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\u2022 \u512a\u308c\u305f\u71b1\u7ba1\u7406<\/strong>h-BN\u306f585W\/m-K\u3068\u3044\u3046\u5353\u8d8a\u3057\u305f\u9762\u5185\u71b1\u4f1d\u5c0e\u7387\u3092\u9054\u6210\u3057\u3001\u30cf\u30a4\u30d1\u30ef\u30fc3\u6b21\u5143\u96c6\u7a4d\u56de\u8def\u3084\u7a4d\u5c64\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u30fb\u30a2\u30fc\u30ad\u30c6\u30af\u30c1\u30e3\u306b\u304a\u3051\u308b\u52b9\u679c\u7684\u306a\u653e\u71b1\u3092\u53ef\u80fd\u306b\u3057\u307e\u3059\u3002.<\/p>\n \u2022 \u8d85\u4f4e\u8a98\u96fb\u6027\u80fd<\/strong>:\u30a2\u30e2\u30eb\u30d5\u30a1\u30b9BN\u30d5\u30a3\u30eb\u30e0\u306f\u3001\u8a98\u96fb\u7387\u304c1.78\u3068\u4f4e\u304f\u3001\u7a7a\u6c17\u306e\u7279\u6027\u306b\u8fd1\u3065\u304f\u3068\u540c\u6642\u306b\u30017.3MV\/cm\u306e\u7d76\u7e01\u7834\u58ca\u5f37\u5ea6\u3092\u7dad\u6301\u3057\u3001\u9ad8\u5ea6\u306a\u76f8\u4e92\u63a5\u7d9a\u30a2\u30d7\u30ea\u30b1\u30fc\u30b7\u30e7\u30f3\u306b\u5bfe\u5fdc\u3057\u307e\u3059\u3002.<\/p>\n \u2022 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\u5927\u9762\u7a4d\u306eh-BN\u5408\u6210\u3067\u306f\u3001\u4f9d\u7136\u3068\u3057\u3066CVD\u6cd5\u304c\u4e3b\u6d41\u3067\u3042\u308b\u3002\u3053\u306e\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3067\u306f\u3001Cu\u3084Ni\u306a\u3069\u306e\u89e6\u5a92\u91d1\u5c5e\u57fa\u677f\u4e0a\u306e\u5358\u4e00\u30bd\u30fc\u30b9\u524d\u99c6\u4f53\u3068\u3057\u3066\u3001\u30dc\u30e9\u30b8\u30f3\uff08B\u2083N\u2083H\u2086\uff09\u307e\u305f\u306f\u30a2\u30f3\u30e2\u30cb\u30a2\u30dc\u30e9\u30f3\uff08NH\u2083BH\u2083\uff09\u3092\u4f7f\u7528\u3059\u308b\u30021,000\u2103\u4ed8\u8fd1\u306e\u6e29\u5ea6\u3068250Torr\u4ee5\u4e0b\u306e\u5727\u529b\u3067\u306e\u4f4e\u5727CVD\u306b\u3088\u308a\u3001\u5236\u5fa1\u3055\u308c\u305f\u5c64\u6210\u9577\u304c\u53ef\u80fd\u306b\u306a\u308b\u3002Cu\u57fa\u677f\u306f\u3001\u30dc\u30e9\u30b8\u30f3\u5206\u5727\u304c17mTorr\u3092\u8d85\u3048\u308b\u3068\u3001\u6210\u9577\u6642\u9593\u3068\u3068\u3082\u306b\u76f4\u7dda\u7684\u306b\u539a\u3055\u304c\u5897\u52a0\u3059\u308b\u3002Si\u2083N\u2084\/Si \u57fa\u677f\u4e0a\u306e LPCVD \u6210\u9577\u3067\u306f\u3001\u4e0b\u5730\u8868\u9762\u3068\u6bd4\u8f03\u3057\u3066\u7c97\u3055\u304c 3.4 \u5206\u306e 1 \u306b\u4f4e\u6e1b\u3055\u308c\u305f h-BN \u819c\u304c\u9023\u7d9a\u7684\u306b\u5f62\u6210\u3055\u308c\u308b\u3002\u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u3001\u30b0\u30e9\u30d5\u30a7\u30f3\u306e\u79fb\u52d5\u5ea6\u306f1,200 cm\u00b2\/Vs\uff08\u88f8\u306eSi\u2083N_2084\u3067\u306f400 cm\u00b2\/Vs\uff09\u3068\u306a\u308b\u3002.<\/p>\n ALD\u306f\u3001\u9010\u6b21\u7684\u306a\u524d\u99c6\u4f53\u9732\u5149\u3092\u901a\u3058\u3066\u539f\u5b50\u30b9\u30b1\u30fc\u30eb\u306e\u539a\u3055\u5236\u5fa1\u3092\u63d0\u4f9b\u3059\u308b\u3002\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u30a8\u30f3\u30cf\u30f3\u30b9\u30c8ALD\u306f\u3001\u30c8\u30ea\u30a8\u30c1\u30eb\u30dc\u30ec\u30fc\u30c8\u3068N\u2082\/H\u2082\u30d7\u30e9\u30ba\u30de\u3092\u4f7f\u7528\u3057\u3066\u3001250\uff5e350\u2103\u3067h-BN\u30921.1\u00c5\/\u30b5\u30a4\u30af\u30eb\u306e\u6210\u9577\u901f\u5ea6\u3067\u5806\u7a4d\u3055\u305b\u308b\u3002ALD\u6e29\u5ea6\u30a6\u30a3\u30f3\u30c9\u30a6\u306f\u3001NH\u2083\u53cd\u5fdc\u7269\u3092\u7528\u3044\u305fBCl3\u307e\u305f\u306fTDMAB\u524d\u99c6\u4f53\u306e\u5834\u5408\u300180\uff5e175\u2103\u306b\u53ca\u3076\u3002\u96fb\u5b50\u7dda\u5897\u5f37ALD\u306f\u3001\u30dc\u30e9\u30b8\u30f3\u3068\u96fb\u5b50\u7dda\u7167\u5c04\u3092\u4f7f\u7528\u3057\u3066\u5ba4\u6e29\u6210\u819c\u3092\u9054\u6210\u3057\u300180\uff5e160eV\u306e\u96fb\u5b50\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u30673.2\u00c5\/\u30b5\u30a4\u30af\u30eb\u306e\u6700\u5927\u6210\u9577\u7387\u3092\u793a\u3057\u305f\u3002.<\/p>\n MOCVD\u3067\u306f\u3001\u30c8\u30ea\u30a8\u30c1\u30eb\u30dc\u30e9\u30f3\uff08TEB\uff09\u3068NH\u2083\u524d\u99c6\u4f53\u3092\u7528\u3044\u308b\u3053\u3068\u3067\u3001\u30a6\u30a7\u30fc\u30cf\u30b9\u30b1\u30fc\u30eb\u306e\u5747\u4e00\u6027\u304c\u53ef\u80fd\u306b\u306a\u308b\u30021,000\u2103\u306e\u30d1\u30eb\u30b9\u30e2\u30fc\u30c9MOCVD\u306f\u300145nm\u30d4\u30c3\u30c1\u3001\u30a2\u30b9\u30da\u30af\u30c8\u6bd47:1\u306eSi\u30d9\u30fc\u30b9\u306e\u30ca\u30ce\u30c8\u30ec\u30f3\u30c1\u4e0a\u306b\u30b3\u30f3\u30d5\u30a9\u30fc\u30de\u30eb\u6210\u9577\u3092\u9054\u6210\u3057\u305f\u3002\u9069\u5207\u306aTEB\u30d5\u30ed\u30fc\u7ba1\u7406\u306b\u3088\u308a\u3001\u6210\u9577\u901f\u5ea6\u306f70nm\/\u5206\u306b\u9054\u3059\u308b\u3002\u3053\u306e\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3067\u306f\u3001\u9ad8\u30a2\u30f3\u30e2\u30cb\u30a2\u3001\u9ad8\u5727\u6761\u4ef6\u306e\u305f\u3081\u306b950\u2103\u4ee5\u4e0a\u306e\u6e29\u5ea6\u304c\u5fc5\u8981\u306a\u3060\u3051\u3067\u3042\u308b\u3002.<\/p>\n \u8a98\u5c0e\u7d50\u5408\u30d7\u30e9\u30ba\u30deCVD\u306f\u3001\u30dc\u30e9\u30b8\u30f3\u3092\u7528\u3044\u3066400\uff5e500\u2103\u3067\u77f3\u82f1\u3068Si\u4e0a\u306b\u591a\u5c64h-BN\u3092\u5408\u6210\u3059\u308b\u3002\u6700\u9069\u6761\u4ef6\u306b\u306f\u3001500\u2103\u306e\u57fa\u677f\u6e29\u5ea6\u3068\u3001H\u2082\/N\u2082\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u30ac\u30b9\u3092\u7d44\u307f\u5408\u308f\u305b\u305f180W\u306eRF\u30d1\u30ef\u30fc\u304c\u542b\u307e\u308c\u308b\u3002\u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u3001\u539a\u305550nm\u3092\u8d85\u3048\u308b\u819c\u304c\u5f97\u3089\u308c\u308b\u3002.<\/p>\n Cu\u3084Ni\u306e\u3088\u3046\u306a\u91d1\u5c5e\u57fa\u677f\u306f\u3001\u6c5a\u67d3\u3084\u6a5f\u68b0\u7684\u640d\u50b7\u3092\u3082\u305f\u3089\u3059\u6210\u9577\u5f8c\u306e\u8ee2\u5199\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u304c\u5fc5\u8981\u306a\u3060\u3051\u3067\u3059\u3002SiO\u2082\u3084\u30b5\u30d5\u30a1\u30a4\u30a2\u306e\u3088\u3046\u306a\u7121\u89e6\u5a92\u57fa\u677f\u306f\u3001\u30a8\u30cd\u30eb\u30ae\u30fc\u969c\u58c1\u3092\u514b\u670d\u3059\u308b\u305f\u3081\u306b900\u2103\u4ee5\u4e0a\u306e\u6e29\u5ea6\u3092\u5fc5\u8981\u3068\u3059\u308b\u3002Si\u2083N\u2084\u4e0a\u306e\u30a8\u30d4\u30bf\u30ad\u30b7\u30e3\u30eb\u6210\u9577\u3067\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u30d7\u30ed\u30bb\u30b9\u3068\u306e\u4e92\u63db\u6027\u3092\u7dad\u6301\u3057\u306a\u304c\u3089\u3001\u8ee2\u5199\u5de5\u7a0b\u304c\u4e0d\u8981\u306b\u306a\u308a\u307e\u3059\u3002.<\/p>\n \u8aac\u660e\u3057\u305f\u5408\u6210\u80fd\u529b\u306b\u3088\u308a\u3001\u516d\u65b9\u6676\u7a92\u5316\u30db\u30a6\u7d20\u306f\u73fe\u4ee3\u306e\u534a\u5c0e\u4f53\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306b\u304a\u3051\u308b\u91cd\u8981\u306a\u8ab2\u984c\u306b\u5bfe\u51e6\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u308b\u3002.<\/p>\n \u539a\u30553nm\u306e\u30a2\u30e2\u30eb\u30d5\u30a1\u30b9\u7a92\u5316\u30db\u30a6\u7d20\u819c\u306f\u3001100kHz\u30671.78\u30011MHz\u30671.16\u3068\u3044\u3046\u8d85\u4f4e\u8a98\u96fb\u7387\u3092\u9054\u6210\u3057\u305f\u3002\u3053\u306e\u5024\u306f\u30017.3MV\/cm\u306e\u7d76\u7e01\u7834\u58ca\u5f37\u5ea6\u3092\u7dad\u6301\u3057\u306a\u304c\u3089\u3001\u7a7a\u6c17\u306e\u8a98\u96fb\u7387\u306b\u8feb\u308b\u3082\u306e\u3067\u3059\u3002\u3064\u307e\u308aa-BN\u306f\u3001\u904e\u9177\u306a\u6761\u4ef6\u4e0b\u3067\u306e\u30b7\u30ea\u30b3\u30f3\u3078\u306e\u9285\u306e\u62e1\u6563\u3092\u9632\u304e\u3001\u4fdd\u8b77\u3055\u308c\u3066\u3044\u306a\u3044\u69cb\u9020\u306b\u6bd4\u3079\u3066\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u5bff\u547d\u30923\u6841\u5ef6\u3070\u3059\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u308b\u3002\u5782\u76f4\u65b9\u5411\u306b\u30c6\u30af\u30b9\u30c1\u30e3\u30fc\u52a0\u5de5\u3055\u308c\u305f\u30b9\u30d1\u30c3\u30bf\u30ea\u30f3\u30b0h-BN\u306f\u3001400\u2103\u4ee5\u4e0b\u306e\u6210\u819c\u6e29\u5ea6\u306757W\/m*K\u306e\u9762\u8cab\u901a\u71b1\u4f1d\u5c0e\u7387\u3092\u793a\u3059\u3002\u3053\u308c\u306b\u3088\u308a\u30013\u6b21\u5143\u96c6\u7a4d\u56de\u8def\u306b\u304a\u3051\u308b9\u3064\u306e\u30cf\u30a4\u30d1\u30ef\u30fc\u5c64\u3078\u306e\u4fe1\u983c\u6027\u306e\u9ad8\u3044\u30b9\u30b1\u30fc\u30ea\u30f3\u30b0\u304c\u53ef\u80fd\u306b\u306a\u308b\u3002.<\/p>\n \u516d\u65b9\u6676BN\u306f\u3001\u30b0\u30e9\u30d5\u30a7\u30f3\u306e\u30ad\u30e3\u30ea\u30a2\u79fb\u52d5\u5ea6\u3092SiO\u2082\u4e0a\u306e5,000\uff5e10,000cm\u00b2\/V\u30fbs\u304b\u308920,000\uff5e60,000cm\u00b2\/V\u30fbs\u306b\u9ad8\u3081\u308b\u6ed1\u3089\u304b\u306a\u8868\u9762\u3092\u63d0\u4f9b\u3059\u308b\u3002\u5b8c\u5168\u30ab\u30d7\u30bb\u30eb\u5316\u306b\u3088\u308a\u3001\u4f4e\u6e29\u3067\u306e\u4e0d\u7d14\u7269\u6563\u4e71\u3092\u6700\u59272\u6841\u4f4e\u6e1b\u3002.<\/p>\n \u6570\u5c64\u306eh-BN\u306f10MV\/cm\u3092\u8d85\u3048\u308b\u7d76\u7e01\u7834\u58ca\u96fb\u754c\u3092\u793a\u3057\u3001\u30ea\u30fc\u30af\u96fb\u6d41\u306f10-\u2078\uff5e10-\u00b9\u2070 A\/cm\u00b2\u3067\u3042\u308b\u3002\u767d\u91d1\/hBN\u30b2\u30fc\u30c8\u30b9\u30bf\u30c3\u30af\u306f\u3001\u91d1\u30d9\u30fc\u30b9\u306e\u69cb\u6210\u3088\u308a\u3082500\u500d\u4f4e\u3044\u30ea\u30fc\u30af\u3092\u793a\u3057\u3001\u5c11\u306a\u304f\u3068\u308225MV\/cm\u306e\u7d76\u7e01\u8010\u5727\u3092\u9054\u6210\u3059\u308b\u3002.<\/p>\n SiGe\u30ca\u30ce\u30ef\u30a4\u30e4\u30fc\u4e0a\u306ehBN\u306f\u3001\u5149\u52b1\u8d77\u4e0b\u3067\u52d5\u4f5c\u6e29\u5ea6\u3092500K\u4f4e\u4e0b\u3055\u305b\u308b\u3002.<\/p>\n \u6b63\u78ba\u306a\u7279\u6027\u8a55\u4fa1\u6cd5\u306f\u3001\u516d\u65b9\u6676\u7a92\u5316\u30db\u30a6\u7d20\u304c\u96fb\u5b50\u96c6\u7a4d\u5316\u306e\u53b3\u3057\u3044\u8981\u4ef6\u3092\u6e80\u305f\u3059\u304b\u3069\u3046\u304b\u3092\u6c7a\u5b9a\u3059\u308b\u3002.<\/p>\n \u91d1\u5c5e-\u7d76\u7e01\u4f53-\u91d1\u5c5e\u30b3\u30f3\u30c7\u30f3\u30b5\u69cb\u9020\u306f\u3001\u9759\u96fb\u5bb9\u91cf-\u96fb\u5727\u6e2c\u5b9a\u306b\u3088\u308b\u8a98\u96fb\u7387\u306e\u76f4\u63a5\u62bd\u51fa\u3092\u53ef\u80fd\u306b\u3059\u308b\u3002\u9762\u5916\u8a98\u96fb\u7387\u306f3.4\u00b10.2\u306b\u7e2e\u5c0f\u3002\u30e9\u30f3\u30d7\u96fb\u5727\u30b9\u30c8\u30ec\u30b9\u8a66\u9a13\u3067\u7d76\u7e01\u7834\u58ca\u6319\u52d5\u3092\u6e2c\u5b9a\u3002\u8584\u3044\u30ca\u30ce\u30b7\u30fc\u30c8\u306f\u6a5f\u68b0\u7684\u5fdc\u529b\u30bc\u30ed\u306715.7MV\/cm\u306e\u7d76\u7e01\u7834\u58ca\u96fb\u754c\u3092\u9054\u6210\u3057\u30013nm\u30d5\u30a3\u30eb\u30e0\u306f21MV\/cm\u306b\u9054\u3057\u305f\u3002\u539a\u3055\u306f\u8a98\u96fb\u5f37\u5ea6\u306b\u5927\u304d\u304f\u5f71\u97ff\u3059\u308b\u30024.6 nm\u306e\u30b5\u30f3\u30d7\u30eb\u306f15.1 MV\/cm\u306eE63.2%\u3092\u793a\u3057\u300141.3 nm\u306e\u30d5\u30a3\u30eb\u30e0\u3067\u306f10.4 MV\/cm\u306b\u6e1b\u5c11\u3057\u305f\u3002.<\/p>\n \u53ef\u5909\u30b9\u30dd\u30c3\u30c8\u30b5\u30a4\u30ba\u306b\u3088\u308b\u6642\u9593\u9818\u57df\u71b1\u53cd\u5c04\u7387\u3067\u306f\u3001\u71b1\u6d78\u900f\u6df1\u3055\u306b\u5bfe\u3057\u3066\u30ec\u30fc\u30b6\u30fc\u30b9\u30dd\u30c3\u30c8\u5bf8\u6cd5\u3092\u8abf\u6574\u3059\u308b\u3053\u3068\u306b\u3088\u308a\u3001\u9762\u5185\u304a\u3088\u3073\u9762\u8cab\u901a\u5c0e\u96fb\u7387\u3092\u540c\u6642\u306b\u6e2c\u5b9a\u3059\u308b\u3002\u5149\u71b1\u30e9\u30de\u30f3\u5206\u5149\u6cd5\u306f\u3001\u6e29\u5ea6\u306b\u4f9d\u5b58\u3059\u308b\u30d4\u30fc\u30af\u30b7\u30d5\u30c8\u3092\u8ffd\u8de1\u3057\u3001\u71b1\u8f38\u9001\u7279\u6027\u3092\u62bd\u51fa\u3059\u308b\u3002.<\/p>\n \u5e02\u8ca9\u3055\u308c\u3066\u3044\u308bCVD h-BN\u306f\u3001\u6a5f\u68b0\u7684\u5265\u96e2\u3067\u5f97\u3089\u308c\u308b\u6750\u6599\u3088\u308a\u3082\u30ea\u30fc\u30af\u96fb\u6d41\u3068\u96fb\u6c17\u7684\u5747\u8cea\u6027\u304c\u5927\u5e45\u306b\u60aa\u3044\u3002h-BN\u3068Ge\u57fa\u677f\u9593\u306e\u754c\u9762\u30c8\u30e9\u30c3\u30d7\u5bc6\u5ea6\u306f\u300110\u00b9\u00b9\uff5e10\u00b9\u00b2 cm-\u00b2 eV-\u00b9\u3067\u3059\u3002.<\/p>\n \u7a92\u5316\u30db\u30a6\u7d20\u306e\u8a98\u96fb\u7387\u306f\u7a92\u5316\u30b1\u30a4\u7d20\u306e8.0-10\u3092\u4e0a\u56de\u308a\u3001\u9ad8\u5468\u6ce2\u7528\u9014\u3067\u306e\u4fe1\u53f7\u9045\u5ef6\u3092\u4f4e\u6e1b\u3057\u307e\u3059\u3002\u7d76\u7e01\u7834\u58ca\u5f37\u5ea6\u306f61\uff5e200kV\/mm\u306b\u53ca\u3073\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u306f\u3001\u30a2\u30eb\u30df\u30ca\u306e8.9\uff5e12kV\/mm\u306b\u5927\u304d\u304f\u9045\u308c\u3092\u3068\u308b\u3053\u3068\u3092\u610f\u5473\u3057\u3001\u5927\u304d\u306a\u554f\u984c\u3067\u3059\u3002.<\/p>\n \u516d\u65b9\u6676\u7a92\u5316\u30db\u30a6\u7d20\u306f\u3001\u305d\u306e\u5353\u8d8a\u3057\u305f\u71b1\u4f1d\u5c0e\u6027\u3001\u512a\u308c\u305f\u8a98\u96fb\u7279\u6027\u3001\u5316\u5b66\u7684\u5b89\u5b9a\u6027\u306b\u3088\u308a\u3001\u6b21\u4e16\u4ee3\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u306b\u4e0d\u53ef\u6b20\u306a\u6750\u6599\u3067\u3042\u308b\u3053\u3068\u304c\u8a3c\u660e\u3055\u308c\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u5408\u6210\u6280\u8853\u306e\u9032\u6b69\u306b\u3088\u308a\u5927\u91cf\u751f\u7523\u304c\u53ef\u80fd\u306b\u306a\u308a\u3001\u8d85\u4f4e\u8a98\u96fb\u7387\u914d\u7dda\u3001\u30b2\u30fc\u30c8\u7d76\u7e01\u819c\u3001\u71b1\u7ba1\u7406\u30b7\u30b9\u30c6\u30e0\u3078\u306e\u7d71\u5408\u304c\u53ef\u80fd\u306b\u306a\u308a\u307e\u3057\u305f\u3002\u3053\u306e\u6750\u6599\u306f\u3001\u91cd\u8981\u306a\u898f\u683c\u306b\u304a\u3044\u3066\u5f93\u6765\u306e\u8a98\u96fb\u4f53\u3092\u51cc\u99d5\u3057\u3066\u3044\u308b\u3002\u3053\u308c\u306b\u3088\u308ah-BN\u306f\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u306e\u6280\u8853\u9769\u65b0\u3092\u6700\u9069\u5316\u3057\u3001\u73fe\u4ee3\u306e\u30de\u30a4\u30af\u30ed\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u53b3\u3057\u3044\u8981\u6c42\u306b\u5bfe\u5fdc\u3059\u308b\u751f\u547d\u7dda\u6280\u8853\u3068\u3057\u3066\u4f4d\u7f6e\u3065\u3051\u3089\u308c\u308b\u3002.<\/p>\n Q1.\u516d\u65b9\u6676\u7a92\u5316\u30db\u30a6\u7d20\u304c\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u7528\u9014\u306b\u9069\u3057\u3066\u3044\u308b\u7406\u7531\u306f\u4f55\u3067\u3059\u304b\uff1f<\/strong> \u516d\u65b9\u6676\u7a92\u5316\u30db\u30a6\u7d20\u306f\u3001\u9ad8\u3044\u71b1\u4f1d\u5c0e\u6027\uff08\u9762\u5185\u3067\u6700\u5927585 W m-\u00b9 K-\u00b9\uff09\u3001\u7d046 eV\u306e\u5e83\u3044\u30d0\u30f3\u30c9\u30ae\u30e3\u30c3\u30d7\u306b\u3088\u308b\u512a\u308c\u305f\u96fb\u6c17\u7d76\u7e01\u6027\u3001\u9ad8\u6e29\u4e0b\u3067\u306e\u5353\u8d8a\u3057\u305f\u5316\u5b66\u7684\u30fb\u71b1\u7684\u5b89\u5b9a\u6027\u3001\u4f4e\u3044\u8a98\u96fb\u7387\u306a\u3069\u3001\u73fe\u4ee3\u306e\u30a8\u30ec\u30af\u30c8\u30ed\u30cb\u30af\u30b9\u306b\u7406\u60f3\u7684\u306a\u3044\u304f\u3064\u304b\u306e\u91cd\u8981\u306a\u7279\u6027\u3092\u517c\u306d\u5099\u3048\u3066\u3044\u307e\u3059\u3002\u3053\u308c\u3089\u306e\u7279\u6027\u306b\u3088\u308a\u3001h-BN\u306f\u3001\u653e\u71b1\u3001\u4fe1\u53f7\u9045\u5ef6\u306e\u4f4e\u6e1b\u3001\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306e\u4fe1\u983c\u6027\u306a\u3069\u3001\u534a\u5c0e\u4f53\u30c7\u30d0\u30a4\u30b9\u306b\u304a\u3051\u308b\u91cd\u8981\u306a\u8ab2\u984c\u306b\u5bfe\u5fdc\u3059\u308b\u3053\u3068\u304c\u3067\u304d\u307e\u3059\u3002.<\/p>\n Q2.\u516d\u65b9\u6676\u7a92\u5316\u30db\u30a6\u7d20\u3068\u7acb\u65b9\u6676\u7a92\u5316\u30db\u30a6\u7d20\u306e\u6bd4\u8f03\u306f\uff1f<\/strong> \u516d\u65b9\u6676\u7a92\u5316\u30db\u30a6\u7d20\uff08h-BN\uff09\u306f\u3001sp\u00b2\u7d50\u5408\u3092\u6301\u3064\u5c64\u72b6\u30b0\u30e9\u30d5\u30a1\u30a4\u30c8\u69d8\u69cb\u9020\u3092\u7279\u5fb4\u3068\u3057\u3001\u5e38\u6e29\u6761\u4ef6\u4e0b\u3067\u6700\u3082\u5b89\u5b9a\u306a\u591a\u5f62\u4f53\u3067\u3042\u308b\u3002\u7acb\u65b9\u6676\u7a92\u5316\u30db\u30a6\u7d20\uff08c-BN\uff09\u306f\u3001sp\u00b3\u7d50\u5408\u3092\u6301\u3064\u30c0\u30a4\u30e4\u30e2\u30f3\u30c9\u306e\u3088\u3046\u306a\u69cb\u9020\u3092\u6301\u3061\u3001\u30c0\u30a4\u30e4\u30e2\u30f3\u30c9\u306b\u6b21\u3050\u975e\u5e38\u306b\u9ad8\u3044\u786c\u5ea6\uff084,500 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