\u0413\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u0441\u0442\u0430\u043d\u043e\u0432\u0438\u0442\u0441\u044f \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u044b\u043c \u0440\u0435\u0448\u0438\u0442\u044c \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0438 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u044e \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445, \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0438 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n
\u2022 \u041f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435<\/strong>\u0412 h-BN \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 - 585 \u0412\u0442\/\u043c-\u041a, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e \u043e\u0442\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e \u0432 \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 3D-\u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430\u0445 \u0438 \u0441\u0442\u0435\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n \u2022 \u0421\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0435 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438<\/strong>: \u0410\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 BN \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u044e\u0442 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0434\u043e 1,78, \u043f\u0440\u0438\u0431\u043b\u0438\u0436\u0430\u044f\u0441\u044c \u043a \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430 \u0438 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u044f \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u0439 7,3 \u041c\u0412\/\u0441\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/p>\n \u2022 \u0423\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 2D-\u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432<\/strong>\u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 h-BN \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0433\u0440\u0430\u0444\u0435\u043d\u0430 \u0441 5 000-10 000 \u0441\u043c\u00b2\/\u0412-\u0441 \u0434\u043e 20 000-60 000 \u0441\u043c\u00b2\/\u0412-\u0441, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u0442 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0438\u0442\u044c \u0440\u0435\u0432\u043e\u043b\u044e\u0446\u0438\u044e \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n \u2022 \u041c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430<\/strong>: \u041c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b CVD, ALD \u0438 MOCVD \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u044c \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0441 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0435\u043c \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u043d\u0430 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e\u043c \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u044e \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>\n \u2022 \u041f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u0430\u044f \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/strong>h-BN \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u0439\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043b\u044f \u0441\u0432\u044b\u0448\u0435 15 \u041c\u0412\/\u0441\u043c \u0438 \u0442\u043e\u043a\u0438 \u0443\u0442\u0435\u0447\u043a\u0438 \u043e\u0442 10-\u2078 \u0434\u043e 10-\u00b9\u2070 \u0410\/\u0441\u043c\u00b2, \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u044f \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0433\u043b\u0438\u043d\u043e\u0437\u0435\u043c.<\/p>\n \u0421\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0438 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0439 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430 \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0433\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u043a\u0440\u0430\u0435\u0443\u0433\u043e\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0435\u0442 \u0434\u0432\u0438\u0436\u0443\u0449\u0435\u0439 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0439 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0439 \u0432\u043e\u043b\u043d\u044b \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0439 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043e\u0441\u043e\u0431\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0441\u043e \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u041a.<\/p>\n \u0413\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u043a\u0438. \u042d\u0442\u043e \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0435 \u0442\u0443\u0433\u043e\u043f\u043b\u0430\u0432\u043a\u043e\u0435 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u0438 \u0430\u0437\u043e\u0442\u0430 \u043f\u043e \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0435 \u0441\u0445\u043e\u0436\u0435 \u0441 \u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0442\u043e\u043c. \u041f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043e\u043d \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e, \u0441 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u043d\u0435 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u044b. \u041a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u0441\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u0432 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0430\u0445, \u043f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u0433\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0432\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442 (h-BN) \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0441\u0440\u0435\u0434\u0438 \u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u043e\u0440\u0444\u043e\u0432. \u0426\u0435\u043d\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c h-BN \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0437\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0443\u043d\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432: \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u044f, \u0438\u0437\u043d\u043e\u0441\u043e- \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u043e\u0439\u043a\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043e\u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445. \u0412 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435 \u043c\u044b \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u0438\u043c \u0444\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0433\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u0431\u043e\u0440\u0430, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u0440\u0430\u0437\u0431\u0435\u0440\u0435\u043c\u0441\u044f \u0441 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430\u043c\u0438 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430 \u0438 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041c\u044b \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043e\u0431\u0441\u0443\u0434\u0438\u043c \u0435\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u044f\u044e\u0449\u0435\u0435\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445.<\/p>\n \u041d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0441\u043b\u043e\u0438\u0441\u0442\u043e\u0439 \u0433\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0435, \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u044f\u0449\u0435\u0439\u0441\u044f \u043a \u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0433\u0440\u0443\u043f\u043f\u0435 P6\u2083\/mmc. \u041a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0442 \u0430\u0442\u043e\u043c\u044b \u0431\u043e\u0440\u0430 \u0438 \u0430\u0437\u043e\u0442\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043a\u043e\u0432\u0430\u043b\u0435\u043d\u0442\u043d\u043e \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u044b \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0441\u043e\u0431\u043e\u0439 \u0432 sp\u00b2-\u0433\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044e\u0442 \u0441\u043e\u0442\u043e\u0432\u0443\u044e \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0443, \u0433\u0434\u0435 \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u0430\u0442\u043e\u043c \u0431\u043e\u0440\u0430 \u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441 \u0442\u0440\u0435\u043c\u044f \u0430\u0442\u043e\u043c\u0430\u043c\u0438 \u0430\u0437\u043e\u0442\u0430 \u0438 \u043d\u0430\u043e\u0431\u043e\u0440\u043e\u0442. \u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 a = 2,504 \u00c5 \u0438 c = 6,656 \u00c5, \u0430 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u0438\u0435 - 0,333 \u043d\u043c. \u0421\u043b\u0430\u0431\u044b\u0435 \u0432\u0430\u043d-\u0434\u0435\u0440-\u0432\u0430\u0430\u043b\u044c\u0441\u043e\u0432\u044b \u0441\u0438\u043b\u044b \u0443\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u044d\u0442\u0438 \u0441\u043b\u043e\u0438 \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0435 \u0438 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u043e\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435, \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0449\u0435\u0435 \u043c\u043d\u043e\u0433\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 h-BN. \u0420\u0430\u0437\u043d\u0438\u0446\u0430 \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043e\u0442\u0440\u0438\u0446\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0431\u043e\u0440\u043e\u043c (2,04) \u0438 \u0430\u0437\u043e\u0442\u043e\u043c (3,04) \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044e \u043f\u043e\u043b\u044f\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u0432\u0430\u043b\u0435\u043d\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0435\u0439, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u044e\u0442 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440. \u042d\u0442\u043e \u0443\u0441\u0438\u043b\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 \u0432 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/p>\n \u041a\u0443\u0431\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 \u0441\u0444\u0430\u043b\u0435\u0440\u0438\u0442\u0430 \u0441 \u0442\u0435\u0442\u0440\u0430\u044d\u0434\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0430\u043c\u0438 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u0438 \u0430\u0437\u043e\u0442\u0430 \u0432 \u0433\u0438\u0431\u0440\u0438\u0434\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 sp\u00b3. \u0412\u043f\u0435\u0440\u0432\u044b\u0435 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0432 1957 \u0433\u043e\u0434\u0443 \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b, c-BN \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u044c 4 500 \u043a\u043f\/\u043c\u043c\u00b2 \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 8 000 \u043a\u043f\/\u043c\u043c\u00b2 \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u0430. \u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u043d\u0435\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u0437\u043e\u043d\u0443 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u043e\u0442 5,4 \u0434\u043e 7,0 \u044d\u0412, \u0430 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u0430\u044f \u0440\u0435\u0448\u0435\u0442\u043a\u0438 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 3,615 \u00c5. c-BN \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u0435\u0442 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u043e 1 000\u00b0C, \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u043d\u0430\u0447\u0438\u043d\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435. \u042d\u0442\u043e \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0440\u043e\u0433 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u0430 \u0432 800\u00b0C.<\/p>\n \u0410\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u044b\u0439 BN \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0443. \u041f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043e 3 \u043d\u043c \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0443\u044e \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c 1,78 \u043f\u0440\u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0435 100 \u043a\u0413\u0446. \u0414\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043e\u0442\u043a\u043b\u0438\u043a \u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f \u043f\u0440\u0438 65, 150 \u0438 250 \u00b0C \u0434\u0430\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u03ba 8,6, 4,6 \u0438 4,3 \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e.<\/p>\n \u0413\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 BN \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e \u0432\u044b\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0430\u043d\u0438\u0437\u043e\u0442\u0440\u043e\u043f\u043d\u044b\u0439 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442. \u041c\u043e\u043d\u043e\u0438\u0437\u043e\u0442\u043e\u043f\u043d\u044b\u0435 \u00b9\u2070B \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u044b h-BN \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u044e\u0442 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 585 \u0412\u0442 \u043c-\u00b9 K-\u00b9 \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u043d\u0430 80% \u0432\u044b\u0448\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443 \u043f\u0440\u0438\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e h-BN. \u041c\u043e\u043d\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0439 BN \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442 751 \u0412\u0442\/\u043c\u041a \u0438 \u0437\u0430\u043d\u0438\u043c\u0430\u0435\u0442 \u0432\u0442\u043e\u0440\u043e\u0435 \u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u043f\u043e \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0430 \u0435\u0434\u0438\u043d\u0438\u0446\u0443 \u0432\u0435\u0441\u0430 \u0441\u0440\u0435\u0434\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0438 \u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432. \u0412\u043d\u0435\u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043d\u0438\u0436\u0435 - 3,5 \u00b1 0,8 \u0412\u0442 \u043c-\u00b9 K-\u00b9 \u0434\u043b\u044f \u043c\u043e\u043d\u043e\u0438\u0437\u043e\u0442\u043e\u043f\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0446\u043e\u0432 \u00b9\u2070B. \u0418\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u043f\u043e\u043f\u0435\u0440\u0435\u0447\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442\u0448\u0435\u043b\u0443\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0435\u0448\u0443\u0435\u043a \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0442 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b. \u0417\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441 8,1 \u00b1 0,5 \u0412\u0442 \u043c-\u00b9 K-\u00b9 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0435 585 \u043d\u043c \u0434\u043e 0,20 \u00b1 0,06 \u0412\u0442 \u043c-\u00b9 K-\u00b9 \u0434\u043b\u044f 7 \u043d\u043c \u0447\u0435\u0448\u0443\u0435\u043a.<\/p>\n \u041c\u043e\u043d\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0439 h-BN \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u044f\u043c\u044b\u043c \u0437\u0430\u0437\u043e\u0440\u043e\u043c 6,42 \u044d\u0412 \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0439 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0432 \u043d\u0435\u043f\u0440\u044f\u043c\u043e\u0439 \u0437\u0430\u0437\u043e\u0440 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 5,95 \u044d\u0412 \u0432 \u043e\u0431\u044a\u0435\u043c\u043d\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0440\u043c\u0435. \u0414\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043e\u0442\u043a\u043b\u0438\u043a \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0442 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0412\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438\u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u0430\u044f \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432\u0430\u0440\u044c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 6,82 \u0434\u043e 6,93, \u0432 \u0442\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0430\u043a \u0432\u043d\u0435\u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0435 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043e\u0442 3,29 \u0434\u043e 3,76. \u041a\u043e\u043c\u043f\u043e\u043d\u0435\u043d\u0442\u0430 \u0432 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0440\u0430\u0437\u043d\u043e\u0439 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b. \u0412\u043d\u0435\u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u0430\u044f \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u0430\u044f \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e \u043d\u0430 15% \u043e\u0442 \u043c\u043e\u043d\u043e\u0441\u043b\u043e\u044f \u043a \u043c\u0430\u0441\u0441\u0438\u0432\u0443.<\/p>\n \u0414\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0433\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c \u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043d\u0430\u0434 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u0430\u043c\u0438 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043e\u043c \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432. \u041f\u043e\u044f\u0432\u0438\u043b\u043e\u0441\u044c \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0430\u0440\u0448\u0440\u0443\u0442\u043e\u0432 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430, \u043a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u0438\u0437 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0445 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/p>\n CVD \u043e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043e\u043c\u0438\u043d\u0438\u0440\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430 h-BN \u043d\u0430 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0445 \u043f\u043b\u043e\u0449\u0430\u0434\u044f\u0445. \u0412 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0431\u043e\u0440\u0430\u0437\u0438\u043d (B\u2083N\u2083H\u2086) \u0438\u043b\u0438 \u0430\u043c\u043c\u0438\u0430\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0431\u043e\u0440\u0430\u043d (NH\u2083BH\u2083) \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438\u0437 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043a\u0430\u0442\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430\u0445, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f Cu \u0438 Ni. CVD \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u043c \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 1 000\u00b0C \u0438 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 250 \u0422\u043e\u0440\u0440 \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u044b\u043c \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432. \u0422\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0438\u0437 \u043c\u0435\u0434\u0438 \u043b\u0438\u043d\u0435\u0439\u043d\u043e \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0435\u043c \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430, \u043a\u043e\u0433\u0434\u0430 \u043f\u0430\u0440\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0431\u043e\u0440\u0430\u0437\u0438\u043d\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 17 \u043c\u0422\u043e\u0440\u0440. \u041f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c LPCVD \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430\u0445 Si\u2083N\u2084\/Si \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f \u0441\u043f\u043b\u043e\u0448\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 h-BN \u0441 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0432 3,4 \u0440\u0430\u0437\u0430 \u0448\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043d\u0438\u0436\u0435\u043b\u0435\u0436\u0430\u0449\u0438\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044f\u043c\u0438. \u042d\u0442\u043e \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0433\u0440\u0430\u0444\u0435\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435 1 200 \u0441\u043c\u00b2\/\u0412\u0441 \u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432 400 \u0441\u043c\u00b2\/\u0412\u0441 \u043d\u0430 \u0433\u043e\u043b\u043e\u043c Si\u2083N\u2084.<\/p>\n ALD \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0443 \u0432 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e\u043c \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0435 \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u043d\u0430 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440. ALD \u0441 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442 h-BN \u043f\u0440\u0438 250-350\u00b0C \u0441\u043e \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 1,1 \u00c5\/\u0446\u0438\u043a\u043b \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0442\u0440\u0438\u044d\u0442\u0438\u043b\u0431\u043e\u0440\u0430\u0442\u0430 \u0438 N\u2082\/H\u2082 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b. \u0422\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0435 \u043e\u043a\u043d\u043e ALD \u043e\u0445\u0432\u0430\u0442\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 80-175\u00b0C \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432 BCl3 \u0438\u043b\u0438 TDMAB \u0441 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u0430\u043c\u0438 NH\u2083. ALD \u0441 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u0443\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044f \u0431\u043e\u0440\u0430\u0437\u0438\u043d \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0435 \u043e\u0431\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0441 \u043c\u0430\u043a\u0441\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 3,2 \u00c5\/\u0446\u0438\u043a\u043b \u043f\u0440\u0438 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u044f\u0445 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432 80-160 \u044d\u0412.<\/p>\n MOCVD \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0434\u043e\u0431\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b, \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044f \u0442\u0440\u0438\u044d\u0442\u0438\u043b\u0431\u043e\u0440\u0430\u043d (TEB) \u0438 NH\u2083-\u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u044b. \u0418\u043c\u043f\u0443\u043b\u044c\u0441\u043d\u044b\u0439 \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c MOCVD \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 1 000\u00b0C \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0434\u043e\u0431\u0438\u0442\u044c\u0441\u044f \u043a\u043e\u043d\u0444\u043e\u0440\u043c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u043d\u0430\u043d\u043e\u0442\u0440\u0430\u043d\u0448\u0435\u0439 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 Si \u0441 \u0448\u0430\u0433\u043e\u043c 45 \u043d\u043c \u0438 \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u043d 7:1. \u0421\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442 70 \u043d\u043c\/\u043c\u0438\u043d \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u043c TEB. \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u043b\u0438\u0448\u044c \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0432\u044b\u0448\u0435 950\u00b0C \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b \u0432 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u044f \u0430\u043c\u043c\u0438\u0430\u043a\u0430 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0433\u043e \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f.<\/p>\n \u041c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c CVD \u0441 \u0438\u043d\u0434\u0443\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e-\u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u043e\u0439 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0435 h-BN \u043d\u0430 \u043a\u0432\u0430\u0440\u0446\u0435 \u0438 Si \u043f\u0440\u0438 400-500\u00b0C \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0431\u043e\u0440\u0430\u0437\u0438\u043d\u0430. \u041e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0443 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 500\u00b0C \u0438 \u043c\u043e\u0449\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c 180 \u0412\u0442 \u0441 \u043a\u043e\u043c\u0431\u0438\u043d\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0433\u0430\u0437\u0430\u043c\u0438-\u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u044f\u043c\u0438 H\u2082\/N\u2082. \u041f\u0440\u0438 \u044d\u0442\u043e\u043c \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 50 \u043d\u043c.<\/p>\n \u041c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a Cu \u0438 Ni, \u043d\u0443\u0436\u0434\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430\u0445 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0430 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u044f\u0442 \u043a \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0438 \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f\u043c. \u041d\u0435\u043a\u0430\u0442\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a SiO\u2082 \u0438 \u0441\u0430\u043f\u0444\u0438\u0440, \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u044e\u0442 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u0432\u044b\u0448\u0435 900\u00b0C \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u043e\u0434\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0431\u0430\u0440\u044c\u0435\u0440\u043e\u0432. \u042d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442 \u043d\u0430 Si\u2083N\u2084 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u0435\u0442 \u044d\u0442\u0430\u043f\u044b \u043f\u0435\u0440\u0435\u043d\u043e\u0441\u0430, \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u044f\u044f \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u043e\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>\n \u041e\u043f\u0438\u0441\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0433\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0435\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0445 \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447 \u0432 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445.<\/p>\n \u0410\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 3 \u043d\u043c \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u044e\u0442 \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0445 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u044b\u0445 - 1,78 \u043f\u0440\u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0435 100 \u043a\u0413\u0446 \u0438 1,16 \u043f\u0440\u0438 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u0435 1 \u041c\u0413\u0446. \u042d\u0442\u0438 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u0438\u0431\u043b\u0438\u0436\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043a \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 7,3 \u041c\u0412\/\u0441\u043c. \u0422\u0430\u043a\u0438\u043c \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u043c, a-BN \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u0435\u0442 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u044e \u043c\u0435\u0434\u0438 \u0432 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0439 \u0432 \u0436\u0435\u0441\u0442\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445 \u0438 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0441\u0440\u043e\u043a \u0441\u043b\u0443\u0436\u0431\u044b \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043d\u0430 \u0442\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u0430 \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043d\u0435\u0437\u0430\u0449\u0438\u0449\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430\u043c\u0438. \u0412\u0435\u0440\u0442\u0438\u043a\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0442\u0435\u043a\u0441\u0442\u0443\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0430\u043f\u044b\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 h-BN \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0432 \u0441\u043a\u0432\u043e\u0437\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 57 \u0412\u0442\/\u043c*\u041a \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u0438\u0436\u0435 400\u00b0C. \u042d\u0442\u043e \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0435 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043e \u0434\u0435\u0432\u044f\u0442\u0438 \u043c\u043e\u0449\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0440\u043e\u0432\u043d\u0435\u0439 \u0432 3D-\u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0445\u0435\u043c\u0430\u0445.<\/p>\n \u0413\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 BN \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u0443\u044e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0433\u0440\u0430\u0444\u0435\u043d\u0430 \u0441 5 000-10 000 \u0441\u043c\u00b2\/\u0412-\u0441 \u043d\u0430 SiO\u2082 \u0434\u043e 20 000-60 000 \u0441\u043c\u00b2\/\u0412-\u0441. \u041f\u043e\u043b\u043d\u0430\u044f \u0438\u043d\u043a\u0430\u043f\u0441\u0443\u043b\u044f\u0446\u0438\u044f \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u044f\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439 \u043d\u0430 \u0434\u0432\u0430 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445.<\/p>\n \u041c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0439 h-BN \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u043f\u043e\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f, \u043f\u0440\u0435\u0432\u044b\u0448\u0430\u044e\u0449\u0438\u0435 10 \u041c\u0412\/\u0441\u043c, \u043f\u0440\u0438 \u0442\u043e\u043a\u0430\u0445 \u0443\u0442\u0435\u0447\u043a\u0438 \u043e\u0442 10-\u2078 \u0434\u043e 10-\u00b9\u2070 \u0410\/\u0441\u043c\u00b2. \u0421\u0442\u0435\u043a\u0438 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u0432 \u043f\u043b\u0430\u0442\u0438\u043d\u0430\/\u0413\u0411\u041d \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 \u0432 500 \u0440\u0430\u0437 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0443\u044e \u0443\u0442\u0435\u0447\u043a\u0443 \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u043a\u043e\u043d\u0444\u0438\u0433\u0443\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0437\u043e\u043b\u043e\u0442\u0430 \u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u044e\u0442 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043d\u0435 \u043c\u0435\u043d\u0435\u0435 25 \u041c\u0412\/\u0441\u043c.<\/p>\n \u041f\u043e\u043a\u0440\u044b\u0442\u0438\u0435 \u0437\u043e\u043b\u043e\u0442\u044b\u0445 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u043e\u043a \u0413\u0411\u041d \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0430\u0440\u0430\u0441\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b \u043d\u0430 40% \u0438 \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u043e\u043a\u0430 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f \u043d\u0430 30%. \u0413\u0411\u041d \u043d\u0430 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0430\u0445 SiGe \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0447\u0443\u044e \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0443 \u043d\u0430 500 K \u043f\u0440\u0438 \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u0432\u043e\u0437\u0431\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0438.<\/p>\n \u0422\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u044e\u0442, \u0441\u043e\u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043b\u0438 \u0433\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u0441\u0442\u0440\u043e\u0433\u0438\u043c \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f\u043c, \u043f\u0440\u0435\u0434\u044a\u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u043c \u043a \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438.<\/p>\n \u041a\u043e\u043d\u0434\u0435\u043d\u0441\u0430\u0442\u043e\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b-\u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0442\u043e\u0440-\u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u044f\u0442\u044c \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0430\u043d\u0442\u044b \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0435\u043c\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438-\u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f. \u0412\u043d\u0435\u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u0443\u0436\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043e 3,4\u00b10,2. \u0418\u0441\u043f\u044b\u0442\u0430\u043d\u0438\u044f \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0432 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u044f\u044e\u0442 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u0435. \u0422\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u043d\u0430\u043d\u043e\u043b\u0438\u0441\u0442\u044b \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u044e\u0442 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0439 15,7 \u041c\u0412\/\u0441\u043c \u043f\u0440\u0438 \u043d\u0443\u043b\u0435\u0432\u043e\u043c \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u043c \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438, \u0430 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 3 \u043d\u043c - 21 \u041c\u0412\/\u0441\u043c. \u0422\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u0430 \u0432 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0435\u043f\u0435\u043d\u0438 \u0432\u043b\u0438\u044f\u0435\u0442 \u043d\u0430 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c. \u041e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0446\u044b \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 4,6 \u043d\u043c \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u044e\u0442 E63.2% 15,1 \u041c\u0412\/\u0441\u043c, \u0447\u0442\u043e \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043e 10,4 \u041c\u0412\/\u0441\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u043e\u0439 41,3 \u043d\u043c.<\/p>\n \u0422\u0435\u0440\u043c\u043e\u0440\u0435\u0444\u043b\u0435\u043a\u0442\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f \u0432\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0441 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u043c \u043f\u044f\u0442\u043d\u0430 \u0438\u0437\u043c\u0435\u0440\u044f\u0435\u0442 \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0438\u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u0443\u044e \u0438 \u043c\u0435\u0436\u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043e\u0434\u043d\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e, \u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u0443\u044f \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b \u043b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u043f\u044f\u0442\u043d\u0430 \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0433\u043b\u0443\u0431\u0438\u043d\u044b \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u043d\u043e\u0432\u0435\u043d\u0438\u044f. \u041e\u043f\u0442\u043e\u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u044f \u043a\u043e\u043c\u0431\u0438\u043d\u0430\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u044f\u043d\u0438\u044f \u0441\u0432\u0435\u0442\u0430 \u043e\u0442\u0441\u043b\u0435\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e-\u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u044b\u0435 \u0441\u0434\u0432\u0438\u0433\u0438 \u043f\u0438\u043a\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0442\u0440\u0430\u043d\u0441\u043f\u043e\u0440\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n \u0414\u043e\u0441\u0442\u0443\u043f\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0430 \u0440\u044b\u043d\u043a\u0435 CVD h-BN \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0445\u0443\u0434\u0448\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u0442\u043e\u043a\u0430 \u0443\u0442\u0435\u0447\u043a\u0438 \u0438 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0447\u0435\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b, \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0443\u0442\u0435\u043c \u043c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0442\u0448\u0435\u043b\u0443\u0448\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f. \u041f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0435\u0436\u0444\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043b\u043e\u0432\u0443\u0448\u0435\u043a \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 h-BN \u0438 Ge-\u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430\u043c\u0438 \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u043e\u0442 10\u00b9\u00b9 \u0434\u043e 10\u00b9\u00b2 \u0441\u043c-\u00b2 \u044d\u0412-\u00b9.<\/p>\n \u0414\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d 8,0-10 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u0435\u0442 \u0437\u0430\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0443 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0430 \u0432 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445. \u041f\u0440\u043e\u0431\u0438\u0432\u043d\u0430\u044f \u043f\u0440\u043e\u0447\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441\u043e\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 61-200 \u043a\u0412\/\u043c\u043c. \u042d\u0442\u043e \u043e\u0447\u0435\u043d\u044c \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e, \u0442\u0430\u043a \u043a\u0430\u043a \u043e\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0433\u043b\u0438\u043d\u043e\u0437\u0435\u043c \u0441 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0435\u043c 8,9-12 \u043a\u0412\/\u043c\u043c \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e \u043e\u0442\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442.<\/p>\n \u0413\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u0437\u0430\u0440\u0435\u043a\u043e\u043c\u0435\u043d\u0434\u043e\u0432\u0430\u043b \u0441\u0435\u0431\u044f \u043a\u0430\u043a \u0432\u0430\u0436\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u0434\u043b\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0441\u0432\u043e\u0435\u0439 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u043c \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c \u0438 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438. \u0414\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f\u0445 \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430 \u0441\u0434\u0435\u043b\u0430\u043b\u0438 \u0432\u043e\u0437\u043c\u043e\u0436\u043d\u044b\u043c \u043a\u0440\u0443\u043f\u043d\u043e\u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u043d\u043e\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u043e \u0438 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u043b\u0438 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0435\u0433\u043e \u0432 \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u041a, \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0438 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u044b \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f. \u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u043f\u0440\u0435\u0432\u043e\u0441\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0438 \u0432 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0441\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u0430\u0445. \u042d\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 h-BN \u0436\u0438\u0437\u043d\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432\u0430\u0436\u043d\u043e\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u0435\u0439, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u0438\u0442 \u043e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0438\u043d\u043d\u043e\u0432\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0438 \u0443\u0434\u043e\u0432\u043b\u0435\u0442\u0432\u043e\u0440\u0438\u0442\u044c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0442\u0440\u0435\u0431\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n Q1. \u0427\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u0433\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u0446\u0435\u043d\u043d\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0432 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435?<\/strong> \u0413\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u0441\u043e\u0447\u0435\u0442\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u0441\u0435\u0431\u0435 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0445 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u0434\u0435\u043b\u0430\u044e\u0442 \u0435\u0433\u043e \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438: \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c (\u0434\u043e 585 \u0412\u0442 \u043c-\u00b9 \u041a-\u00b9 \u0432 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438), \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u0443\u044e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u044e \u0441 \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 6 \u044d\u0412, \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445, \u0430 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0443\u044e \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c. \u042d\u0442\u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 h-BN \u0440\u0435\u0448\u0430\u0442\u044c \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u044b\u0435 \u0437\u0430\u0434\u0430\u0447\u0438 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u0430\u0445, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043e\u0442\u0432\u043e\u0434, \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0437\u0430\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0438 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>\n Q2. \u0427\u0435\u043c \u0433\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0442 \u043a\u0443\u0431\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u0431\u043e\u0440\u0430?<\/strong> \u0413\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0431\u043e\u0440\u0430 (h-BN) \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0441\u043b\u043e\u0438\u0441\u0442\u0443\u044e \u0433\u0440\u0430\u0444\u0438\u0442\u043e\u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 \u0441 sp\u00b2-\u0441\u0432\u044f\u0437\u044c\u044e \u0438 \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441\u0430\u043c\u044b\u043c \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c \u043f\u043e\u043b\u0438\u043c\u043e\u0440\u0444\u043e\u043c \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u043c\u043d\u0430\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0432\u0438\u044f\u0445. \u041a\u0443\u0431\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0431\u043e\u0440\u0430 (c-BN) \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u043e\u043f\u043e\u0434\u043e\u0431\u043d\u0443\u044e \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0443 \u0441\u043e \u0441\u0432\u044f\u0437\u044c\u044e sp\u00b3 \u0438 \u0434\u0435\u043c\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u0442\u0432\u0435\u0440\u0434\u043e\u0441\u0442\u044c (4 500 \u043a\u043f\/\u043c\u043c\u00b2), \u0443\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u044e\u0449\u0443\u044e \u0442\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u0430\u043b\u043c\u0430\u0437\u0443. \u0415\u0441\u043b\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430 c-BN \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0435 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430, \u0442\u043e h-BN \u043c\u043e\u0436\u043d\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445. \u041a\u0430\u0436\u0434\u0430\u044f \u0444\u043e\u0440\u043c\u0430 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u0440\u0430\u0437\u043d\u044b\u0445 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u044f\u0445: h-BN \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438 \u0438 \u0442\u0435\u0440\u043c\u043e\u0440\u0435\u0433\u0443\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0432 \u0442\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u044f \u043a\u0430\u043a c-BN \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435 \u0434\u043b\u044f \u0440\u0435\u0436\u0443\u0449\u0438\u0445 \u0438\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043c\u0435\u043d\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u0430\u0431\u0440\u0430\u0437\u0438\u0432\u043e\u0432.<\/p>\n Q3. \u041a\u0430\u043a\u043e\u0432\u044b \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043e\u043a \u0433\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u0431\u043e\u0440\u0430?<\/strong> \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u0441\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437\u0430 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b (CVD) \u043f\u0440\u0438 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0435 \u043e\u043a\u043e\u043b\u043e 1 000\u00b0C \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432, \u043a\u0430\u043a \u0431\u043e\u0440\u0430\u0437\u0438\u043d \u0438\u043b\u0438 \u0430\u043c\u043c\u0438\u0430\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0431\u043e\u0440\u0430\u043d, \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 (ALD), \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044e\u0449\u0435\u0435 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0432 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e\u043c \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0435 \u043f\u0440\u0438 250-350\u00b0C, \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 (MOCVD) \u0434\u043b\u044f \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0442\u0440\u0438\u044d\u0442\u0438\u043b\u0431\u043e\u0440\u0430\u043d\u0430 \u0438 \u0430\u043c\u043c\u0438\u0430\u043a\u0430 \u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u043b\u0430\u0437\u043c\u044b, \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0449\u0438\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0430\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438 400-500\u00b0C. \u041a\u0430\u0436\u0434\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0438\u043c\u0435\u0435\u0442 \u0441\u0432\u043e\u0438 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043a\u043e\u043d\u043a\u0440\u0435\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0438 \u0441\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430\u043c\u0438.<\/p>\n Q4. \u041f\u043e\u0447\u0435\u043c\u0443 \u0433\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0432 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0433\u0440\u0430\u0444\u0435\u043d\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432?<\/strong> \u041a\u0435\u0440\u0430\u043c\u0438\u043a\u0430 \u0438\u0437 \u0433\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0430\u0440\u043d\u043e \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u0443\u044e, \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438 \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u0443\u044e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u0430\u044f \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0430\u0435\u0442 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0433\u0440\u0430\u0444\u0435\u043d\u0430. \u041f\u0440\u0438 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0433\u0440\u0430\u0444\u0435\u043d\u0430 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430\u0445 \u0438\u0437 h-BN \u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u043e \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u043e\u0433\u043e \u0434\u0438\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u0434\u0432\u0438\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043d\u043e\u0441\u0438\u0442\u0435\u043b\u0435\u0439 \u0432\u043e\u0437\u0440\u0430\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442 \u0441 5 000-10 000 \u0441\u043c\u00b2\/\u0412-\u0441 \u0434\u043e 20 000-60 000 \u0441\u043c\u00b2\/\u0412-\u0441. \u041f\u043e\u043b\u043d\u0430\u044f \u0438\u043d\u043a\u0430\u043f\u0441\u0443\u043b\u044f\u0446\u0438\u044f \u0433\u0440\u0430\u0444\u0435\u043d\u0430 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u0441\u043b\u043e\u044f\u043c\u0438 h-BN \u0435\u0449\u0435 \u0431\u043e\u043b\u044c\u0448\u0435 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u044f\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0441\u0435\u0439 \u043d\u0430 \u0434\u0432\u0430 \u043f\u043e\u0440\u044f\u0434\u043a\u0430, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0438 \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n Q5. \u041a\u0430\u043a\u043e\u0439 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442 \u0433\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0431\u043e\u0440\u0430?<\/strong> \u0413\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434 \u0431\u043e\u0440\u0430 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u0432 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d\u0435 \u043e\u0442 4,0 \u0434\u043e 4,4, \u0447\u0442\u043e \u043d\u0438\u0436\u0435, \u0447\u0435\u043c \u0443 \u043d\u0438\u0442\u0440\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (8,0-10), \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0435\u0433\u043e \u0434\u043b\u044f \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0434\u0435\u0440\u0436\u043a\u0438 \u0441\u0438\u0433\u043d\u0430\u043b\u0430 \u0432 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445. \u041d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f \u0432\u043f\u0435\u0447\u0430\u0442\u043b\u044f\u0435\u0442: \u0442\u043e\u043d\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u044e\u0442 \u043f\u043e\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f 15-21 \u041c\u0412\/\u0441\u043c \u0432 \u0437\u0430\u0432\u0438\u0441\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0442 \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b. \u0410\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043b\u0435\u043d\u043a\u0438 BN \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0442\u044c \u0441\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0445 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u044b\u0445 \u0434\u043e 1,78 \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0431\u0438\u0432\u043d\u043e\u043c \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u0438 7,3 \u041c\u0412\/\u0441\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u0438\u0431\u043b\u0438\u0436\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c \u0432\u043e\u0437\u0434\u0443\u0445\u0430, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u0443\u044e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0438\u0437\u043e\u043b\u044f\u0446\u0438\u044e.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":" Hexagonal Boron Nitride: Properties and Applications in Modern Electronics Key Takeaways Hexagonal boron nitride emerges as a game-changing material that […]<\/p>\n","protected":false},"author":1,"featured_media":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"site-sidebar-layout":"default","site-content-layout":"","ast-site-content-layout":"default","site-content-style":"default","site-sidebar-style":"default","ast-global-header-display":"","ast-banner-title-visibility":"","ast-main-header-display":"","ast-hfb-above-header-display":"","ast-hfb-below-header-display":"","ast-hfb-mobile-header-display":"","site-post-title":"","ast-breadcrumbs-content":"","ast-featured-img":"","footer-sml-layout":"","theme-transparent-header-meta":"default","adv-header-id-meta":"","stick-header-meta":"","header-above-stick-meta":"","header-main-stick-meta":"","header-below-stick-meta":"","astra-migrate-meta-layouts":"set","ast-page-background-enabled":"default","ast-page-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-4)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""}},"ast-content-background-meta":{"desktop":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"tablet":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""},"mobile":{"background-color":"var(--ast-global-color-5)","background-image":"","background-repeat":"repeat","background-position":"center center","background-size":"auto","background-attachment":"scroll","background-type":"","background-media":"","overlay-type":"","overlay-color":"","overlay-gradient":""}},"ngg_post_thumbnail":0,"footnotes":""},"categories":[4],"tags":[],"aioseo_notices":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/320"}],"collection":[{"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/1"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=320"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/320\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":321,"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/320\/revisions\/321"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=320"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=320"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/boronnitrideceramic.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=320"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}\u0421\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0435 \u0444\u043e\u0440\u043c\u044b \u0438 \u0444\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430<\/h2>\n
\u041a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0433\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e BN (h-BN)<\/h3>\n
\u0412\u0430\u0440\u0438\u0430\u043d\u0442\u044b \u043a\u0443\u0431\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e BN (c-BN) \u0438 \u0430\u043c\u043e\u0440\u0444\u043d\u043e\u0433\u043e BN (a-BN)<\/h3>\n
\u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0438 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043e\u0442\u0434\u0430\u0447\u0438<\/h3>\n
\u0414\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0449\u0435\u043b\u0438<\/h3>\n
\u0421\u0438\u043d\u0442\u0435\u0437 \u0438 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f<\/h2>\n
\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b (CVD)<\/h3>\n
\u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u043b\u043e\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f (ALD)<\/h3>\n
\u041c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 CVD (MOCVD) \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u044b<\/h3>\n
\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f<\/h3>\n
\u0412\u044b\u0431\u043e\u0440 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b \u0438\u043d\u0442\u0435\u0433\u0440\u0430\u0446\u0438\u0438<\/h3>\n
\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432 \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435 \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u0430\u0445<\/h2>\n
\u0414\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u0441 \u0443\u043b\u044c\u0442\u0440\u0430\u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u043a \u0434\u043b\u044f \u043c\u0435\u0436\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439<\/h3>\n
\u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430 \u0438 \u0438\u043d\u043a\u0430\u043f\u0441\u0443\u043b\u044f\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0434\u0432\u0443\u043c\u0435\u0440\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432<\/h3>\n
\u0414\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u043a\u0438 \u0437\u0430\u0442\u0432\u043e\u0440\u0430 \u0432 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0432\u044b\u0445 \u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u0430\u0445<\/h3>\n
\u0423\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u044b\u043c \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u043e\u043c \u0432 \u0430\u0440\u0445\u0438\u0442\u0435\u043a\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445 \u0441\u043e \u0441\u0442\u0435\u043a\u043e\u043c \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432<\/h3>\n
\u0425\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u0442\u0435\u043b\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/h2>\n
\u0418\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u044f \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u043d\u0438\u0446\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f<\/h3>\n
\u041c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u0438\u0441\u043f\u044b\u0442\u0430\u043d\u0438\u0439 \u043d\u0430 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/h3>\n
\u041a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0439\u0441\u0430<\/h3>\n
\u0421\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0434\u0438\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430\u043c\u0438<\/h3>\n
\u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h2>\n
\u0412\u043e\u043f\u0440\u043e\u0441\u044b \u0438 \u043e\u0442\u0432\u0435\u0442\u044b<\/h2>\n