n<p>\u03a4\u03bf \u03ba\u03c5\u03b2\u03b9\u03ba\u03cc \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03c5\u03b9\u03bf\u03b8\u03b5\u03c4\u03b5\u03af \u03bc\u03b9\u03b1 \u03b4\u03bf\u03bc\u03ae \u03c3\u03c6\u03b1\u03bb\u03b5\u03c1\u03af\u03c4\u03b7 \u03bc\u03b5 \u03c4\u03b5\u03c4\u03c1\u03b1\u03b5\u03b4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ac \u03c3\u03c5\u03bd\u03b4\u03b5\u03b4\u03b5\u03bc\u03ad\u03bd\u03b1 \u03ac\u03c4\u03bf\u03bc\u03b1 \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b1\u03b6\u03ce\u03c4\u03bf\u03c5 \u03c3\u03b5 \u03c5\u03b2\u03c1\u03b9\u03b4\u03b9\u03c3\u03bc\u03cc sp\u00b3. \u03a4\u03bf c-BN, \u03c0\u03bf\u03c5 \u03c3\u03c5\u03bd\u03c4\u03ad\u03b8\u03b7\u03ba\u03b5 \u03b3\u03b9\u03b1 \u03c0\u03c1\u03ce\u03c4\u03b7 \u03c6\u03bf\u03c1\u03ac \u03c4\u03bf 1957 \u03c5\u03c0\u03cc \u03c3\u03c5\u03bd\u03b8\u03ae\u03ba\u03b5\u03c2 \u03c5\u03c8\u03b7\u03bb\u03ae\u03c2 \u03c0\u03af\u03b5\u03c3\u03b7\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b1\u03c2, \u03c0\u03b1\u03c1\u03bf\u03c5\u03c3\u03b9\u03ac\u03b6\u03b5\u03b9 \u03c3\u03ba\u03bb\u03b7\u03c1\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 4.500 kp\/mm\u00b2 \u03c3\u03b5 \u03c3\u03cd\u03b3\u03ba\u03c1\u03b9\u03c3\u03b7 \u03bc\u03b5 \u03c4\u03bf \u03b4\u03b9\u03b1\u03bc\u03ac\u03bd\u03c4\u03b9 \u03c0\u03bf\u03c5 \u03ad\u03c7\u03b5\u03b9 \u03c3\u03ba\u03bb\u03b7\u03c1\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 8.000 kp\/mm\u00b2. \u03a4\u03bf \u03c5\u03bb\u03b9\u03ba\u03cc \u03b4\u03b9\u03b1\u03b8\u03ad\u03c4\u03b5\u03b9 \u03ad\u03bc\u03bc\u03b5\u03c3\u03bf \u03c7\u03ac\u03c3\u03bc\u03b1 \u03b6\u03ce\u03bd\u03b7\u03c2 \u03c0\u03bf\u03c5 \u03ba\u03c5\u03bc\u03b1\u03af\u03bd\u03b5\u03c4\u03b1\u03b9 \u03b1\u03c0\u03cc 5,4 \u03ad\u03c9\u03c2 7,0 eV, \u03bc\u03b5 \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03ac \u03c0\u03bb\u03ad\u03b3\u03bc\u03b1\u03c4\u03bf\u03c2 3,615 \u00c5. \u03a4\u03bf c-BN \u03b4\u03b9\u03b1\u03c4\u03b7\u03c1\u03b5\u03af \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 \u03bc\u03ad\u03c7\u03c1\u03b9 \u03c4\u03bf\u03c5\u03c2 1.000\u00b0C, \u03cc\u03c0\u03bf\u03c5 \u03b1\u03c1\u03c7\u03af\u03b6\u03b5\u03b9 \u03b7 \u03bf\u03be\u03b5\u03af\u03b4\u03c9\u03c3\u03b7. \u0391\u03c5\u03c4\u03cc \u03c5\u03c0\u03b5\u03c1\u03b2\u03b1\u03af\u03bd\u03b5\u03b9 \u03c4\u03bf \u03cc\u03c1\u03b9\u03bf \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1\u03c2 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b4\u03b9\u03b1\u03bc\u03b1\u03bd\u03c4\u03b9\u03bf\u03cd \u03c3\u03c4\u03bf\u03c5\u03c2 800\u00b0C.<\/p>\n<p>\u03a4\u03bf \u03ac\u03bc\u03bf\u03c1\u03c6\u03bf BN \u03c0\u03c1\u03bf\u03c3\u03c6\u03ad\u03c1\u03b5\u03b9 \u03c0\u03bb\u03b5\u03bf\u03bd\u03b5\u03ba\u03c4\u03ae\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 \u03b5\u03c0\u03b5\u03be\u03b5\u03c1\u03b3\u03b1\u03c3\u03af\u03b1\u03c2 \u03bc\u03ad\u03c3\u03c9 \u03c4\u03b7\u03c2 \u03c3\u03cd\u03bd\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7\u03c2 \u03c3\u03b5 \u03c7\u03b1\u03bc\u03b7\u03bb\u03ae \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b1. \u03a4\u03b1\u03b9\u03bd\u03af\u03b5\u03c2 \u03bb\u03b5\u03c0\u03c4\u03bf\u03cd \u03c0\u03ac\u03c7\u03bf\u03c5\u03c2 3 nm \u03c0\u03b1\u03c1\u03bf\u03c5\u03c3\u03b9\u03ac\u03b6\u03bf\u03c5\u03bd \u03c7\u03b1\u03bc\u03b7\u03bb\u03ae \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ae \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03ac 1,78 \u03c3\u03c4\u03b1 100 kHz. \u0397 \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ae \u03b1\u03c0\u03cc\u03ba\u03c1\u03b9\u03c3\u03b7 \u03bc\u03b5\u03c4\u03b1\u03b2\u03ac\u03bb\u03bb\u03b5\u03c4\u03b1\u03b9 \u03bc\u03b5 \u03c4\u03b7 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b1 \u03b5\u03bd\u03b1\u03c0\u03cc\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7\u03c2. \u0397 \u03b5\u03bd\u03b1\u03c0\u03cc\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7 \u03b1\u03c4\u03bf\u03bc\u03b9\u03ba\u03bf\u03cd \u03c3\u03c4\u03c1\u03ce\u03bc\u03b1\u03c4\u03bf\u03c2 \u03c3\u03c4\u03bf\u03c5\u03c2 65\u00b0C, 150\u00b0C \u03ba\u03b1\u03b9 250\u00b0C \u03b1\u03c0\u03bf\u03b4\u03af\u03b4\u03b5\u03b9 \u03c4\u03b9\u03bc\u03ad\u03c2 \u03ba 8,6, 4,6 \u03ba\u03b1\u03b9 4,3 \u03b1\u03bd\u03c4\u03af\u03c3\u03c4\u03bf\u03b9\u03c7\u03b1.<\/p>\n<h3>\u03a7\u03b1\u03c1\u03b1\u03ba\u03c4\u03b7\u03c1\u03b9\u03c3\u03c4\u03b9\u03ba\u03ac \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae\u03c2 \u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03b9\u03bc\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b4\u03b9\u03ac\u03c7\u03c5\u03c3\u03b7\u03c2 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1\u03c2<\/h3>\n<p>\u03a4\u03bf \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03cc BN \u03c0\u03b1\u03c1\u03bf\u03c5\u03c3\u03b9\u03ac\u03b6\u03b5\u03b9 \u03b1\u03bd\u03b9\u03c3\u03bf\u03c4\u03c1\u03bf\u03c0\u03b9\u03ba\u03ae \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03bc\u03b5\u03c4\u03b1\u03c6\u03bf\u03c1\u03ac \u03c0\u03bf\u03c5 \u03b5\u03af\u03bd\u03b1\u03b9 \u03b1\u03c1\u03ba\u03b5\u03c4\u03ac \u03ad\u03bd\u03c4\u03bf\u03bd\u03b7. \u039f\u03b9 \u03bc\u03bf\u03bd\u03bf\u03ca\u03c3\u03bf\u03c4\u03bf\u03c0\u03b9\u03ba\u03bf\u03af \u03ba\u03c1\u03cd\u03c3\u03c4\u03b1\u03bb\u03bb\u03bf\u03b9 h-BN \u00b9\u2070B \u03b5\u03c0\u03b9\u03c4\u03c5\u03b3\u03c7\u03ac\u03bd\u03bf\u03c5\u03bd \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03b9\u03bc\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 \u03c3\u03c4\u03bf \u03b5\u03c0\u03af\u03c0\u03b5\u03b4\u03bf 585 W m-\u00b9 K-\u00b9 \u03c3\u03b5 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b1 \u03b4\u03c9\u03bc\u03b1\u03c4\u03af\u03bf\u03c5, \u03c0\u03b5\u03c1\u03af\u03c0\u03bf\u03c5 80% \u03c5\u03c8\u03b7\u03bb\u03cc\u03c4\u03b5\u03c1\u03b7 \u03b1\u03c0\u03cc \u03c4\u03bf \u03c6\u03c5\u03c3\u03b9\u03ba\u03cc h-BN. \u03a4\u03bf \u03bc\u03bf\u03bd\u03bf\u03c3\u03c4\u03c1\u03c9\u03bc\u03b1\u03c4\u03b9\u03ba\u03cc BN \u03c6\u03c4\u03ac\u03bd\u03b5\u03b9 \u03c4\u03b1 751 W\/mK \u03ba\u03b1\u03b9 \u03ba\u03b1\u03c4\u03b1\u03c4\u03ac\u03c3\u03c3\u03b5\u03c4\u03b1\u03b9 \u03c9\u03c2 \u03b7 \u03b4\u03b5\u03cd\u03c4\u03b5\u03c1\u03b7 \u03c5\u03c8\u03b7\u03bb\u03cc\u03c4\u03b5\u03c1\u03b7 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03b9\u03bc\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 \u03b1\u03bd\u03ac \u03bc\u03bf\u03bd\u03ac\u03b4\u03b1 \u03b2\u03ac\u03c1\u03bf\u03c5\u03c2 \u03bc\u03b5\u03c4\u03b1\u03be\u03cd \u03c4\u03c9\u03bd \u03b7\u03bc\u03b9\u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03ce\u03bd \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c4\u03c9\u03bd \u03bc\u03bf\u03bd\u03c9\u03c4\u03ce\u03bd. \u0397 \u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03b9\u03bc\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 \u03b5\u03ba\u03c4\u03cc\u03c2 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c0\u03ad\u03b4\u03bf\u03c5 \u03c0\u03b1\u03c1\u03b1\u03bc\u03ad\u03bd\u03b5\u03b9 \u03c0\u03bf\u03bb\u03cd \u03c7\u03b1\u03bc\u03b7\u03bb\u03cc\u03c4\u03b5\u03c1\u03b7 \u03c3\u03c4\u03b1 3,5 \u00b1 0,8 W m-\u00b9 K-\u00b9 \u03b3\u03b9\u03b1 \u03c4\u03b1 \u03bc\u03bf\u03bd\u03bf\u03ca\u03c3\u03bf\u03c4\u03bf\u03c0\u03b9\u03ba\u03ac \u03b4\u03b5\u03af\u03b3\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 \u00b9\u2070B. \u039f\u03b9 \u03bc\u03b5\u03c4\u03c1\u03ae\u03c3\u03b5\u03b9\u03c2 \u03c3\u03b5 \u03b5\u03b3\u03ba\u03ac\u03c1\u03c3\u03b9\u03bf \u03b5\u03c0\u03af\u03c0\u03b5\u03b4\u03bf \u03c4\u03c9\u03bd \u03b1\u03c0\u03bf\u03bb\u03b5\u03c0\u03b9\u03c3\u03bc\u03ad\u03bd\u03c9\u03bd \u03bd\u03b9\u03c6\u03ac\u03b4\u03c9\u03bd \u03b4\u03b5\u03af\u03c7\u03bd\u03bf\u03c5\u03bd \u03b9\u03c3\u03c7\u03c5\u03c1\u03ae \u03b5\u03be\u03ac\u03c1\u03c4\u03b7\u03c3\u03b7 \u03b1\u03c0\u03cc \u03c4\u03bf \u03c0\u03ac\u03c7\u03bf\u03c2. \u039f\u03b9 \u03c4\u03b9\u03bc\u03ad\u03c2 \u03bc\u03b5\u03b9\u03ce\u03bd\u03bf\u03bd\u03c4\u03b1\u03b9 \u03b1\u03c0\u03cc 8,1 \u00b1 0,5 W m-\u00b9 K-\u00b9 \u03c3\u03b5 \u03c0\u03ac\u03c7\u03bf\u03c2 585 nm \u03c3\u03b5 0,20 \u00b1 0,06 W m-\u00b9 K-\u00b9 \u03b3\u03b9\u03b1 \u03bd\u03b9\u03c6\u03ac\u03b4\u03b5\u03c2 7 nm.<\/p>\n<h3>\u0394\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ad\u03c2 \u03b9\u03b4\u03b9\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b5\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c3\u03c5\u03bc\u03c0\u03b5\u03c1\u03b9\u03c6\u03bf\u03c1\u03ac Bandgap<\/h3>\n<p>\u03a4\u03bf \u03bc\u03bf\u03bd\u03bf\u03c3\u03c4\u03c1\u03c9\u03bc\u03b1\u03c4\u03b9\u03ba\u03cc h-BN \u03b4\u03b9\u03b1\u03b8\u03ad\u03c4\u03b5\u03b9 \u03ac\u03bc\u03b5\u03c3\u03bf \u03c7\u03ac\u03c3\u03bc\u03b1 \u03b6\u03ce\u03bd\u03b7\u03c2 6,42 eV \u03c3\u03b5 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b1 \u03b4\u03c9\u03bc\u03b1\u03c4\u03af\u03bf\u03c5, \u03c4\u03bf \u03bf\u03c0\u03bf\u03af\u03bf \u03bc\u03b5\u03c4\u03b1\u03c0\u03af\u03c0\u03c4\u03b5\u03b9 \u03c3\u03b5 \u03ad\u03bc\u03bc\u03b5\u03c3\u03bf \u03c7\u03ac\u03c3\u03bc\u03b1 \u03c0\u03b5\u03c1\u03af\u03c0\u03bf\u03c5 5,95 eV \u03c3\u03b5 \u03c7\u03cd\u03b4\u03b7\u03bd \u03bc\u03bf\u03c1\u03c6\u03ae. \u0397 \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ae \u03b1\u03c0\u03cc\u03ba\u03c1\u03b9\u03c3\u03b7 \u03c0\u03b1\u03c1\u03bf\u03c5\u03c3\u03b9\u03ac\u03b6\u03b5\u03b9 \u03ba\u03b1\u03c4\u03b5\u03c5\u03b8\u03c5\u03bd\u03c4\u03b9\u03ba\u03ae \u03b5\u03be\u03ac\u03c1\u03c4\u03b7\u03c3\u03b7. \u0397 \u03b5\u03bd\u03c4\u03cc\u03c2 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c0\u03ad\u03b4\u03bf\u03c5 \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ae \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03ac \u03ba\u03c5\u03bc\u03b1\u03af\u03bd\u03b5\u03c4\u03b1\u03b9 \u03b1\u03c0\u03cc 6,82 \u03ad\u03c9\u03c2 6,93, \u03b5\u03bd\u03ce \u03bf\u03b9 \u03c4\u03b9\u03bc\u03ad\u03c2 \u03b5\u03ba\u03c4\u03cc\u03c2 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c0\u03ad\u03b4\u03bf\u03c5 \u03ba\u03c5\u03bc\u03b1\u03af\u03bd\u03bf\u03bd\u03c4\u03b1\u03b9 \u03b1\u03c0\u03cc 3,29 \u03ad\u03c9\u03c2 3,76. \u0397 \u03b5\u03bd\u03c4\u03cc\u03c2 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c0\u03ad\u03b4\u03bf\u03c5 \u03c3\u03c5\u03bd\u03b9\u03c3\u03c4\u03ce\u03c3\u03b1 \u03c0\u03b1\u03c1\u03b1\u03bc\u03ad\u03bd\u03b5\u03b9 \u03c3\u03c7\u03b5\u03c4\u03b9\u03ba\u03ac \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03ae \u03b3\u03b9\u03b1 \u03c3\u03c4\u03c1\u03ce\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 \u03b4\u03b9\u03b1\u03c6\u03bf\u03c1\u03b5\u03c4\u03b9\u03ba\u03bf\u03cd \u03c0\u03ac\u03c7\u03bf\u03c5\u03c2. \u0397 \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03ac \u03b5\u03ba\u03c4\u03cc\u03c2 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c0\u03ad\u03b4\u03bf\u03c5 \u03b1\u03c5\u03be\u03ac\u03bd\u03b5\u03c4\u03b1\u03b9 \u03c0\u03b5\u03c1\u03af\u03c0\u03bf\u03c5 15% \u03b1\u03c0\u03cc \u03c4\u03b7 \u03bc\u03bf\u03bd\u03bf\u03c3\u03c4\u03c1\u03c9\u03bc\u03b1\u03c4\u03b9\u03ba\u03ae \u03c3\u03c4\u03c1\u03ce\u03c3\u03b7 \u03c3\u03c4\u03bf\u03bd \u03cc\u03b3\u03ba\u03bf.<\/p>\n<h2>\u039c\u03ad\u03b8\u03bf\u03b4\u03bf\u03b9 \u03c3\u03cd\u03bd\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b5\u03bd\u03b1\u03c0\u03cc\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7\u03c2<\/h2>\n<p>\u0397 \u03c0\u03b1\u03c1\u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03ae \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03bf\u03cd \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03b9\u03b4\u03af\u03bf\u03c5 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03c5\u03c8\u03b7\u03bb\u03ae\u03c2 \u03c0\u03bf\u03b9\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1\u03c2 \u03b1\u03c0\u03b1\u03b9\u03c4\u03b5\u03af \u03b1\u03c0\u03bb\u03ce\u03c2 \u03b1\u03ba\u03c1\u03b9\u03b2\u03ae \u03ad\u03bb\u03b5\u03b3\u03c7\u03bf \u03c4\u03c9\u03bd \u03c0\u03b1\u03c1\u03b1\u03bc\u03ad\u03c4\u03c1\u03c9\u03bd \u03b5\u03bd\u03b1\u03c0\u03cc\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c4\u03b7\u03c2 \u03c7\u03b7\u03bc\u03b5\u03af\u03b1\u03c2 \u03c4\u03c9\u03bd \u03c0\u03c1\u03cc\u03b4\u03c1\u03bf\u03bc\u03c9\u03bd \u03bf\u03c5\u03c3\u03b9\u03ce\u03bd. \u0388\u03c7\u03bf\u03c5\u03bd \u03c0\u03c1\u03bf\u03ba\u03cd\u03c8\u03b5\u03b9 \u03c0\u03bf\u03bb\u03bb\u03b1\u03c0\u03bb\u03ad\u03c2 \u03b4\u03b9\u03b1\u03b4\u03c1\u03bf\u03bc\u03ad\u03c2 \u03c3\u03cd\u03bd\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7\u03c2, \u03ba\u03b1\u03b8\u03b5\u03bc\u03af\u03b1 \u03bc\u03b5 \u03b4\u03b9\u03b1\u03ba\u03c1\u03b9\u03c4\u03ac \u03c0\u03bb\u03b5\u03bf\u03bd\u03b5\u03ba\u03c4\u03ae\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 \u03b3\u03b9\u03b1 \u03c3\u03c5\u03b3\u03ba\u03b5\u03ba\u03c1\u03b9\u03bc\u03ad\u03bd\u03b5\u03c2 \u03b5\u03c6\u03b1\u03c1\u03bc\u03bf\u03b3\u03ad\u03c2.<\/p>\n<h3>\u03a4\u03b5\u03c7\u03bd\u03b9\u03ba\u03ad\u03c2 \u03c7\u03b7\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae\u03c2 \u03b5\u03bd\u03b1\u03c0\u03cc\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7\u03c2 \u03b1\u03c4\u03bc\u03ce\u03bd (CVD)<\/h3>\n<p>\u0397 CVD \u03c0\u03b1\u03c1\u03b1\u03bc\u03ad\u03bd\u03b5\u03b9 \u03b7 \u03ba\u03c5\u03c1\u03af\u03b1\u03c1\u03c7\u03b7 \u03bc\u03ad\u03b8\u03bf\u03b4\u03bf\u03c2 \u03b3\u03b9\u03b1 \u03c4\u03b7 \u03c3\u03cd\u03bd\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7 h-BN \u03bc\u03b5\u03b3\u03ac\u03bb\u03b7\u03c2 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c6\u03ac\u03bd\u03b5\u03b9\u03b1\u03c2. \u0397 \u03b4\u03b9\u03b1\u03b4\u03b9\u03ba\u03b1\u03c3\u03af\u03b1 \u03c7\u03c1\u03b7\u03c3\u03b9\u03bc\u03bf\u03c0\u03bf\u03b9\u03b5\u03af \u03b2\u03bf\u03c1\u03b1\u03b6\u03af\u03bd\u03b7 (B\u2083N\u2083H\u2086) \u03ae \u03b1\u03bc\u03bc\u03c9\u03bd\u03b9\u03bf\u03b2\u03bf\u03c1\u03ac\u03bd\u03b9\u03bf (NH\u2083BH\u2083) \u03c9\u03c2 \u03c0\u03c1\u03cc\u03b4\u03c1\u03bf\u03bc\u03b5\u03c2 \u03bf\u03c5\u03c3\u03af\u03b5\u03c2 \u03bc\u03af\u03b1\u03c2 \u03c0\u03b7\u03b3\u03ae\u03c2 \u03c3\u03b5 \u03ba\u03b1\u03c4\u03b1\u03bb\u03c5\u03c4\u03b9\u03ba\u03ac \u03bc\u03b5\u03c4\u03b1\u03bb\u03bb\u03b9\u03ba\u03ac \u03c5\u03c0\u03bf\u03c3\u03c4\u03c1\u03ce\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 \u03c0\u03bf\u03c5 \u03c0\u03b5\u03c1\u03b9\u03bb\u03b1\u03bc\u03b2\u03ac\u03bd\u03bf\u03c5\u03bd Cu \u03ba\u03b1\u03b9 Ni. \u0397 CVD \u03c7\u03b1\u03bc\u03b7\u03bb\u03ae\u03c2 \u03c0\u03af\u03b5\u03c3\u03b7\u03c2 \u03c3\u03b5 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b5\u03c2 \u03ba\u03bf\u03bd\u03c4\u03ac \u03c3\u03c4\u03bf\u03c5\u03c2 1.000\u00b0C \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c0\u03b9\u03ad\u03c3\u03b5\u03b9\u03c2 \u03ba\u03ac\u03c4\u03c9 \u03b1\u03c0\u03cc 250 Torr \u03ba\u03b1\u03b8\u03b9\u03c3\u03c4\u03ac \u03b4\u03c5\u03bd\u03b1\u03c4\u03ae \u03c4\u03b7\u03bd \u03b5\u03bb\u03b5\u03b3\u03c7\u03cc\u03bc\u03b5\u03bd\u03b7 \u03b1\u03bd\u03ac\u03c0\u03c4\u03c5\u03be\u03b7 \u03c3\u03c4\u03c1\u03ce\u03bc\u03b1\u03c4\u03bf\u03c2. \u03a4\u03b1 \u03c5\u03c0\u03bf\u03c3\u03c4\u03c1\u03ce\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 Cu \u03c0\u03b1\u03c1\u03bf\u03c5\u03c3\u03b9\u03ac\u03b6\u03bf\u03c5\u03bd \u03c0\u03ac\u03c7\u03bf\u03c2 \u03c0\u03bf\u03c5 \u03b1\u03c5\u03be\u03ac\u03bd\u03b5\u03c4\u03b1\u03b9 \u03b3\u03c1\u03b1\u03bc\u03bc\u03b9\u03ba\u03ac \u03bc\u03b5 \u03c4\u03bf \u03c7\u03c1\u03cc\u03bd\u03bf \u03b1\u03bd\u03ac\u03c0\u03c4\u03c5\u03be\u03b7\u03c2 \u03cc\u03c4\u03b1\u03bd \u03b7 \u03bc\u03b5\u03c1\u03b9\u03ba\u03ae \u03c0\u03af\u03b5\u03c3\u03b7 \u03c4\u03b7\u03c2 \u03b2\u03bf\u03c1\u03b1\u03b6\u03af\u03bd\u03b7\u03c2 \u03c5\u03c0\u03b5\u03c1\u03b2\u03b1\u03af\u03bd\u03b5\u03b9 \u03c4\u03b1 17 mTorr. \u0397 \u03b1\u03bd\u03ac\u03c0\u03c4\u03c5\u03be\u03b7 \u03bc\u03b5 LPCVD \u03c3\u03b5 \u03c5\u03c0\u03bf\u03c3\u03c4\u03c1\u03ce\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 Si\u2083N\u2084\/Si \u03c0\u03b1\u03c1\u03ac\u03b3\u03b5\u03b9 \u03c3\u03c5\u03bd\u03b5\u03c7\u03ae \u03c5\u03bc\u03ad\u03bd\u03b9\u03b1 h-BN \u03bc\u03b5 3,4 \u03c6\u03bf\u03c1\u03ad\u03c2 \u03bc\u03b5\u03b9\u03c9\u03bc\u03ad\u03bd\u03b7 \u03c4\u03c1\u03b1\u03c7\u03cd\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 \u03c3\u03b5 \u03c3\u03cd\u03b3\u03ba\u03c1\u03b9\u03c3\u03b7 \u03bc\u03b5 \u03c4\u03b9\u03c2 \u03c5\u03c0\u03bf\u03ba\u03b5\u03af\u03bc\u03b5\u03bd\u03b5\u03c2 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c6\u03ac\u03bd\u03b5\u03b9\u03b5\u03c2. \u0391\u03c5\u03c4\u03cc \u03b1\u03c0\u03bf\u03b4\u03af\u03b4\u03b5\u03b9 \u03ba\u03b9\u03bd\u03b7\u03c4\u03b9\u03ba\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 \u03b3\u03c1\u03b1\u03c6\u03b5\u03bd\u03af\u03bf\u03c5 1.200 cm\u00b2\/Vs \u03ad\u03bd\u03b1\u03bd\u03c4\u03b9 400 cm\u00b2\/Vs \u03c3\u03b5 \u03b3\u03c5\u03bc\u03bd\u03cc Si\u2083N\u2084.<\/p>\n<h3>\u0394\u03b9\u03b1\u03b4\u03b9\u03ba\u03b1\u03c3\u03af\u03b1 \u03b5\u03bd\u03b1\u03c0\u03cc\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7\u03c2 \u03b1\u03c4\u03bf\u03bc\u03b9\u03ba\u03bf\u03cd \u03c3\u03c4\u03c1\u03ce\u03bc\u03b1\u03c4\u03bf\u03c2 (ALD)<\/h3>\n<p>\u0397 ALD \u03c0\u03c1\u03bf\u03c3\u03c6\u03ad\u03c1\u03b5\u03b9 \u03ad\u03bb\u03b5\u03b3\u03c7\u03bf \u03c4\u03bf\u03c5 \u03c0\u03ac\u03c7\u03bf\u03c5\u03c2 \u03c3\u03b5 \u03b1\u03c4\u03bf\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03ba\u03bb\u03af\u03bc\u03b1\u03ba\u03b1 \u03bc\u03ad\u03c3\u03c9 \u03b4\u03b9\u03b1\u03b4\u03bf\u03c7\u03b9\u03ba\u03ce\u03bd \u03b5\u03ba\u03b8\u03ad\u03c3\u03b5\u03c9\u03bd \u03c4\u03c9\u03bd \u03c0\u03c1\u03cc\u03b4\u03c1\u03bf\u03bc\u03c9\u03bd \u03bf\u03c5\u03c3\u03b9\u03ce\u03bd. \u0397 ALD \u03b5\u03bd\u03b9\u03c3\u03c7\u03c5\u03bc\u03ad\u03bd\u03b7 \u03bc\u03b5 \u03c0\u03bb\u03ac\u03c3\u03bc\u03b1 \u03b5\u03bd\u03b1\u03c0\u03bf\u03b8\u03ad\u03c4\u03b5\u03b9 h-BN \u03c3\u03c4\u03bf\u03c5\u03c2 250-350\u00b0C \u03bc\u03b5 \u03c1\u03c5\u03b8\u03bc\u03bf\u03cd\u03c2 \u03b1\u03bd\u03ac\u03c0\u03c4\u03c5\u03be\u03b7\u03c2 1,1 \u00c5\/\u03ba\u03cd\u03ba\u03bb\u03bf \u03c7\u03c1\u03b7\u03c3\u03b9\u03bc\u03bf\u03c0\u03bf\u03b9\u03ce\u03bd\u03c4\u03b1\u03c2 \u03c0\u03bb\u03ac\u03c3\u03bc\u03b1 \u03c4\u03c1\u03b9\u03b1\u03b9\u03b8\u03c5\u03bb\u03bf\u03b2\u03bf\u03c1\u03b9\u03ba\u03bf\u03cd \u03ac\u03bb\u03b1\u03c4\u03bf\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 N\u2082\/H\u2082. \u03a4\u03bf \u03c0\u03b1\u03c1\u03ac\u03b8\u03c5\u03c1\u03bf \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b1\u03c2 ALD \u03b5\u03ba\u03c4\u03b5\u03af\u03bd\u03b5\u03c4\u03b1\u03b9 \u03c3\u03c4\u03bf\u03c5\u03c2 80-175\u00b0C \u03b3\u03b9\u03b1 \u03c0\u03c1\u03cc\u03b4\u03c1\u03bf\u03bc\u03b5\u03c2 \u03bf\u03c5\u03c3\u03af\u03b5\u03c2 BCl3 \u03ae TDMAB \u03bc\u03b5 \u03b1\u03bd\u03c4\u03b9\u03b4\u03c1\u03b1\u03c3\u03c4\u03ae\u03c1\u03b9\u03b1 NH\u2083. \u0397 \u03b5\u03bd\u03b9\u03c3\u03c7\u03c5\u03bc\u03ad\u03bd\u03b7 \u03bc\u03b5 \u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03cc\u03bd\u03b9\u03b1 ALD \u03b5\u03c0\u03b9\u03c4\u03c5\u03b3\u03c7\u03ac\u03bd\u03b5\u03b9 \u03b5\u03bd\u03b1\u03c0\u03cc\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7 \u03c3\u03b5 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b1 \u03b4\u03c9\u03bc\u03b1\u03c4\u03af\u03bf\u03c5 \u03bc\u03b5 \u03c7\u03c1\u03ae\u03c3\u03b7 \u03b2\u03bf\u03c1\u03b1\u03b6\u03af\u03bd\u03b7\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03ad\u03ba\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7 \u03c3\u03b5 \u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03cc\u03bd\u03b9\u03b1, \u03bc\u03b5 \u03bc\u03ad\u03b3\u03b9\u03c3\u03c4\u03bf\u03c5\u03c2 \u03c1\u03c5\u03b8\u03bc\u03bf\u03cd\u03c2 \u03b1\u03bd\u03ac\u03c0\u03c4\u03c5\u03be\u03b7\u03c2 3,2 \u00c5\/\u03ba\u03cd\u03ba\u03bb\u03bf \u03c3\u03b5 \u03b5\u03bd\u03ad\u03c1\u03b3\u03b5\u03b9\u03b5\u03c2 \u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03bf\u03bd\u03af\u03c9\u03bd 80-160 eV.<\/p>\n<h3>\u03a0\u03c1\u03bf\u03c3\u03b5\u03b3\u03b3\u03af\u03c3\u03b5\u03b9\u03c2 \u03bc\u03b5\u03c4\u03b1\u03bb\u03bb\u03bf-\u03bf\u03c1\u03b3\u03b1\u03bd\u03b9\u03ba\u03ae\u03c2 CVD (MOCVD)<\/h3>\n<p>\u0397 MOCVD \u03ba\u03b1\u03b8\u03b9\u03c3\u03c4\u03ac \u03b4\u03c5\u03bd\u03b1\u03c4\u03ae \u03c4\u03b7\u03bd \u03bf\u03bc\u03bf\u03b9\u03bf\u03bc\u03bf\u03c1\u03c6\u03af\u03b1 \u03c3\u03b5 \u03ba\u03bb\u03af\u03bc\u03b1\u03ba\u03b1 \u03c0\u03bb\u03b1\u03ba\u03b9\u03b4\u03af\u03bf\u03c5 \u03c7\u03c1\u03b7\u03c3\u03b9\u03bc\u03bf\u03c0\u03bf\u03b9\u03ce\u03bd\u03c4\u03b1\u03c2 \u03c4\u03c1\u03b9\u03b1\u03b9\u03b8\u03c5\u03bb\u03bf\u03b2\u03bf\u03c1\u03ac\u03bd\u03b9\u03bf (TEB) \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c0\u03c1\u03cc\u03b4\u03c1\u03bf\u03bc\u03b5\u03c2 \u03bf\u03c5\u03c3\u03af\u03b5\u03c2 NH\u2083. \u0397 MOCVD \u03bc\u03b5 \u03c0\u03b1\u03bb\u03bc\u03b9\u03ba\u03cc \u03c4\u03c1\u03cc\u03c0\u03bf \u03c3\u03c4\u03bf\u03c5\u03c2 1.000\u00b0C \u03b5\u03c0\u03b9\u03c4\u03c5\u03b3\u03c7\u03ac\u03bd\u03b5\u03b9 \u03c3\u03cd\u03bc\u03bc\u03bf\u03c1\u03c6\u03b7 \u03b1\u03bd\u03ac\u03c0\u03c4\u03c5\u03be\u03b7 \u03c0\u03ac\u03bd\u03c9 \u03c3\u03b5 \u03bd\u03b1\u03bd\u03bf\u03c4\u03c1\u03af\u03c7\u03b5\u03c2 \u03bc\u03b5 \u03b2\u03ac\u03c3\u03b7 \u03c4\u03bf Si \u03bc\u03b5 \u03b2\u03ae\u03bc\u03b1 45 nm \u03ba\u03b1\u03b9 \u03bb\u03cc\u03b3\u03bf \u03b4\u03b9\u03b1\u03c3\u03c4\u03ac\u03c3\u03b5\u03c9\u03bd 7:1. \u039f\u03b9 \u03c1\u03c5\u03b8\u03bc\u03bf\u03af \u03b1\u03bd\u03ac\u03c0\u03c4\u03c5\u03be\u03b7\u03c2 \u03c6\u03b8\u03ac\u03bd\u03bf\u03c5\u03bd \u03c4\u03b1 70 nm\/min \u03bc\u03b5 \u03ba\u03b1\u03c4\u03ac\u03bb\u03bb\u03b7\u03bb\u03b7 \u03b4\u03b9\u03b1\u03c7\u03b5\u03af\u03c1\u03b9\u03c3\u03b7 \u03c4\u03b7\u03c2 \u03c1\u03bf\u03ae\u03c2 \u03c4\u03bf\u03c5 TEB. \u0397 \u03b4\u03b9\u03b1\u03b4\u03b9\u03ba\u03b1\u03c3\u03af\u03b1 \u03c7\u03c1\u03b5\u03b9\u03ac\u03b6\u03b5\u03c4\u03b1\u03b9 \u03b1\u03c0\u03bb\u03ce\u03c2 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b5\u03c2 \u03ac\u03bd\u03c9 \u03c4\u03c9\u03bd 950\u00b0C \u03b3\u03b9\u03b1 \u03c3\u03c5\u03bd\u03b8\u03ae\u03ba\u03b5\u03c2 \u03c5\u03c8\u03b7\u03bb\u03ae\u03c2 \u03b1\u03bc\u03bc\u03c9\u03bd\u03af\u03b1\u03c2, \u03c5\u03c8\u03b7\u03bb\u03ae\u03c2 \u03c0\u03af\u03b5\u03c3\u03b7\u03c2.<\/p>\n<h3>\u039c\u03ad\u03b8\u03bf\u03b4\u03bf\u03b9 \u03b1\u03bd\u03ac\u03c0\u03c4\u03c5\u03be\u03b7\u03c2 \u03c3\u03b5 \u03c7\u03b1\u03bc\u03b7\u03bb\u03ae \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b1<\/h3>\n<p>\u0397 CVD \u03bc\u03b5 \u03b5\u03c0\u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03b9\u03ba\u03ac \u03c3\u03c5\u03b6\u03b5\u03c5\u03b3\u03bc\u03ad\u03bd\u03bf \u03c0\u03bb\u03ac\u03c3\u03bc\u03b1 \u03c3\u03c5\u03bd\u03b8\u03ad\u03c4\u03b5\u03b9 \u03c0\u03bf\u03bb\u03c5\u03c3\u03c4\u03c1\u03c9\u03bc\u03b1\u03c4\u03b9\u03ba\u03cc h-BN \u03c3\u03b5 \u03c7\u03b1\u03bb\u03b1\u03b6\u03af\u03b1 \u03ba\u03b1\u03b9 Si \u03c3\u03c4\u03bf\u03c5\u03c2 400-500\u00b0C \u03c7\u03c1\u03b7\u03c3\u03b9\u03bc\u03bf\u03c0\u03bf\u03b9\u03ce\u03bd\u03c4\u03b1\u03c2 \u03b2\u03bf\u03c1\u03b1\u03b6\u03af\u03bd\u03b7. \u039f\u03b9 \u03b2\u03ad\u03bb\u03c4\u03b9\u03c3\u03c4\u03b5\u03c2 \u03c3\u03c5\u03bd\u03b8\u03ae\u03ba\u03b5\u03c2 \u03c0\u03b5\u03c1\u03b9\u03bb\u03b1\u03bc\u03b2\u03ac\u03bd\u03bf\u03c5\u03bd \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b1 \u03c5\u03c0\u03bf\u03c3\u03c4\u03c1\u03ce\u03bc\u03b1\u03c4\u03bf\u03c2 500\u00b0C \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b9\u03c3\u03c7\u03cd RF 180 W \u03bc\u03b5 \u03c3\u03c5\u03bd\u03b4\u03c5\u03b1\u03c3\u03bc\u03ad\u03bd\u03b1 \u03c6\u03ad\u03c1\u03bf\u03bd\u03c4\u03b1 \u03b1\u03ad\u03c1\u03b9\u03b1 H\u2082\/N\u2082. \u039c\u03b5 \u03c4\u03bf\u03bd \u03c4\u03c1\u03cc\u03c0\u03bf \u03b1\u03c5\u03c4\u03cc \u03c0\u03b1\u03c1\u03ac\u03b3\u03bf\u03bd\u03c4\u03b1\u03b9 \u03c5\u03bc\u03ad\u03bd\u03b9\u03b1 \u03c0\u03ac\u03c7\u03bf\u03c5\u03c2 \u03ac\u03bd\u03c9 \u03c4\u03c9\u03bd 50 nm.<\/p>\n<h3>\u03a0\u03c1\u03bf\u03ba\u03bb\u03ae\u03c3\u03b5\u03b9\u03c2 \u03b5\u03c0\u03b9\u03bb\u03bf\u03b3\u03ae\u03c2 \u03c5\u03c0\u03bf\u03c3\u03c4\u03c1\u03ce\u03bc\u03b1\u03c4\u03bf\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b5\u03bd\u03c3\u03c9\u03bc\u03ac\u03c4\u03c9\u03c3\u03b7\u03c2<\/h3>\n<p>\u03a4\u03b1 \u03bc\u03b5\u03c4\u03b1\u03bb\u03bb\u03b9\u03ba\u03ac \u03c5\u03c0\u03bf\u03c3\u03c4\u03c1\u03ce\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 \u03cc\u03c0\u03c9\u03c2 \u03bf Cu \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c4\u03bf Ni \u03c7\u03c1\u03b5\u03b9\u03ac\u03b6\u03bf\u03bd\u03c4\u03b1\u03b9 \u03bc\u03cc\u03bd\u03bf \u03b4\u03b9\u03b1\u03b4\u03b9\u03ba\u03b1\u03c3\u03af\u03b5\u03c2 \u03bc\u03b5\u03c4\u03b1\u03c6\u03bf\u03c1\u03ac\u03c2 \u03bc\u03b5\u03c4\u03ac \u03c4\u03b7\u03bd \u03b1\u03bd\u03ac\u03c0\u03c4\u03c5\u03be\u03b7 \u03c0\u03bf\u03c5 \u03b5\u03b9\u03c3\u03ac\u03b3\u03bf\u03c5\u03bd \u03bc\u03cc\u03bb\u03c5\u03bd\u03c3\u03b7 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03bc\u03b7\u03c7\u03b1\u03bd\u03b9\u03ba\u03ad\u03c2 \u03b2\u03bb\u03ac\u03b2\u03b5\u03c2. \u03a4\u03b1 \u03bc\u03b7 \u03ba\u03b1\u03c4\u03b1\u03bb\u03c5\u03c4\u03b9\u03ba\u03ac \u03c5\u03c0\u03bf\u03c3\u03c4\u03c1\u03ce\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 \u03cc\u03c0\u03c9\u03c2 \u03c4\u03bf SiO\u2082 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c4\u03bf \u03b6\u03b1\u03c6\u03b5\u03af\u03c1\u03b9 \u03b1\u03c0\u03b1\u03b9\u03c4\u03bf\u03cd\u03bd \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b5\u03c2 \u03ac\u03bd\u03c9 \u03c4\u03c9\u03bd 900\u00b0C \u03b3\u03b9\u03b1 \u03bd\u03b1 \u03be\u03b5\u03c0\u03b5\u03c1\u03b1\u03c3\u03c4\u03bf\u03cd\u03bd \u03c4\u03b1 \u03b5\u03bd\u03b5\u03c1\u03b3\u03b5\u03b9\u03b1\u03ba\u03ac \u03b5\u03bc\u03c0\u03cc\u03b4\u03b9\u03b1. \u0397 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c4\u03b1\u03be\u03b9\u03b1\u03ba\u03ae \u03b1\u03bd\u03ac\u03c0\u03c4\u03c5\u03be\u03b7 \u03c3\u03b5 Si\u2083N\u2084 \u03b5\u03be\u03b1\u03bb\u03b5\u03af\u03c6\u03b5\u03b9 \u03c4\u03b1 \u03c3\u03c4\u03ac\u03b4\u03b9\u03b1 \u03bc\u03b5\u03c4\u03b1\u03c6\u03bf\u03c1\u03ac\u03c2, \u03b4\u03b9\u03b1\u03c4\u03b7\u03c1\u03ce\u03bd\u03c4\u03b1\u03c2 \u03c0\u03b1\u03c1\u03ac\u03bb\u03bb\u03b7\u03bb\u03b1 \u03c4\u03b7 \u03c3\u03c5\u03bc\u03b2\u03b1\u03c4\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 \u03bc\u03b5 \u03c4\u03b7\u03bd \u03b5\u03c0\u03b5\u03be\u03b5\u03c1\u03b3\u03b1\u03c3\u03af\u03b1 \u03b7\u03bc\u03b9\u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03ce\u03bd.<\/p>\n<h2>\u0395\u03c6\u03b1\u03c1\u03bc\u03bf\u03b3\u03ad\u03c2 \u03c3\u03c4\u03b7 \u03bc\u03b9\u03ba\u03c1\u03bf\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03bf\u03bd\u03b9\u03ba\u03ae \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c3\u03c4\u03b9\u03c2 \u03b4\u03b9\u03b1\u03c4\u03ac\u03be\u03b5\u03b9\u03c2 \u03b7\u03bc\u03b9\u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03ce\u03bd<\/h2>\n<p>\u039f\u03b9 \u03b4\u03c5\u03bd\u03b1\u03c4\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b5\u03c2 \u03c3\u03cd\u03bd\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7\u03c2 \u03c0\u03bf\u03c5 \u03c0\u03b5\u03c1\u03b9\u03b3\u03c1\u03ac\u03c6\u03bf\u03bd\u03c4\u03b1\u03b9 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c4\u03c1\u03ad\u03c0\u03bf\u03c5\u03bd \u03c3\u03c4\u03bf \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03cc \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03bd\u03b1 \u03b1\u03bd\u03c4\u03b9\u03bc\u03b5\u03c4\u03c9\u03c0\u03af\u03c3\u03b5\u03b9 \u03ba\u03c1\u03af\u03c3\u03b9\u03bc\u03b5\u03c2 \u03c0\u03c1\u03bf\u03ba\u03bb\u03ae\u03c3\u03b5\u03b9\u03c2 \u03c3\u03c4\u03b9\u03c2 \u03c3\u03cd\u03b3\u03c7\u03c1\u03bf\u03bd\u03b5\u03c2 \u03b4\u03b9\u03b1\u03c4\u03ac\u03be\u03b5\u03b9\u03c2 \u03b7\u03bc\u03b9\u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03ce\u03bd.<\/p>\n<h3>\u0394\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03cc \u03c5\u03bb\u03b9\u03ba\u03cc \u03b5\u03be\u03b1\u03b9\u03c1\u03b5\u03c4\u03b9\u03ba\u03ac \u03c7\u03b1\u03bc\u03b7\u03bb\u03bf\u03cd \u03ba \u03b3\u03b9\u03b1 \u03b4\u03b9\u03b1\u03c3\u03c5\u03bd\u03b4\u03ad\u03c3\u03b5\u03b9\u03c2<\/h3>\n<p>\u039c\u03b5\u03bc\u03b2\u03c1\u03ac\u03bd\u03b5\u03c2 \u03ac\u03bc\u03bf\u03c1\u03c6\u03bf\u03c5 \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03b9\u03b4\u03af\u03bf\u03c5 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03c0\u03ac\u03c7\u03bf\u03c5\u03c2 3 nm \u03b5\u03c0\u03b9\u03c4\u03c5\u03b3\u03c7\u03ac\u03bd\u03bf\u03c5\u03bd \u03b5\u03be\u03b1\u03b9\u03c1\u03b5\u03c4\u03b9\u03ba\u03ac \u03c7\u03b1\u03bc\u03b7\u03bb\u03ad\u03c2 \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ad\u03c2 \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03ad\u03c2 1,78 \u03c3\u03c4\u03b1 100 kHz \u03ba\u03b1\u03b9 1,16 \u03c3\u03c4\u03b1 1 MHz. \u039f\u03b9 \u03c4\u03b9\u03bc\u03ad\u03c2 \u03b1\u03c5\u03c4\u03ad\u03c2 \u03c0\u03bb\u03b7\u03c3\u03b9\u03ac\u03b6\u03bf\u03c5\u03bd \u03c4\u03b7 \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ae \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03ac \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b1\u03ad\u03c1\u03b1, \u03b4\u03b9\u03b1\u03c4\u03b7\u03c1\u03ce\u03bd\u03c4\u03b1\u03c2 \u03c0\u03b1\u03c1\u03ac\u03bb\u03bb\u03b7\u03bb\u03b1 \u03b1\u03bd\u03c4\u03bf\u03c7\u03ae \u03b4\u03b9\u03ac\u03c3\u03c0\u03b1\u03c3\u03b7\u03c2 7,3 MV\/cm. \u0388\u03c4\u03c3\u03b9, \u03c4\u03bf a-BN \u03b1\u03c0\u03bf\u03c4\u03c1\u03ad\u03c0\u03b5\u03b9 \u03c4\u03b7 \u03b4\u03b9\u03ac\u03c7\u03c5\u03c3\u03b7 \u03c7\u03b1\u03bb\u03ba\u03bf\u03cd \u03c3\u03c4\u03bf \u03c0\u03c5\u03c1\u03af\u03c4\u03b9\u03bf \u03ba\u03ac\u03c4\u03c9 \u03b1\u03c0\u03cc \u03b4\u03cd\u03c3\u03ba\u03bf\u03bb\u03b5\u03c2 \u03c3\u03c5\u03bd\u03b8\u03ae\u03ba\u03b5\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b5\u03c0\u03b5\u03ba\u03c4\u03b5\u03af\u03bd\u03b5\u03b9 \u03c4\u03b7 \u03b4\u03b9\u03ac\u03c1\u03ba\u03b5\u03b9\u03b1 \u03b6\u03c9\u03ae\u03c2 \u03c4\u03c9\u03bd \u03b4\u03b9\u03b1\u03c4\u03ac\u03be\u03b5\u03c9\u03bd \u03ba\u03b1\u03c4\u03ac \u03c4\u03c1\u03b5\u03b9\u03c2 \u03c4\u03ac\u03be\u03b5\u03b9\u03c2 \u03bc\u03b5\u03b3\u03ad\u03b8\u03bf\u03c5\u03c2 \u03c3\u03b5 \u03c3\u03cd\u03b3\u03ba\u03c1\u03b9\u03c3\u03b7 \u03bc\u03b5 \u03c4\u03b9\u03c2 \u03bc\u03b7 \u03c0\u03c1\u03bf\u03c3\u03c4\u03b1\u03c4\u03b5\u03c5\u03bc\u03ad\u03bd\u03b5\u03c2 \u03b4\u03bf\u03bc\u03ad\u03c2. \u03a4\u03bf h-BN \u03bc\u03b5 \u03ba\u03b1\u03c4\u03b1\u03ba\u03cc\u03c1\u03c5\u03c6\u03b7 \u03c5\u03c6\u03ae \u03c0\u03bf\u03c5 \u03ad\u03c7\u03b5\u03b9 \u03c5\u03c0\u03bf\u03c3\u03c4\u03b5\u03af \u03b5\u03ba\u03c4\u03bf\u03be\u03b5\u03c5\u03c4\u03ae\u03c1\u03b1 \u03b5\u03bc\u03c6\u03b1\u03bd\u03af\u03b6\u03b5\u03b9 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03b9\u03bc\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 \u03b4\u03b9\u03b1\u03bc\u03ad\u03c3\u03bf\u03c5 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c0\u03ad\u03b4\u03bf\u03c5 57 W\/m*K \u03c3\u03b5 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b5\u03c2 \u03b5\u03bd\u03b1\u03c0\u03cc\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7\u03c2 \u03ba\u03ac\u03c4\u03c9 \u03b1\u03c0\u03cc 400\u00b0C. \u0391\u03c5\u03c4\u03cc \u03b5\u03c0\u03b9\u03c4\u03c1\u03ad\u03c0\u03b5\u03b9 \u03c4\u03b7\u03bd \u03b1\u03be\u03b9\u03cc\u03c0\u03b9\u03c3\u03c4\u03b7 \u03ba\u03bb\u03b9\u03bc\u03ac\u03ba\u03c9\u03c3\u03b7 \u03c3\u03b5 \u03b5\u03bd\u03bd\u03ad\u03b1 \u03b5\u03c0\u03af\u03c0\u03b5\u03b4\u03b1 \u03c5\u03c8\u03b7\u03bb\u03ae\u03c2 \u03b9\u03c3\u03c7\u03cd\u03bf\u03c2 \u03c3\u03b5 \u03c4\u03c1\u03b9\u03c3\u03b4\u03b9\u03ac\u03c3\u03c4\u03b1\u03c4\u03b1 \u03bf\u03bb\u03bf\u03ba\u03bb\u03b7\u03c1\u03c9\u03bc\u03ad\u03bd\u03b1 \u03ba\u03c5\u03ba\u03bb\u03ce\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1.<\/p>\n<h3>\u03a5\u03c0\u03cc\u03c3\u03c4\u03c1\u03c9\u03bc\u03b1 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c3\u03c4\u03c1\u03ce\u03bc\u03b1 \u03b5\u03bd\u03b8\u03c5\u03bb\u03ac\u03ba\u03c9\u03c3\u03b7\u03c2 \u03b3\u03b9\u03b1 2D \u03c5\u03bb\u03b9\u03ba\u03ac<\/h3>\n<p>\u03a4\u03bf \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03cc BN \u03c0\u03b1\u03c1\u03ad\u03c7\u03b5\u03b9 \u03bb\u03b5\u03af\u03b5\u03c2 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c6\u03ac\u03bd\u03b5\u03b9\u03b5\u03c2 \u03c0\u03bf\u03c5 \u03b1\u03c5\u03be\u03ac\u03bd\u03bf\u03c5\u03bd \u03c4\u03b7\u03bd \u03ba\u03b9\u03bd\u03b7\u03c4\u03b9\u03ba\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 \u03c4\u03c9\u03bd \u03c6\u03bf\u03c1\u03ad\u03c9\u03bd \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b3\u03c1\u03b1\u03c6\u03b5\u03bd\u03af\u03bf\u03c5 \u03b1\u03c0\u03cc 5.000-10.000 cm\u00b2\/V-s \u03c3\u03b5 SiO\u2082 \u03c3\u03b5 20.000-60.000 cm\u00b2\/V-s. \u0397 \u03c0\u03bb\u03ae\u03c1\u03b7\u03c2 \u03b5\u03bd\u03b8\u03c5\u03bb\u03ac\u03ba\u03c9\u03c3\u03b7 \u03bc\u03b5\u03b9\u03ce\u03bd\u03b5\u03b9 \u03c4\u03b7 \u03c3\u03ba\u03ad\u03b4\u03b1\u03c3\u03b7 \u03c0\u03c1\u03bf\u03c3\u03bc\u03af\u03be\u03b5\u03c9\u03bd \u03ad\u03c9\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03ba\u03b1\u03c4\u03ac \u03b4\u03cd\u03bf \u03c4\u03ac\u03be\u03b5\u03b9\u03c2 \u03bc\u03b5\u03b3\u03ad\u03b8\u03bf\u03c5\u03c2 \u03c3\u03b5 \u03c7\u03b1\u03bc\u03b7\u03bb\u03ad\u03c2 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b5\u03c2.<\/p>\n<h3>\u0394\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ac \u03c0\u03cd\u03bb\u03b7\u03c2 \u03c3\u03b5 \u03c4\u03c1\u03b1\u03bd\u03b6\u03af\u03c3\u03c4\u03bf\u03c1 \u03c0\u03b5\u03b4\u03af\u03bf\u03c5-\u03b5\u03c0\u03af\u03b4\u03c1\u03b1\u03c3\u03b7\u03c2<\/h3>\n<p>\u03a4\u03bf h-BN \u03bb\u03af\u03b3\u03c9\u03bd \u03c3\u03c4\u03c1\u03c9\u03bc\u03ac\u03c4\u03c9\u03bd \u03c0\u03b1\u03c1\u03bf\u03c5\u03c3\u03b9\u03ac\u03b6\u03b5\u03b9 \u03c0\u03b5\u03b4\u03af\u03b1 \u03b4\u03b9\u03ac\u03c3\u03c0\u03b1\u03c3\u03b7\u03c2 \u03c0\u03bf\u03c5 \u03c5\u03c0\u03b5\u03c1\u03b2\u03b1\u03af\u03bd\u03bf\u03c5\u03bd \u03c4\u03b1 10 MV\/cm \u03bc\u03b5 \u03c1\u03b5\u03cd\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 \u03b4\u03b9\u03b1\u03c1\u03c1\u03bf\u03ae\u03c2 \u03b1\u03c0\u03cc 10-\u2078 \u03ad\u03c9\u03c2 10-\u00b9\u2070 A\/cm\u00b2. \u039f\u03b9 \u03c3\u03c4\u03bf\u03af\u03b2\u03b5\u03c2 \u03c0\u03cd\u03bb\u03b7\u03c2 \u03c0\u03bb\u03b1\u03c4\u03af\u03bd\u03b1\u03c2\/hBN \u03c0\u03b1\u03c1\u03bf\u03c5\u03c3\u03b9\u03ac\u03b6\u03bf\u03c5\u03bd 500 \u03c6\u03bf\u03c1\u03ad\u03c2 \u03bc\u03b9\u03ba\u03c1\u03cc\u03c4\u03b5\u03c1\u03b7 \u03b4\u03b9\u03b1\u03c1\u03c1\u03bf\u03ae \u03b1\u03c0\u03cc \u03c4\u03b9\u03c2 \u03b4\u03b9\u03b1\u03bc\u03bf\u03c1\u03c6\u03ce\u03c3\u03b5\u03b9\u03c2 \u03bc\u03b5 \u03b2\u03ac\u03c3\u03b7 \u03c4\u03bf \u03c7\u03c1\u03c5\u03c3\u03cc \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c4\u03c5\u03b3\u03c7\u03ac\u03bd\u03bf\u03c5\u03bd \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ae \u03b1\u03bd\u03c4\u03bf\u03c7\u03ae \u03c4\u03bf\u03c5\u03bb\u03ac\u03c7\u03b9\u03c3\u03c4\u03bf\u03bd 25 MV\/cm.<\/p>\n<h3>\u0394\u03b9\u03b1\u03c7\u03b5\u03af\u03c1\u03b9\u03c3\u03b7 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1\u03c2 \u03c3\u03b5 \u03b1\u03c1\u03c7\u03b9\u03c4\u03b5\u03ba\u03c4\u03bf\u03bd\u03b9\u03ba\u03ad\u03c2 \u03c3\u03c4\u03bf\u03b9\u03b2\u03b1\u03b3\u03bc\u03ad\u03bd\u03c9\u03bd \u03c3\u03c5\u03c3\u03ba\u03b5\u03c5\u03ce\u03bd<\/h3>\n<p>\u0397 \u03ba\u03ac\u03bb\u03c5\u03c8\u03b7 \u03c4\u03c9\u03bd \u03bd\u03b1\u03bd\u03bf\u03c4\u03b1\u03b9\u03bd\u03b9\u03ce\u03bd \u03c7\u03c1\u03c5\u03c3\u03bf\u03cd \u03bc\u03b5 hBN \u03bc\u03b5\u03b9\u03ce\u03bd\u03b5\u03b9 \u03c4\u03bf\u03bd \u03c1\u03c5\u03b8\u03bc\u03cc \u03b1\u03cd\u03be\u03b7\u03c3\u03b7\u03c2 \u03c4\u03b7\u03c2 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b1\u03c2 \u03ba\u03b1\u03c4\u03ac 40% \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b1\u03c5\u03be\u03ac\u03bd\u03b5\u03b9 \u03c4\u03b7\u03bd \u03c0\u03c5\u03ba\u03bd\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 \u03c1\u03b5\u03cd\u03bc\u03b1\u03c4\u03bf\u03c2 \u03b4\u03b9\u03ac\u03c3\u03c0\u03b1\u03c3\u03b7\u03c2 \u03ba\u03b1\u03c4\u03ac 30%. \u03a4\u03bf hBN \u03c3\u03b5 \u03bd\u03b1\u03bd\u03bf\u03ba\u03b1\u03bb\u03ce\u03b4\u03b9\u03b1 SiGe \u03bc\u03b5\u03b9\u03ce\u03bd\u03b5\u03b9 \u03c4\u03b7 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b1 \u03bb\u03b5\u03b9\u03c4\u03bf\u03c5\u03c1\u03b3\u03af\u03b1\u03c2 \u03ba\u03b1\u03c4\u03ac 500 K \u03c5\u03c0\u03cc \u03bf\u03c0\u03c4\u03b9\u03ba\u03ae \u03b4\u03b9\u03ad\u03b3\u03b5\u03c1\u03c3\u03b7.<\/p>\n<h2>\u03a7\u03b1\u03c1\u03b1\u03ba\u03c4\u03b7\u03c1\u03b9\u03c3\u03bc\u03cc\u03c2 \u03c5\u03bb\u03b9\u03ba\u03bf\u03cd \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c3\u03c5\u03b3\u03ba\u03c1\u03b9\u03c4\u03b9\u03ba\u03ac \u03c3\u03c4\u03bf\u03b9\u03c7\u03b5\u03af\u03b1 \u03b5\u03c0\u03b9\u03b4\u03cc\u03c3\u03b5\u03c9\u03bd<\/h2>\n<p>\u039f\u03b9 \u03b1\u03ba\u03c1\u03b9\u03b2\u03b5\u03af\u03c2 \u03bc\u03ad\u03b8\u03bf\u03b4\u03bf\u03b9 \u03c7\u03b1\u03c1\u03b1\u03ba\u03c4\u03b7\u03c1\u03b9\u03c3\u03bc\u03bf\u03cd \u03ba\u03b1\u03b8\u03bf\u03c1\u03af\u03b6\u03bf\u03c5\u03bd \u03b1\u03bd \u03c4\u03bf \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03cc \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03c0\u03bb\u03b7\u03c1\u03bf\u03af \u03c4\u03b9\u03c2 \u03b1\u03c5\u03c3\u03c4\u03b7\u03c1\u03ad\u03c2 \u03b1\u03c0\u03b1\u03b9\u03c4\u03ae\u03c3\u03b5\u03b9\u03c2 \u03b3\u03b9\u03b1 \u03c4\u03b7\u03bd \u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03bf\u03bd\u03b9\u03ba\u03ae \u03bf\u03bb\u03bf\u03ba\u03bb\u03ae\u03c1\u03c9\u03c3\u03b7.<\/p>\n<h3>\u039c\u03b5\u03c4\u03c1\u03ae\u03c3\u03b5\u03b9\u03c2 \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ae\u03c2 \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03ac\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c4\u03ac\u03c3\u03b7\u03c2 \u03b4\u03b9\u03ac\u03c3\u03c0\u03b1\u03c3\u03b7\u03c2<\/h3>\n<p>\u039f\u03b9 \u03b4\u03bf\u03bc\u03ad\u03c2 \u03c0\u03c5\u03ba\u03bd\u03c9\u03c4\u03ce\u03bd \u03bc\u03b5\u03c4\u03ac\u03bb\u03bb\u03bf\u03c5-\u03bc\u03bf\u03bd\u03c9\u03c4\u03ae-\u03bc\u03b5\u03c4\u03ac\u03bb\u03bb\u03bf\u03c5 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c4\u03c1\u03ad\u03c0\u03bf\u03c5\u03bd \u03c4\u03b7\u03bd \u03ac\u03bc\u03b5\u03c3\u03b7 \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03ae \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ce\u03bd \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03ce\u03bd \u03bc\u03ad\u03c3\u03c9 \u03bc\u03b5\u03c4\u03c1\u03ae\u03c3\u03b5\u03c9\u03bd \u03c7\u03c9\u03c1\u03b7\u03c4\u03b9\u03ba\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1\u03c2-\u03c4\u03ac\u03c3\u03b7\u03c2. \u0397 \u03b4\u03b9\u03b1\u03c0\u03b5\u03c1\u03b1\u03c4\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 \u03b5\u03ba\u03c4\u03cc\u03c2 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c0\u03ad\u03b4\u03bf\u03c5 \u03c0\u03b5\u03c1\u03b9\u03bf\u03c1\u03af\u03b6\u03b5\u03c4\u03b1\u03b9 \u03c3\u03b5 3,4\u00b10,2. \u0394\u03bf\u03ba\u03b9\u03bc\u03ad\u03c2 \u03c4\u03ac\u03c3\u03b7\u03c2 \u03c4\u03ac\u03c3\u03b7\u03c2 \u03c1\u03ac\u03bc\u03c0\u03b1\u03c2 \u03bc\u03b5\u03c4\u03c1\u03bf\u03cd\u03bd \u03c4\u03b7 \u03c3\u03c5\u03bc\u03c0\u03b5\u03c1\u03b9\u03c6\u03bf\u03c1\u03ac \u03b4\u03b9\u03ac\u03c3\u03c0\u03b1\u03c3\u03b7\u03c2. \u03a4\u03b1 \u03bb\u03b5\u03c0\u03c4\u03ac \u03bd\u03b1\u03bd\u03bf\u03c3\u03c4\u03c1\u03ce\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c4\u03c5\u03b3\u03c7\u03ac\u03bd\u03bf\u03c5\u03bd \u03c0\u03b5\u03b4\u03af\u03b1 \u03b4\u03b9\u03ac\u03c3\u03c0\u03b1\u03c3\u03b7\u03c2 15,7 MV\/cm \u03c3\u03b5 \u03bc\u03b7\u03b4\u03b5\u03bd\u03b9\u03ba\u03ae \u03bc\u03b7\u03c7\u03b1\u03bd\u03b9\u03ba\u03ae \u03ba\u03b1\u03c4\u03b1\u03c0\u03cc\u03bd\u03b7\u03c3\u03b7 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c4\u03b1 \u03c5\u03bc\u03ad\u03bd\u03b9\u03b1 3 nm \u03c6\u03c4\u03ac\u03bd\u03bf\u03c5\u03bd \u03c4\u03b1 21 MV\/cm. \u03a4\u03bf \u03c0\u03ac\u03c7\u03bf\u03c2 \u03b5\u03c0\u03b7\u03c1\u03b5\u03ac\u03b6\u03b5\u03b9 \u03c3\u03b5 \u03bc\u03b5\u03b3\u03ac\u03bb\u03bf \u03b2\u03b1\u03b8\u03bc\u03cc \u03c4\u03b7 \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ae \u03b1\u03bd\u03c4\u03bf\u03c7\u03ae. \u03a4\u03b1 \u03b4\u03b5\u03af\u03b3\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 \u03c4\u03c9\u03bd 4,6 nm \u03c0\u03b1\u03c1\u03bf\u03c5\u03c3\u03b9\u03ac\u03b6\u03bf\u03c5\u03bd E63.2% 15,1 MV\/cm, \u03c4\u03bf \u03bf\u03c0\u03bf\u03af\u03bf \u03bc\u03b5\u03b9\u03ce\u03bd\u03b5\u03c4\u03b1\u03b9 \u03c3\u03b5 10,4 MV\/cm \u03b3\u03b9\u03b1 \u03c4\u03b1 \u03c5\u03bc\u03ad\u03bd\u03b9\u03b1 \u03c4\u03c9\u03bd 41,3 nm.<\/p>\n<h3>\u039c\u03ad\u03b8\u03bf\u03b4\u03bf\u03b9 \u03b4\u03bf\u03ba\u03b9\u03bc\u03ae\u03c2 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae\u03c2 \u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03b9\u03bc\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1\u03c2<\/h3>\n<p>\u0397 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03b1\u03bd\u03ac\u03ba\u03bb\u03b1\u03c3\u03b7 \u03c3\u03c4\u03bf \u03c0\u03b5\u03b4\u03af\u03bf \u03c4\u03bf\u03c5 \u03c7\u03c1\u03cc\u03bd\u03bf\u03c5 \u03bc\u03b5 \u03bc\u03b5\u03c4\u03b1\u03b2\u03bb\u03b7\u03c4\u03ac \u03bc\u03b5\u03b3\u03ad\u03b8\u03b7 \u03ba\u03b7\u03bb\u03af\u03b4\u03c9\u03bd \u03bc\u03b5\u03c4\u03c1\u03ac \u03c4\u03b1\u03c5\u03c4\u03cc\u03c7\u03c1\u03bf\u03bd\u03b1 \u03c4\u03b7\u03bd \u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03b9\u03bc\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 \u03b5\u03bd\u03c4\u03cc\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b4\u03b9\u03b1\u03bc\u03ad\u03c3\u03bf\u03c5 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c0\u03ad\u03b4\u03bf\u03c5, \u03c0\u03c1\u03bf\u03c3\u03b1\u03c1\u03bc\u03cc\u03b6\u03bf\u03bd\u03c4\u03b1\u03c2 \u03c4\u03b9\u03c2 \u03b4\u03b9\u03b1\u03c3\u03c4\u03ac\u03c3\u03b5\u03b9\u03c2 \u03c4\u03b7\u03c2 \u03ba\u03b7\u03bb\u03af\u03b4\u03b1\u03c2 \u03bb\u03ad\u03b9\u03b6\u03b5\u03c1 \u03c3\u03b5 \u03c3\u03c7\u03ad\u03c3\u03b7 \u03bc\u03b5 \u03c4\u03bf \u03b2\u03ac\u03b8\u03bf\u03c2 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae\u03c2 \u03b4\u03b9\u03b5\u03af\u03c3\u03b4\u03c5\u03c3\u03b7\u03c2. \u0397 \u03bf\u03c0\u03c4\u03bf\u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03c6\u03b1\u03c3\u03bc\u03b1\u03c4\u03bf\u03c3\u03ba\u03bf\u03c0\u03af\u03b1 Raman \u03c0\u03b1\u03c1\u03b1\u03ba\u03bf\u03bb\u03bf\u03c5\u03b8\u03b5\u03af \u03c4\u03b9\u03c2 \u03b5\u03be\u03b1\u03c1\u03c4\u03ce\u03bc\u03b5\u03bd\u03b5\u03c2 \u03b1\u03c0\u03cc \u03c4\u03b7 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b1 \u03bc\u03b5\u03c4\u03b1\u03c4\u03bf\u03c0\u03af\u03c3\u03b5\u03b9\u03c2 \u03c4\u03c9\u03bd \u03ba\u03bf\u03c1\u03c5\u03c6\u03ce\u03bd \u03b3\u03b9\u03b1 \u03c4\u03b7\u03bd \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03ae \u03c4\u03c9\u03bd \u03b9\u03b4\u03b9\u03bf\u03c4\u03ae\u03c4\u03c9\u03bd \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae\u03c2 \u03bc\u03b5\u03c4\u03b1\u03c6\u03bf\u03c1\u03ac\u03c2.<\/p>\n<h3>\u03a0\u03bf\u03b9\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c6\u03ac\u03bd\u03b5\u03b9\u03b1\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b9\u03b4\u03b9\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b5\u03c2 \u03b4\u03b9\u03b5\u03c0\u03b1\u03c6\u03ae\u03c2<\/h3>\n<p>\u03a4\u03bf CVD h-BN \u03c0\u03bf\u03c5 \u03b4\u03b9\u03b1\u03c4\u03af\u03b8\u03b5\u03c4\u03b1\u03b9 \u03c3\u03c4\u03b7\u03bd \u03b1\u03b3\u03bf\u03c1\u03ac \u03c0\u03b1\u03c1\u03bf\u03c5\u03c3\u03b9\u03ac\u03b6\u03b5\u03b9 \u03c3\u03b7\u03bc\u03b1\u03bd\u03c4\u03b9\u03ba\u03ac \u03c7\u03b5\u03b9\u03c1\u03cc\u03c4\u03b5\u03c1\u03bf \u03c1\u03b5\u03cd\u03bc\u03b1 \u03b4\u03b9\u03b1\u03c1\u03c1\u03bf\u03ae\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ae \u03bf\u03bc\u03bf\u03b9\u03bf\u03b3\u03ad\u03bd\u03b5\u03b9\u03b1 \u03b1\u03c0\u03cc \u03c4\u03bf \u03c5\u03bb\u03b9\u03ba\u03cc \u03c0\u03bf\u03c5 \u03bb\u03b1\u03bc\u03b2\u03ac\u03bd\u03b5\u03c4\u03b1\u03b9 \u03bc\u03b5 \u03bc\u03b7\u03c7\u03b1\u03bd\u03b9\u03ba\u03ae \u03b1\u03c0\u03bf\u03bb\u03ad\u03c0\u03b9\u03c3\u03b7. \u039f\u03b9 \u03c0\u03c5\u03ba\u03bd\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b5\u03c2 \u03c0\u03b1\u03b3\u03af\u03b4\u03c9\u03bd \u03b4\u03b9\u03b5\u03c0\u03b9\u03c6\u03ac\u03bd\u03b5\u03b9\u03b1\u03c2 \u03bc\u03b5\u03c4\u03b1\u03be\u03cd h-BN \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c5\u03c0\u03bf\u03c3\u03c4\u03c1\u03c9\u03bc\u03ac\u03c4\u03c9\u03bd Ge \u03ba\u03c5\u03bc\u03b1\u03af\u03bd\u03bf\u03bd\u03c4\u03b1\u03b9 \u03b1\u03c0\u03cc 10\u00b9\u00b9 \u03ad\u03c9\u03c2 10\u00b9\u00b2 cm-\u00b2 eV-\u00b9.<\/p>\n<h3>\u03a3\u03cd\u03b3\u03ba\u03c1\u03b9\u03c3\u03b7 \u03bc\u03b5 \u03c0\u03b1\u03c1\u03b1\u03b4\u03bf\u03c3\u03b9\u03b1\u03ba\u03ac \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ac \u03c5\u03bb\u03b9\u03ba\u03ac<\/h3>\n<p>\u03b7 \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ae \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03ac \u03c4\u03bf\u03c5 \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03b9\u03b4\u03af\u03bf\u03c5 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03be\u03b5\u03c0\u03b5\u03c1\u03bd\u03ac \u03c4\u03b7\u03bd \u03c0\u03b5\u03c1\u03b9\u03bf\u03c7\u03ae 8,0-10 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03b9\u03b4\u03af\u03bf\u03c5 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03c0\u03c5\u03c1\u03b9\u03c4\u03af\u03bf\u03c5 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03bc\u03b5\u03b9\u03ce\u03bd\u03b5\u03b9 \u03c4\u03b7\u03bd \u03ba\u03b1\u03b8\u03c5\u03c3\u03c4\u03ad\u03c1\u03b7\u03c3\u03b7 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03c3\u03ae\u03bc\u03b1\u03c4\u03bf\u03c2 \u03c3\u03b5 \u03b5\u03c6\u03b1\u03c1\u03bc\u03bf\u03b3\u03ad\u03c2 \u03c5\u03c8\u03b7\u03bb\u03ae\u03c2 \u03c3\u03c5\u03c7\u03bd\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1\u03c2. \u0397 \u03b1\u03bd\u03c4\u03bf\u03c7\u03ae \u03b4\u03b9\u03ac\u03c3\u03c0\u03b1\u03c3\u03b7\u03c2 \u03b5\u03ba\u03c4\u03b5\u03af\u03bd\u03b5\u03c4\u03b1\u03b9 \u03b1\u03c0\u03cc 61-200 kV\/mm. \u0391\u03c5\u03c4\u03cc \u03b5\u03af\u03bd\u03b1\u03b9 \u03bc\u03b5\u03b3\u03ac\u03bb\u03b7 \u03c5\u03c0\u03cc\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7, \u03ba\u03b1\u03b8\u03ce\u03c2 \u03c3\u03b7\u03bc\u03b1\u03af\u03bd\u03b5\u03b9 \u03cc\u03c4\u03b9 \u03b7 \u03b1\u03bb\u03bf\u03c5\u03bc\u03af\u03bd\u03b1 \u03c4\u03c9\u03bd 8,9-12 kV\/mm \u03c5\u03c0\u03bf\u03bb\u03b5\u03af\u03c0\u03b5\u03c4\u03b1\u03b9 \u03ba\u03b1\u03c4\u03ac \u03c0\u03bf\u03bb\u03cd.<\/p>\n<h2>\u03a3\u03c5\u03bc\u03c0\u03ad\u03c1\u03b1\u03c3\u03bc\u03b1<\/h2>\n<p>\u03a4\u03bf \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03bf\u03cd \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03ad\u03c7\u03b5\u03b9 \u03b1\u03c0\u03bf\u03b4\u03b5\u03b9\u03c7\u03b8\u03b5\u03af \u03c9\u03c2 \u03ad\u03bd\u03b1 \u03c5\u03bb\u03b9\u03ba\u03cc \u03b6\u03c9\u03c4\u03b9\u03ba\u03ae\u03c2 \u03c3\u03b7\u03bc\u03b1\u03c3\u03af\u03b1\u03c2 \u03b3\u03b9\u03b1 \u03c4\u03b1 \u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03bf\u03bd\u03b9\u03ba\u03ac \u03c3\u03c5\u03c3\u03c4\u03ae\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 \u03b5\u03c0\u03cc\u03bc\u03b5\u03bd\u03b7\u03c2 \u03b3\u03b5\u03bd\u03b9\u03ac\u03c2 \u03c7\u03ac\u03c1\u03b7 \u03c3\u03c4\u03b7\u03bd \u03b5\u03be\u03b1\u03b9\u03c1\u03b5\u03c4\u03b9\u03ba\u03ae \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03b9\u03bc\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1, \u03c4\u03b9\u03c2 \u03b1\u03bd\u03ce\u03c4\u03b5\u03c1\u03b5\u03c2 \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ad\u03c2 \u03b9\u03b4\u03b9\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b5\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c4\u03b7 \u03c7\u03b7\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1. \u0397 \u03c0\u03c1\u03cc\u03bf\u03b4\u03bf\u03c2 \u03c3\u03c4\u03b9\u03c2 \u03c4\u03b5\u03c7\u03bd\u03b9\u03ba\u03ad\u03c2 \u03c3\u03cd\u03bd\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7\u03c2 \u03ad\u03c7\u03b5\u03b9 \u03ba\u03b1\u03c4\u03b1\u03c3\u03c4\u03ae\u03c3\u03b5\u03b9 \u03b5\u03c6\u03b9\u03ba\u03c4\u03ae \u03c4\u03b7\u03bd \u03c0\u03b1\u03c1\u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03ae \u03bc\u03b5\u03b3\u03ac\u03bb\u03b7\u03c2 \u03ba\u03bb\u03af\u03bc\u03b1\u03ba\u03b1\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03ad\u03c7\u03b5\u03b9 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c4\u03c1\u03ad\u03c8\u03b5\u03b9 \u03c4\u03b7\u03bd \u03b5\u03bd\u03c3\u03c9\u03bc\u03ac\u03c4\u03c9\u03c3\u03b7 \u03c3\u03b5 \u03b4\u03b9\u03b1\u03c3\u03c5\u03bd\u03b4\u03ad\u03c3\u03b5\u03b9\u03c2 \u03b5\u03be\u03b1\u03b9\u03c1\u03b5\u03c4\u03b9\u03ba\u03ac \u03c7\u03b1\u03bc\u03b7\u03bb\u03bf\u03cd k, \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ac \u03c0\u03cd\u03bb\u03b7\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c3\u03c5\u03c3\u03c4\u03ae\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae\u03c2 \u03b4\u03b9\u03b1\u03c7\u03b5\u03af\u03c1\u03b9\u03c3\u03b7\u03c2. \u03a4\u03bf \u03c5\u03bb\u03b9\u03ba\u03cc \u03be\u03b5\u03c0\u03b5\u03c1\u03bd\u03ac \u03c4\u03b1 \u03c0\u03b1\u03c1\u03b1\u03b4\u03bf\u03c3\u03b9\u03b1\u03ba\u03ac \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ac \u03c3\u03b5 \u03ba\u03c1\u03af\u03c3\u03b9\u03bc\u03b1 \u03c0\u03c1\u03cc\u03c4\u03c5\u03c0\u03b1. \u03a4\u03bf \u03b3\u03b5\u03b3\u03bf\u03bd\u03cc\u03c2 \u03b1\u03c5\u03c4\u03cc \u03c4\u03bf\u03c0\u03bf\u03b8\u03b5\u03c4\u03b5\u03af \u03c4\u03bf h-BN \u03c9\u03c2 \u03bc\u03b9\u03b1 \u03c4\u03b5\u03c7\u03bd\u03bf\u03bb\u03bf\u03b3\u03af\u03b1 \u03b6\u03c9\u03ae\u03c2 \u03c0\u03bf\u03c5 \u03b8\u03b1 \u03b2\u03b5\u03bb\u03c4\u03b9\u03c3\u03c4\u03bf\u03c0\u03bf\u03b9\u03ae\u03c3\u03b5\u03b9 \u03c4\u03b7\u03bd \u03ba\u03b1\u03b9\u03bd\u03bf\u03c4\u03bf\u03bc\u03af\u03b1 \u03c4\u03c9\u03bd \u03b7\u03bc\u03b9\u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03ce\u03bd \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b8\u03b1 \u03b1\u03bd\u03c4\u03b9\u03bc\u03b5\u03c4\u03c9\u03c0\u03af\u03c3\u03b5\u03b9 \u03c4\u03b9\u03c2 \u03b1\u03c0\u03b1\u03b9\u03c4\u03b7\u03c4\u03b9\u03ba\u03ad\u03c2 \u03b1\u03c0\u03b1\u03b9\u03c4\u03ae\u03c3\u03b5\u03b9\u03c2 \u03c4\u03c9\u03bd \u03c3\u03cd\u03b3\u03c7\u03c1\u03bf\u03bd\u03c9\u03bd \u03bc\u03b9\u03ba\u03c1\u03bf\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03bf\u03bd\u03b9\u03ba\u03ce\u03bd \u03b4\u03b9\u03b1\u03c4\u03ac\u03be\u03b5\u03c9\u03bd.<\/p>\n<h2>\u03a3\u03c5\u03c7\u03bd\u03ad\u03c2 \u03b5\u03c1\u03c9\u03c4\u03ae\u03c3\u03b5\u03b9\u03c2<\/h2>\n<p><strong>Q1. \u03a4\u03b9 \u03ba\u03ac\u03bd\u03b5\u03b9 \u03c4\u03bf \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03cc \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03c0\u03bf\u03bb\u03cd\u03c4\u03b9\u03bc\u03bf \u03b3\u03b9\u03b1 \u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03bf\u03bd\u03b9\u03ba\u03ad\u03c2 \u03b5\u03c6\u03b1\u03c1\u03bc\u03bf\u03b3\u03ad\u03c2;<\/strong> \u03a4\u03bf \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03bf\u03cd \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03c3\u03c5\u03bd\u03b4\u03c5\u03ac\u03b6\u03b5\u03b9 \u03b1\u03c1\u03ba\u03b5\u03c4\u03ad\u03c2 \u03ba\u03c1\u03af\u03c3\u03b9\u03bc\u03b5\u03c2 \u03b9\u03b4\u03b9\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b5\u03c2 \u03c0\u03bf\u03c5 \u03c4\u03bf \u03ba\u03b1\u03b8\u03b9\u03c3\u03c4\u03bf\u03cd\u03bd \u03b9\u03b4\u03b1\u03bd\u03b9\u03ba\u03cc \u03b3\u03b9\u03b1 \u03c4\u03b1 \u03c3\u03cd\u03b3\u03c7\u03c1\u03bf\u03bd\u03b1 \u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03bf\u03bd\u03b9\u03ba\u03ac: \u03c5\u03c8\u03b7\u03bb\u03ae \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03b9\u03bc\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 (\u03ad\u03c9\u03c2 585 W m-\u00b9 K-\u00b9 \u03c3\u03c4\u03bf \u03b5\u03c0\u03af\u03c0\u03b5\u03b4\u03bf), \u03b5\u03be\u03b1\u03b9\u03c1\u03b5\u03c4\u03b9\u03ba\u03ae \u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ae \u03bc\u03cc\u03bd\u03c9\u03c3\u03b7 \u03bc\u03b5 \u03b5\u03c5\u03c1\u03cd \u03c7\u03ac\u03c3\u03bc\u03b1 \u03b6\u03ce\u03bd\u03b7\u03c2 \u03c0\u03b5\u03c1\u03af\u03c0\u03bf\u03c5 6 eV, \u03b5\u03be\u03b1\u03b9\u03c1\u03b5\u03c4\u03b9\u03ba\u03ae \u03c7\u03b7\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 \u03c3\u03b5 \u03c5\u03c8\u03b7\u03bb\u03ad\u03c2 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b5\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c7\u03b1\u03bc\u03b7\u03bb\u03ae \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ae \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03ac. \u0391\u03c5\u03c4\u03ac \u03c4\u03b1 \u03c7\u03b1\u03c1\u03b1\u03ba\u03c4\u03b7\u03c1\u03b9\u03c3\u03c4\u03b9\u03ba\u03ac \u03b5\u03c0\u03b9\u03c4\u03c1\u03ad\u03c0\u03bf\u03c5\u03bd \u03c3\u03c4\u03bf h-BN \u03bd\u03b1 \u03b1\u03bd\u03c4\u03b9\u03bc\u03b5\u03c4\u03c9\u03c0\u03af\u03c3\u03b5\u03b9 \u03b2\u03b1\u03c3\u03b9\u03ba\u03ad\u03c2 \u03c0\u03c1\u03bf\u03ba\u03bb\u03ae\u03c3\u03b5\u03b9\u03c2 \u03c3\u03c4\u03b9\u03c2 \u03b4\u03b9\u03b1\u03c4\u03ac\u03be\u03b5\u03b9\u03c2 \u03b7\u03bc\u03b9\u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03ce\u03bd, \u03c3\u03c5\u03bc\u03c0\u03b5\u03c1\u03b9\u03bb\u03b1\u03bc\u03b2\u03b1\u03bd\u03bf\u03bc\u03ad\u03bd\u03b7\u03c2 \u03c4\u03b7\u03c2 \u03b1\u03c0\u03b1\u03b3\u03c9\u03b3\u03ae\u03c2 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1\u03c2, \u03c4\u03b7\u03c2 \u03bc\u03b5\u03af\u03c9\u03c3\u03b7\u03c2 \u03c4\u03b7\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b8\u03c5\u03c3\u03c4\u03ad\u03c1\u03b7\u03c3\u03b7\u03c2 \u03c3\u03ae\u03bc\u03b1\u03c4\u03bf\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c4\u03b7\u03c2 \u03b1\u03be\u03b9\u03bf\u03c0\u03b9\u03c3\u03c4\u03af\u03b1\u03c2 \u03c4\u03b7\u03c2 \u03b4\u03b9\u03ac\u03c4\u03b1\u03be\u03b7\u03c2.<\/p>\n<p><strong>Q2. \u03a0\u03ce\u03c2 \u03c3\u03c5\u03b3\u03ba\u03c1\u03af\u03bd\u03b5\u03c4\u03b1\u03b9 \u03c4\u03bf \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03cc \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03bc\u03b5 \u03c4\u03bf \u03ba\u03c5\u03b2\u03b9\u03ba\u03cc \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5;<\/strong> \u03a4\u03bf \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03cc \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 (h-BN) \u03b4\u03b9\u03b1\u03b8\u03ad\u03c4\u03b5\u03b9 \u03bc\u03b9\u03b1 \u03b4\u03bf\u03bc\u03ae \u03c0\u03bf\u03c5 \u03bc\u03bf\u03b9\u03ac\u03b6\u03b5\u03b9 \u03bc\u03b5 \u03c3\u03c4\u03c1\u03ce\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 \u03b3\u03c1\u03b1\u03c6\u03af\u03c4\u03b7 \u03bc\u03b5 \u03b4\u03b5\u03c3\u03bc\u03bf\u03cd\u03c2 sp\u00b2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b5\u03af\u03bd\u03b1\u03b9 \u03c4\u03bf \u03c0\u03b9\u03bf \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03cc \u03c0\u03bf\u03bb\u03cd\u03bc\u03bf\u03c1\u03c6\u03bf \u03c3\u03b5 \u03c3\u03c5\u03bd\u03b8\u03ae\u03ba\u03b5\u03c2 \u03c0\u03b5\u03c1\u03b9\u03b2\u03ac\u03bb\u03bb\u03bf\u03bd\u03c4\u03bf\u03c2. \u03a4\u03bf \u03ba\u03c5\u03b2\u03b9\u03ba\u03cc \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 (c-BN) \u03ad\u03c7\u03b5\u03b9 \u03b4\u03bf\u03bc\u03ae \u03c0\u03bf\u03c5 \u03bc\u03bf\u03b9\u03ac\u03b6\u03b5\u03b9 \u03bc\u03b5 \u03b4\u03b9\u03b1\u03bc\u03ac\u03bd\u03c4\u03b9 \u03bc\u03b5 \u03b4\u03b5\u03c3\u03bc\u03bf\u03cd\u03c2 sp\u00b3 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c0\u03b1\u03c1\u03bf\u03c5\u03c3\u03b9\u03ac\u03b6\u03b5\u03b9 \u03b5\u03be\u03b1\u03b9\u03c1\u03b5\u03c4\u03b9\u03ba\u03ae \u03c3\u03ba\u03bb\u03b7\u03c1\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 (4.500 kp\/mm\u00b2), \u03b4\u03b5\u03cd\u03c4\u03b5\u03c1\u03b7 \u03bc\u03cc\u03bd\u03bf \u03bc\u03b5\u03c4\u03ac \u03c4\u03bf \u03b4\u03b9\u03b1\u03bc\u03ac\u03bd\u03c4\u03b9. \u0395\u03bd\u03ce \u03c4\u03bf c-BN \u03b1\u03c0\u03b1\u03b9\u03c4\u03b5\u03af \u03c3\u03cd\u03bd\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7 \u03c3\u03b5 \u03c5\u03c8\u03b7\u03bb\u03ae \u03c0\u03af\u03b5\u03c3\u03b7 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b1, \u03c4\u03bf h-BN \u03bc\u03c0\u03bf\u03c1\u03b5\u03af \u03bd\u03b1 \u03b5\u03bd\u03b1\u03c0\u03bf\u03c4\u03b5\u03b8\u03b5\u03af \u03c3\u03b5 \u03c7\u03b1\u03bc\u03b7\u03bb\u03cc\u03c4\u03b5\u03c1\u03b5\u03c2 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b5\u03c2. \u039a\u03ac\u03b8\u03b5 \u03bc\u03bf\u03c1\u03c6\u03ae \u03b5\u03be\u03c5\u03c0\u03b7\u03c1\u03b5\u03c4\u03b5\u03af \u03b4\u03b9\u03b1\u03c6\u03bf\u03c1\u03b5\u03c4\u03b9\u03ba\u03ad\u03c2 \u03b5\u03c6\u03b1\u03c1\u03bc\u03bf\u03b3\u03ad\u03c2: \u03c4\u03bf h-BN \u03c5\u03c0\u03b5\u03c1\u03ad\u03c7\u03b5\u03b9 \u03c3\u03c4\u03b7\u03bd \u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03bf\u03bd\u03b9\u03ba\u03ae \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c4\u03b7 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03b4\u03b9\u03b1\u03c7\u03b5\u03af\u03c1\u03b9\u03c3\u03b7, \u03b5\u03bd\u03ce \u03c4\u03bf c-BN \u03c0\u03c1\u03bf\u03c4\u03b9\u03bc\u03ac\u03c4\u03b1\u03b9 \u03b3\u03b9\u03b1 \u03ba\u03bf\u03c0\u03c4\u03b9\u03ba\u03ac \u03b5\u03c1\u03b3\u03b1\u03bb\u03b5\u03af\u03b1 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03bb\u03b5\u03b9\u03b1\u03bd\u03c4\u03b9\u03ba\u03ac.<\/p>\n<p><strong>Q3. \u03a0\u03bf\u03b9\u03b5\u03c2 \u03b5\u03af\u03bd\u03b1\u03b9 \u03bf\u03b9 \u03ba\u03cd\u03c1\u03b9\u03b5\u03c2 \u03bc\u03ad\u03b8\u03bf\u03b4\u03bf\u03b9 \u03c3\u03cd\u03bd\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7\u03c2 \u03c5\u03bc\u03b5\u03bd\u03af\u03c9\u03bd \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03bf\u03cd \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03b9\u03b4\u03af\u03bf\u03c5 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5;<\/strong> \u039f\u03b9 \u03ba\u03cd\u03c1\u03b9\u03b5\u03c2 \u03bc\u03ad\u03b8\u03bf\u03b4\u03bf\u03b9 \u03c3\u03cd\u03bd\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7\u03c2 \u03c0\u03b5\u03c1\u03b9\u03bb\u03b1\u03bc\u03b2\u03ac\u03bd\u03bf\u03c5\u03bd \u03c4\u03b7 \u03c7\u03b7\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03b5\u03bd\u03b1\u03c0\u03cc\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7 \u03b1\u03c4\u03bc\u03ce\u03bd (CVD) \u03c3\u03b5 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b5\u03c2 \u03ba\u03bf\u03bd\u03c4\u03ac \u03c3\u03c4\u03bf\u03c5\u03c2 1.000\u00b0C \u03bc\u03b5 \u03c7\u03c1\u03ae\u03c3\u03b7 \u03c0\u03c1\u03cc\u03b4\u03c1\u03bf\u03bc\u03c9\u03bd \u03bf\u03c5\u03c3\u03b9\u03ce\u03bd \u03cc\u03c0\u03c9\u03c2 \u03b7 \u03b2\u03bf\u03c1\u03b1\u03b6\u03af\u03bd\u03b7 \u03ae \u03c4\u03bf \u03b1\u03bc\u03bc\u03c9\u03bd\u03b9\u03bf\u03b2\u03bf\u03c1\u03ac\u03bd\u03b9\u03bf, \u03c4\u03b7\u03bd \u03b5\u03bd\u03b1\u03c0\u03cc\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7 \u03b1\u03c4\u03bf\u03bc\u03b9\u03ba\u03ce\u03bd \u03c3\u03c4\u03c1\u03c9\u03bc\u03ac\u03c4\u03c9\u03bd (ALD) \u03c0\u03bf\u03c5 \u03c0\u03c1\u03bf\u03c3\u03c6\u03ad\u03c1\u03b5\u03b9 \u03ad\u03bb\u03b5\u03b3\u03c7\u03bf \u03c4\u03bf\u03c5 \u03c0\u03ac\u03c7\u03bf\u03c5\u03c2 \u03c3\u03b5 \u03b1\u03c4\u03bf\u03bc\u03b9\u03ba\u03ae \u03ba\u03bb\u03af\u03bc\u03b1\u03ba\u03b1 \u03c3\u03c4\u03bf\u03c5\u03c2 250-350\u00b0C, \u03c4\u03b7 \u03bc\u03b5\u03c4\u03b1\u03bb\u03bb\u03bf-\u03bf\u03c1\u03b3\u03b1\u03bd\u03b9\u03ba\u03ae CVD (MOCVD) \u03b3\u03b9\u03b1 \u03bf\u03bc\u03bf\u03b9\u03bf\u03bc\u03bf\u03c1\u03c6\u03af\u03b1 \u03c3\u03b5 \u03ba\u03bb\u03af\u03bc\u03b1\u03ba\u03b1 \u03b3\u03ba\u03bf\u03c6\u03c1\u03ad\u03c4\u03b1\u03c2 \u03bc\u03b5 \u03c7\u03c1\u03ae\u03c3\u03b7 \u03c4\u03c1\u03b9\u03b1\u03b9\u03b8\u03c5\u03bb\u03bf\u03b2\u03bf\u03c1\u03b1\u03bd\u03af\u03bf\u03c5 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b1\u03bc\u03bc\u03c9\u03bd\u03af\u03b1\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c4\u03b9\u03c2 \u03c4\u03b5\u03c7\u03bd\u03b9\u03ba\u03ad\u03c2 \u03c7\u03b1\u03bc\u03b7\u03bb\u03ae\u03c2 \u03b8\u03b5\u03c1\u03bc\u03bf\u03ba\u03c1\u03b1\u03c3\u03af\u03b1\u03c2 \u03bc\u03b5 \u03c0\u03bb\u03ac\u03c3\u03bc\u03b1 \u03c0\u03bf\u03c5 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c4\u03c1\u03ad\u03c0\u03bf\u03c5\u03bd \u03c4\u03b7\u03bd \u03b5\u03bd\u03b1\u03c0\u03cc\u03b8\u03b5\u03c3\u03b7 \u03c3\u03c4\u03bf\u03c5\u03c2 400-500\u00b0C. \u039a\u03ac\u03b8\u03b5 \u03bc\u03ad\u03b8\u03bf\u03b4\u03bf\u03c2 \u03c0\u03c1\u03bf\u03c3\u03c6\u03ad\u03c1\u03b5\u03b9 \u03b4\u03b9\u03b1\u03ba\u03c1\u03b9\u03c4\u03ac \u03c0\u03bb\u03b5\u03bf\u03bd\u03b5\u03ba\u03c4\u03ae\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 \u03b3\u03b9\u03b1 \u03c3\u03c5\u03b3\u03ba\u03b5\u03ba\u03c1\u03b9\u03bc\u03ad\u03bd\u03b5\u03c2 \u03b5\u03c6\u03b1\u03c1\u03bc\u03bf\u03b3\u03ad\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c3\u03c5\u03bc\u03b2\u03b1\u03c4\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 \u03c5\u03c0\u03bf\u03c3\u03c4\u03c1\u03ce\u03bc\u03b1\u03c4\u03bf\u03c2.<\/p>\n<p><strong>Q4. \u0393\u03b9\u03b1\u03c4\u03af \u03c4\u03bf \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03cc \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03c7\u03c1\u03b7\u03c3\u03b9\u03bc\u03bf\u03c0\u03bf\u03b9\u03b5\u03af\u03c4\u03b1\u03b9 \u03c9\u03c2 \u03c5\u03c0\u03cc\u03c3\u03c4\u03c1\u03c9\u03bc\u03b1 \u03b3\u03b9\u03b1 \u03b4\u03b9\u03b1\u03c4\u03ac\u03be\u03b5\u03b9\u03c2 \u03b3\u03c1\u03b1\u03c6\u03b5\u03bd\u03af\u03bf\u03c5;<\/strong> \u03a4\u03bf \u03ba\u03b5\u03c1\u03b1\u03bc\u03b9\u03ba\u03cc \u03ba\u03b5\u03c1\u03b1\u03bc\u03b9\u03ba\u03cc \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03b9\u03b4\u03af\u03bf\u03c5 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03bf\u03cd \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03c0\u03b1\u03c1\u03ad\u03c7\u03b5\u03b9 \u03bc\u03b9\u03b1 \u03b1\u03c4\u03bf\u03bc\u03b9\u03ba\u03ac \u03bb\u03b5\u03af\u03b1, \u03c7\u03b7\u03bc\u03b9\u03ba\u03ac \u03b1\u03b4\u03c1\u03b1\u03bd\u03ae \u03b5\u03c0\u03b9\u03c6\u03ac\u03bd\u03b5\u03b9\u03b1 \u03c0\u03bf\u03c5 \u03b2\u03b5\u03bb\u03c4\u03b9\u03ce\u03bd\u03b5\u03b9 \u03b4\u03c1\u03b1\u03bc\u03b1\u03c4\u03b9\u03ba\u03ac \u03c4\u03b7\u03bd \u03b1\u03c0\u03cc\u03b4\u03bf\u03c3\u03b7 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b3\u03c1\u03b1\u03c6\u03b5\u03bd\u03af\u03bf\u03c5. \u038c\u03c4\u03b1\u03bd \u03c4\u03bf \u03b3\u03c1\u03b1\u03c6\u03ad\u03bd\u03b9\u03bf \u03c4\u03bf\u03c0\u03bf\u03b8\u03b5\u03c4\u03b5\u03af\u03c4\u03b1\u03b9 \u03c3\u03b5 \u03c5\u03c0\u03bf\u03c3\u03c4\u03c1\u03ce\u03bc\u03b1\u03c4\u03b1 h-BN \u03b1\u03bd\u03c4\u03af \u03c4\u03bf\u03c5 \u03c0\u03b1\u03c1\u03b1\u03b4\u03bf\u03c3\u03b9\u03b1\u03ba\u03bf\u03cd \u03b4\u03b9\u03bf\u03be\u03b5\u03b9\u03b4\u03af\u03bf\u03c5 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03c0\u03c5\u03c1\u03b9\u03c4\u03af\u03bf\u03c5, \u03b7 \u03ba\u03b9\u03bd\u03b7\u03c4\u03b9\u03ba\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1 \u03c4\u03c9\u03bd \u03c6\u03bf\u03c1\u03ad\u03c9\u03bd \u03b1\u03c5\u03be\u03ac\u03bd\u03b5\u03c4\u03b1\u03b9 \u03b1\u03c0\u03cc 5.000-10.000 cm\u00b2\/V-s \u03c3\u03b5 20.000-60.000 cm\u00b2\/V-s. \u0397 \u03c0\u03bb\u03ae\u03c1\u03b7\u03c2 \u03b5\u03bd\u03b8\u03c5\u03bb\u03ac\u03ba\u03c9\u03c3\u03b7 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b3\u03c1\u03b1\u03c6\u03b5\u03bd\u03af\u03bf\u03c5 \u03bc\u03b5\u03c4\u03b1\u03be\u03cd \u03c3\u03c4\u03c1\u03c9\u03bc\u03ac\u03c4\u03c9\u03bd h-BN \u03bc\u03b5\u03b9\u03ce\u03bd\u03b5\u03b9 \u03c0\u03b5\u03c1\u03b1\u03b9\u03c4\u03ad\u03c1\u03c9 \u03c4\u03b7 \u03b4\u03b9\u03b1\u03c3\u03c0\u03bf\u03c1\u03ac \u03c0\u03c1\u03bf\u03c3\u03bc\u03af\u03be\u03b5\u03c9\u03bd \u03ad\u03c9\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03ba\u03b1\u03c4\u03ac \u03b4\u03cd\u03bf \u03c4\u03ac\u03be\u03b5\u03b9\u03c2 \u03bc\u03b5\u03b3\u03ad\u03b8\u03bf\u03c5\u03c2, \u03bc\u03b5 \u03b1\u03c0\u03bf\u03c4\u03ad\u03bb\u03b5\u03c3\u03bc\u03b1 \u03ba\u03b1\u03b8\u03b1\u03c1\u03cc\u03c4\u03b5\u03c1\u03b5\u03c2 \u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03bf\u03bd\u03b9\u03ba\u03ad\u03c2 \u03b9\u03b4\u03b9\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b5\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 \u03b2\u03b5\u03bb\u03c4\u03b9\u03c9\u03bc\u03ad\u03bd\u03b7 \u03b1\u03c0\u03cc\u03b4\u03bf\u03c3\u03b7 \u03c4\u03b7\u03c2 \u03b4\u03b9\u03ac\u03c4\u03b1\u03be\u03b7\u03c2.<\/p>\n<p><strong>Q5. \u03a0\u03bf\u03b9\u03b1 \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ae \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03ac \u03ba\u03b1\u03b9 \u03c4\u03ac\u03c3\u03b7 \u03b4\u03b9\u03ac\u03c3\u03c0\u03b1\u03c3\u03b7\u03c2 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c4\u03c5\u03b3\u03c7\u03ac\u03bd\u03b5\u03b9 \u03c4\u03bf \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03cc \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5;<\/strong> \u03a4\u03bf \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b5\u03be\u03b1\u03b3\u03c9\u03bd\u03b9\u03ba\u03bf\u03cd \u03b2\u03bf\u03c1\u03af\u03bf\u03c5 \u03c0\u03b1\u03c1\u03bf\u03c5\u03c3\u03b9\u03ac\u03b6\u03b5\u03b9 \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ae \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03ac \u03c0\u03bf\u03c5 \u03ba\u03c5\u03bc\u03b1\u03af\u03bd\u03b5\u03c4\u03b1\u03b9 \u03b1\u03c0\u03cc 4,0 \u03ad\u03c9\u03c2 4,4, \u03b7 \u03bf\u03c0\u03bf\u03af\u03b1 \u03b5\u03af\u03bd\u03b1\u03b9 \u03c7\u03b1\u03bc\u03b7\u03bb\u03cc\u03c4\u03b5\u03c1\u03b7 \u03b1\u03c0\u03cc \u03c4\u03bf \u03bd\u03b9\u03c4\u03c1\u03af\u03b4\u03b9\u03bf \u03c4\u03bf\u03c5 \u03c0\u03c5\u03c1\u03b9\u03c4\u03af\u03bf\u03c5 (8,0-10), \u03b3\u03b5\u03b3\u03bf\u03bd\u03cc\u03c2 \u03c0\u03bf\u03c5 \u03c4\u03bf \u03ba\u03b1\u03b8\u03b9\u03c3\u03c4\u03ac \u03c0\u03bb\u03b5\u03bf\u03bd\u03b5\u03ba\u03c4\u03b9\u03ba\u03cc \u03b3\u03b9\u03b1 \u03c4\u03b7 \u03bc\u03b5\u03af\u03c9\u03c3\u03b7 \u03c4\u03b7\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b8\u03c5\u03c3\u03c4\u03ad\u03c1\u03b7\u03c3\u03b7\u03c2 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03c3\u03ae\u03bc\u03b1\u03c4\u03bf\u03c2 \u03c3\u03b5 \u03b5\u03c6\u03b1\u03c1\u03bc\u03bf\u03b3\u03ad\u03c2 \u03c5\u03c8\u03b7\u03bb\u03ae\u03c2 \u03c3\u03c5\u03c7\u03bd\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b1\u03c2. \u0397 \u03c4\u03ac\u03c3\u03b7 \u03b4\u03b9\u03ac\u03c3\u03c0\u03b1\u03c3\u03b7\u03c2 \u03b5\u03af\u03bd\u03b1\u03b9 \u03b5\u03bd\u03c4\u03c5\u03c0\u03c9\u03c3\u03b9\u03b1\u03ba\u03ae, \u03bc\u03b5 \u03c4\u03b1 \u03bb\u03b5\u03c0\u03c4\u03ac \u03c5\u03bc\u03ad\u03bd\u03b9\u03b1 \u03bd\u03b1 \u03b5\u03c0\u03b9\u03c4\u03c5\u03b3\u03c7\u03ac\u03bd\u03bf\u03c5\u03bd \u03c0\u03b5\u03b4\u03af\u03b1 \u03b4\u03b9\u03ac\u03c3\u03c0\u03b1\u03c3\u03b7\u03c2 15-21 MV\/cm \u03b1\u03bd\u03ac\u03bb\u03bf\u03b3\u03b1 \u03bc\u03b5 \u03c4\u03bf \u03c0\u03ac\u03c7\u03bf\u03c2. \u03a4\u03b1 \u03ac\u03bc\u03bf\u03c1\u03c6\u03b1 \u03c5\u03bc\u03ad\u03bd\u03b9\u03b1 BN \u03bc\u03c0\u03bf\u03c1\u03bf\u03cd\u03bd \u03bd\u03b1 \u03c6\u03c4\u03ac\u03c3\u03bf\u03c5\u03bd \u03c3\u03b5 \u03b5\u03be\u03b1\u03b9\u03c1\u03b5\u03c4\u03b9\u03ba\u03ac \u03c7\u03b1\u03bc\u03b7\u03bb\u03ad\u03c2 \u03b4\u03b9\u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ad\u03c2 \u03c3\u03c4\u03b1\u03b8\u03b5\u03c1\u03ad\u03c2 \u03ad\u03c9\u03c2 \u03ba\u03b1\u03b9 1,78, \u03b4\u03b9\u03b1\u03c4\u03b7\u03c1\u03ce\u03bd\u03c4\u03b1\u03c2 \u03c0\u03b1\u03c1\u03ac\u03bb\u03bb\u03b7\u03bb\u03b1 \u03ad\u03bd\u03c4\u03b1\u03c3\u03b7 \u03b4\u03b9\u03ac\u03c3\u03c0\u03b1\u03c3\u03b7\u03c2 7,3 MV\/cm, \u03c0\u03bb\u03b7\u03c3\u03b9\u03ac\u03b6\u03bf\u03bd\u03c4\u03b1\u03c2 \u03c4\u03b9\u03c2 \u03b9\u03b4\u03b9\u03cc\u03c4\u03b7\u03c4\u03b5\u03c2 \u03c4\u03bf\u03c5 \u03b1\u03ad\u03c1\u03b1, \u03b5\u03bd\u03ce \u03c0\u03b1\u03c1\u03ad\u03c7\u03bf\u03c5\u03bd \u03b9\u03c3\u03c7\u03c5\u03c1\u03ae \u03b7\u03bb\u03b5\u03ba\u03c4\u03c1\u03b9\u03ba\u03ae \u03bc\u03cc\u03bd\u03c9\u03c3\u03b7.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Hexagonal Boron Nitride: Properties and Applications in Modern Electronics Key Takeaways Hexagonal boron nitride emerges as a game-changing material that [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""}},"ngg_post_thumbnail":0,"footnotes":""},"categories":[4],"tags":[],"aioseo_notices":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/el\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/320"}],"collection":[{"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/el\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/el\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/el\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/el\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=320"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/el\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/320\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":321,"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/el\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/320\/revisions\/321"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/el\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=320"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/el\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=320"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/el\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=320"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}